晶圆分选机的制作方法

本发明涉及芯片生产，尤其涉及一种晶圆分选机。

背景技术：

1、晶圆分选机是半导体行业中新兴的自动化设备，现有的晶圆分选机是平移式，设备占据空间较大，且平移式的晶圆分选机需要一个额外的转移机构对晶圆进行分选，分选效率较低。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提供一种晶圆分选机，解决了传统的晶圆分选机空间占据大且效率低的技术问题，提高了晶圆的分选效率，减少了设备的占用空间。

2、本发明提供一种晶圆分选机，芯片包括固定框以及连接于所述固定框的若干晶圆，包括：

3、机架；

4、移载机构，所述移载机构包括第一安装架、安装于所述第一安装架且沿x方向延伸的直线电机模组、驱动连接于所述直线电机模组的第一连接板、沿z方向位置可调地连接于所述第一连接板的第二连接板以及转动连接于所述第二连接板的转盘组件，所述芯片连接于所述转盘组件；

5、顶针机构，所述顶针机构包括安装于所述第一安装架的第一电机，所述第一电机具有可沿y方向伸缩调节的第一驱动轴，所述第一驱动轴上连接有顶针套，所述顶针套连接有顶针，所述顶针对应于所述晶圆；

6、双转塔机构，所述双转塔机构包括第二安装架、安装于所述第二安装架且对应于所述转盘组件的第一转塔组件以及安装于所述第二安装架且位于所述第一转塔组件远离所述转盘组件的侧部的第二转塔组件，所述第一转塔组件用以转移被所述顶针顶出的晶圆至所述第二转塔组件，所述双转塔机构还包括第一相机组件、第二相机组件以及第三相机组件，所述第一相机组件用以检测所述晶圆的侧面，所述第二相机组件以及所述第三相机组件分别用以检测所述晶圆相对的两个侧边；

7、视觉机构，所述视觉机构固定于所述机架且对应于所述转盘组件，所述视觉机构连接于所述顶针机构，所述视觉机构用以检测所述晶圆；

8、编带机构，通过所述第二转塔组件将所述晶圆放置于所述编带机构，进而所述编带机构封装晶圆。

9、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述直线电机模组包括第二电机，所述第二电机具有可旋转的第二驱动轴，所述第二驱动轴连接有沿x方向延伸的第一丝杠，所述第一丝杠上螺合有第一导向套，所述第一连接板连接于所述第一导向套；

10、所述第一安装架的侧面安装有沿x方向延伸的两个第一导轨，所述第一导轨滑设有第一滑块，所述第一连接板连接于所述第一滑块；

11、所述第一连接板远离所述第一安装架的侧面安装有沿z方向延伸的两个第二导轨，所述第二导轨上滑设有第二滑块，所述第二连接板连接于所述第二滑块。

12、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述移载机构还包括安装于所述第一安装架的第三电机，所述第三电机具有可旋转的第三驱动轴，所述第三驱动轴连接有沿z方向延伸的第二丝杠，所述第二丝杠上螺合有第二导向套，所述第二导向套连接于所述第二连接板；

13、通过第三电机驱动所述第三驱动轴转动，以带动所述第二导向套沿z方向移动，从而带动所述第二连接板沿z方向移动。

14、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述第二连接板开设有呈圆形的第一安装孔；

15、所述转盘组件包括滚动连接于所述第一安装孔的内壁的若干滚轮、连接于所述滚轮且呈环形的安装轨道、连接于所述安装轨道且呈环形的环形盘以及高度可调地连接于所述环形盘的盖板组件，所述固定框连接于所述盖板组件；

16、所述第一安装架的侧部设置有第四电机，所述第四电机具有可旋转的第四驱动轴，所述第四驱动轴上连接有主动轮，所述主动轮和所述安装轨道上连接有连接带，所述第一安装架对应于所述主动轮的位置还设置有张紧轮，所述张紧轮用以张紧所述连接带，通过所述第四电机转动，以带动所述主动轮转动，从而使得所述连接带带动所述安装轨道旋转。

17、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述盖板组件包括安装于所述环形盘的若干直线轴承、连接于所述直线轴承的端部且呈环形的第一盖板、固定于所述第一盖板远离所述直线轴承的侧面的两个限位板以及固定于两个所述限位板且对应于所述第一盖板的第二盖板，所述固定框夹设于所述第一盖板和所述第二盖板之间；

18、所述移载机构还包括固定于所述第二连接板且位于所述盖板组件侧部的固定板、固定于所述固定板的气缸以及驱动连接于所述气缸的推顶板，所述气缸具有可伸缩的气缸轴，所述推顶板连接于所述气缸轴，通过所述气缸驱动所述气缸轴伸长，以使得所述推顶板推顶所述第一盖板，从而带动所述直线轴承伸长；

