一种双极性器件衬底优化测试剥离装置的制作方法

文档序号:38061984发布日期:2024-05-20 11:48阅读:11来源:国知局
一种双极性器件衬底优化测试剥离装置的制作方法

本发明涉及双极性器件衬底剥离,具体为一种双极性器件衬底优化测试剥离装置。


背景技术:

1、双极结型晶体管(bipolar junction transistor—bjt)又称为半导体三极管,它是通过一定的工艺将两个pn结结合在一起的器件,有pnp和npn两种组合结构;外部引出三个极:集电极,发射极和基极,集电极从集电区引出,发射极从发射区引出,基极从基区引出(基区在中间);bjt有放大作用,重要依靠它的发射极电流能够通过基区传输到达集电区而实现的,为了保证这一传输过程,一方面要满足内部条件,即要求发射区杂质浓度要远大于基区杂质浓度,同时基区厚度要很小,另一方面要满足外部条件,即发射结要正向偏置(加正向电压)、集电结要反偏置;bjt种类很多,按照频率分,有高频管,低频管,按照功率分,有小、中、大功率管,按照半导体材料分,有硅管和锗管等;其构成的放大电路形式有:共发射极、共基极和共集电极放大电路。

2、现有的在废旧对双极性器件进行处理时,需要将双极性器件的衬底与器件整体进行剥离分离,现有的剥离装置在对衬底进行剥离时,大多数是将双极性器件放置在剥离装置中,通过两侧夹持住双极性器件,从而通过剥离工具对衬底进行剥离,这种方式在剥离时,极易因双极性器件固定的不稳定,在剥离时,双极性器件发生晃动,从而导致剥离质量下降的情况出现。


技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足,本发明提供了一种双极性器件衬底优化测试剥离装置,具备通过采用吸附固定与夹持固定,两种固定方式,提高了夹持后的稳定性,防止在剥离时双极性器件出现晃动的情况,同时提高了剥离中双极性器件的稳定性,当剥离气缸移动至与双极性器件的衬底相平齐时,通过带动剥离刀相对移动,即可对双极性器件的衬底进行剥离,通过两组剥离刀相对移动,能够从两侧对双极性器件的衬底进行剥离,提高了剥离质量优点,解决了现有的剥离装置在对衬底进行剥离时,大多数是将双极性器件放置在剥离装置中,通过两侧夹持住双极性器件,从而通过剥离工具对衬底进行剥离,这种方式在剥离时,极易因双极性器件固定的不稳定,在剥离时,双极性器件发生晃动,从而导致剥离质量下降的情况出现的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述具备通过采用吸附固定与夹持固定,两种固定方式,提高了夹持后的稳定性,防止在剥离时双极性器件出现晃动的情况,同时提高了剥离中双极性器件的稳定性,当剥离气缸移动至与双极性器件的衬底相平齐时,通过带动剥离刀相对移动,即可对双极性器件的衬底进行剥离,通过两组剥离刀相对移动,能够从两侧对双极性器件的衬底进行剥离,提高了剥离质量目的,本发明提供如下技术方案:一种双极性器件衬底优化测试剥离装置,包括:固定板,剥离组件,还包括:

5、滑槽,开设在所述固定板上表面;

6、滑块,滑动连接在所述滑槽内部,且对称设置有两组;

7、固定框,设置在所述固定板上方,且位于两侧所述滑块之间;

8、放置块,固定连接在所述固定框上表面,且与所述固定框连通;

9、放置框,固定连接在所述放置块上表面;

10、所述放置框与放置块连通;

11、连接杆,均固定连接在所述放置块前后两侧表面,且对称设置有左右两组;

12、夹持板,设置在所述放置块上方,且对称设置有左右两组;

13、连接块,均固定连接在所述滑块上表面;

14、传动杆,固定连接在所述连接块前后两侧表面;

15、配合杆,固定连接在所述夹持板前后两侧表面;

16、凸轮,设置在所述夹持板前后两侧,且所述凸轮分别与连接杆、传动杆、配合杆转动连接;

17、驱动气缸,设置在所述固定板下方;

18、滑动槽,开设在所述固定框内壁;

19、活塞板,通过所述滑动槽滑动连接在固定框内壁之间;

20、所述驱动气缸的输出端与活塞板下表面固定连接;

21、支撑架,固定连接在所述固定板上表面,且所述支撑架对称设置有左右两组;

22、滑动框,均固定连接在所述夹持板上表面;

23、延伸块,固定连接在所述支撑架相对的一侧表面,且延伸至滑动框内部;