19、所述视觉机构对应于所述盖板组件，所述视觉机构连接于所述气缸以及所述顶针机构，所述视觉机构用以检测所述盖板组件以及所述晶圆。

20、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述第一转塔组件包括安装于所述第二安装架的第五电机、连接于所述第五电机且呈圆形的第一转塔板以及间隔安装于所述第一转塔板的侧部且呈圆周分布的若干第一吸嘴件，所述第五电机具有可旋转的第五驱动轴，所述第一转塔板安装于所述第五驱动轴，所述第一吸嘴件用以吸取所述顶针机构顶出的晶圆；

21、所述第二转塔组件包括安装于所述第二安装架的第六电机、连接于所述第六电机且呈圆形的第二转塔板以及间隔安装于所述第二转塔板的侧部且呈圆周分布的若干第二吸嘴件，所述第六电机具有可旋转的第六驱动轴，所述第二转塔板安装于所述第六驱动轴，所述第二吸嘴件用以吸取位于所述第一吸嘴件的晶圆。

22、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，还包括安装于所述第二安装架的第一下压组件以及安装于所述第二安装架的第二下压组件，所述第一下压组件用以下压所述第一吸嘴件，所述第二下压组件用以下压第二吸嘴件；

23、所述第一下压组件包括第一下压电机、安装于所述第二安装架的第一下压轨道、滑设于所述第一下压轨道的第一下压滑块以及连接于所述第一下压滑块且驱动连接于所述第一下压电机的第一下压板、连接于所述第一下压板的第二下压轨道、滑设于所述第二下压轨道的第二下压滑块以及连接于所述第二下压滑块且连接于所述第二安装架的第二下压板，所述第一下压电机具有可旋转的第一旋转轴，所述第一旋转轴连接有第一凸轮，所述第一凸轮连接于所述第一下压板；

24、所述第二下压组件包括第二下压电机、安装于所述第二安装架的第三下压轨道、滑设于所述第三下压轨道的第三下压滑块以及连接于所述第三下压滑块且驱动连接于所述第二下压电机的第三下压板、连接于所述第三下压板的第四下压轨道、滑设于所述第四下压轨道的第四下压滑块以及连接于所述第四下压滑块且连接于所述第二安装架的第四下压板，所述第二下压电机具有可旋转的第二旋转轴，所述第二旋转轴连接有第二凸轮，所述第二凸轮连接于所述第三下压板。

25、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述双转塔机构还包括安装于所述第二安装架且对应于所述第二吸嘴件的归正组件，所述归正组件、所述第一相机组件、所述第二相机组件以及所述第三相机组件沿所述第二转塔板转动方向依次设置。

26、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述归正组件包括安装于所述第二安装架的归正固定板、安装于所述归正固定板的第一归正电机、固定于所述归正固定板的第一归正滑轨、滑设于所述第一归正滑轨的第一归正滑块、连接于所述第一归正滑块且驱动连接于所述第一归正电机的第一归正板、连接于所述第一归正板的第二归正电机、安装于所述第一归正板的且十字型分布的四个第二归正滑轨、滑设于所述第二归正滑轨且驱动连接于所述第二归正电机的第二归正滑块以及连接于所述第二归正滑块的归正校正板，所述第一归正电机具有可旋转的第一归正旋转轴，所述第一归正旋转轴上连接有第一归正凸轮，所述第一归正板上连接有第一归正导向轮，所述第一归正导向轮抵接于所述第一归正凸轮，所述第二归正电机具有可旋转的第二归正旋转轴，所述第二归正旋转轴上连接有第二归正凸轮，所述第二归正滑块上连接有第二归正导向轮，所述第二归正导向轮抵接于所述第二归正凸轮。

27、本发明晶圆分选机的进一步改进在于，所述编带机构包括第三安装架、安装于所述第三安装架的载料组件、转动连接于所述第三安装架的第一针轮、转动连接于所述第三安装架的第二针轮、安装于所述第三安装架的封刀组件以及安装于所述第三安装架的编带检测组件，所述第一针轮和所述第二针轮上设置有编带；

28、通过所述第二转塔组件将所述晶圆放置于所述载料组件，进而所述第一针轮和所述第二针轮转动，以使得编带覆盖所述晶圆的两个侧面，进而所述载料组件将所述晶圆和所述编带转移至所述封刀组件进行封装，进而所述编带检测组件检测包装后的晶圆。

29、本发明晶圆分选机通过调节移载机构中的第一连接板和第二连接板的位置，以改变转盘组件的位置，通过转盘组件的转动，从而可以多维度的调节芯片的位置，方便顶针对应于任意一个晶圆，提高对芯片中晶圆的分选效率，通过视觉机构和盖板组件、晶圆以及顶针的连接，从而方便检测芯片上晶圆的位置，提高顶针顶出的晶圆的精确性，通过设置双转塔机构，确保晶圆在进入编带机构后正反面的正确包装，同时使得在第二转塔组件处的相机机构对晶圆进行全方位检测，提高对晶圆的筛选准确度，通过在双转塔机构设置归正组件，使得晶圆在进入编带机构时的位置统一且对应于编带，提高了晶圆的合格率。

30、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。