24、所述滑动框与延伸块滑动连接,所述剥离组件设置在放置块一侧。

25、进一步的,所述固定板上表面开设有连接槽,所述连接槽对称设置有前后两组,所述固定板表面通过连接槽滑动连接有支撑块,所述支撑块上表面均固定连接有支撑板,所述支撑板相对的一侧固定连接有驱动箱,所述驱动箱内壁之间转动连接有连接转轴。

26、进一步的,所述连接转轴表面固定连接有第一锥齿轮,所述第一锥齿轮对称设置有两组,所述支撑块上表面转动连接有连接螺纹杆,所述连接螺纹杆贯穿并延伸至驱动箱内部,并与所述驱动箱转动连接,所述连接螺纹杆上端均固定连接有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮与第一锥齿轮啮合连接,通过伺服电机的带动连接转轴转动,连接转轴在转动时带动第一锥齿轮同步转动,第一锥齿轮在转动时与第二锥齿轮啮合,使得第二锥齿轮带动连接螺纹杆同步转动,连接螺纹杆在转动时与连接螺套啮合,带动连接螺套向下移动,当剥离气缸移动至与双极性器件的衬底相平齐时。

27、进一步的,所述剥离组件包括:螺纹连接在所述连接螺纹杆表面的连接螺套,所述连接螺套一侧与支撑板滑动连接,所述连接螺套相对的一侧均固定连接有剥离气缸,所述剥离气缸的输出端固定连接有剥离板,所述剥离板相对的一侧均固定连接有剥离刀,通过带动剥离刀相对移动,即可对双极性器件的衬底进行剥离,通过两组剥离刀相对移动,能够从两侧对双极性器件的衬底进行剥离,提高了剥离质量。

28、进一步的,所述支撑板一侧固定连接有伺服电机箱,所述伺服电机箱内部固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出端与连接转轴的一端固定连接,所述固定板上表面固定连接有推动气缸,所述推动气缸的输出端固定连接有调节架,所述调节架的一侧表面均与支撑块一侧固定连接,通过设置的推动气缸,推动气缸的输出端带动调节架向一侧移动,使得调节架带动支撑块在连接槽内部滑动,带动支撑板同步移动,带动驱动箱移动至双极性器件上方,从而实现对双极性器件的定位,确保了剥离过程中的精准性。

29、进一步的,所述固定板下表面四角均固定连接有支撑腿,所述固定板下方设置有配合板,所述配合板与支撑腿固定连接,所述配合板上表面与驱动气缸固定连接。

30、进一步的,所述连接杆两端均转动连接有第一转动块,所述传动杆两端均固定连接有第二转动块,所述配合杆表面套设有连接框。

31、进一步的,所述第一转动块与第二转动块之间固定连接有第一转动杆,所述第二转动块与连接框之间固定连接有第二转动杆,所述连接框与第一转动块之间固定连接有第三转动杆。

32、(三)有益效果

33、与现有技术相比,本发明提供了一种双极性器件衬底优化测试剥离装置,具备以下有益效果:

34、1、该双极性器件衬底优化测试剥离装置,通过设置的驱动气缸的输出端带动活塞板通过滑动槽在固定框内部滑动,同时进行抽气,从而对双极性器件的底部进行吸附固定,通过采用真空抽气的方式对双极性器件的底部进行吸附固定,同时活塞板持续向下移动至滑动槽的底部后,带动固定框向下移动,固定框向下移动时带动放置块同步向下移动,当放置块向下移动时,凸轮通过连接杆进行向下倾斜,使得凸轮的另一端推动传动杆带动滑块在滑槽内部滑动,向外侧移动,同时连接块向外移动时,使得凸轮带动配合杆向下移动,由于夹持板与延伸块滑动连接,使得夹持板因延伸块的限位,使其只能相对移动,从而对双极性器件的两侧进行夹持,通过采用吸附固定与夹持固定,两种固定方式,提高了夹持后的稳定性,防止在剥离时双极性器件出现晃动的情况,同时提高了剥离中双极性器件的稳定性。

35、2、该双极性器件衬底优化测试剥离装置,通过设置的推动气缸,推动气缸的输出端带动调节架向一侧移动,使得调节架带动支撑块在连接槽内部滑动,带动支撑板同步移动,带动驱动箱移动至双极性器件上方,从而实现对双极性器件的定位,通过伺服电机的带动连接转轴转动,连接转轴在转动时带动第一锥齿轮同步转动,第一锥齿轮在转动时与第二锥齿轮啮合,使得第二锥齿轮带动连接螺纹杆同步转动,连接螺纹杆在转动时与连接螺套啮合,带动连接螺套向下移动,当剥离气缸移动至与双极性器件的衬底相平齐时,通过带动剥离刀相对移动,即可对双极性器件的衬底进行剥离,通过两组剥离刀相对移动,能够从两侧对双极性器件的衬底进行剥离,提高了剥离质量。

当前第1页1 2 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1