晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质与流程

本技术涉及半导体，尤其涉及一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质。

背景技术：

1、在半导体生产过程中，由晶圆到制作成半导体成品需要进行数十上百道工艺，半导体检测技术对于控制产品的可靠性和良率至关重要。通过晶圆的检测设备可以检测出晶圆图像，在晶圆图像的检测过程中，由于检测设备中运动器件的震动、外界环境干扰等因素，基于检测设备得到的晶圆图像往往出现错位、拉伸、压缩等情况，无法准确反映晶圆的真实图案。因此，为了获取真实的晶圆图像，有必要对检测设备的扫描误差进行补偿，改善扫描策略以提升晶圆图像质量。

2、在晶圆图像的检测中，现有技术通过标记晶圆边缘的特征点或标记三维的特征点的方式，基于特征点进行对齐进而扫描晶圆图像，在扫描过程中通过垂向和水平向的误差和速度调整图像获取设备的行频。然而，该方法操作复杂，且操作过程中无法对扫描晶圆过程中产生的误差进行实时补偿，检测设备的扫描误差会影响扫描精度，晶圆图像的扫描精度低，适用性差。

技术实现思路

1、本技术提供了一种晶圆图像扫描方法、装置、终端设备和可读存储介质，可提高晶圆图像的扫描精度，简化晶圆图像的扫描操作，适用性强。

2、第一方面，本技术实施例提供一种晶圆图像扫描方法，上述方法包括：获取前馈参数；获取反馈参数；基于上述前馈参数和上述反馈参数获得晶圆扫描的控制参数；基于上述控制参数控制晶圆图像扫描设备对晶圆进行扫描以获取第一晶圆图像，上述第一晶圆图像属于第一晶圆图像集合；其中，上述前馈参数由第二晶圆图像集合中的至少一个晶圆图像的图像处理数据得到，上述反馈参数由上述第一晶圆图像集合中的至少一个第二晶圆图像的图像处理数据得到；上述第二晶圆图像集合中任意一个晶圆图像的扫描时序在上述第一晶圆图像集合中任意一个晶圆图像的扫描时序之前，且上述第二晶圆图像的扫描时序在上述第一晶圆图像的扫描时序之前。在本技术中，在对晶圆扫描前基于历史晶圆图像的图像处理数据获取前馈参数和反馈参数，以基于前馈参数和反馈参数获得用于控制晶圆图像扫描设备的控制参数，通过控制参数进行晶圆扫描，可对晶圆扫描过程中可能产生的误差进行预测并提前补偿，从而提高了晶圆图像的扫描精度，操作简单，适用性强。

3、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述晶圆图像扫描设备包括运动台、镜片和图像获取设备；上述基于上述控制参数控制晶圆图像扫描设备对晶圆进行扫描以获取第一晶圆图像，包括：基于上述控制参数向上述运动台发送运动控制指令，基于上述运动控制指令触发上述运动台基于目标扫描路线运动，以使装载于上述运动台的上述晶圆随着上述运动台运动；基于上述控制参数触发上述图像获取设备与上述镜片对基于上述目标扫描路线运动的上述晶圆进行扫描，以获取第一晶圆图像。在本技术中，可根据控制参数触发运动台基于目标扫描路线带动装载于运动台的晶圆运动，并触发图像获取设备和镜片获取第一晶圆图像，因此可以通过调整控制参数实时校正运动台、图像获取设备以及镜片在扫描晶圆过程中产生的误差，可提高晶圆图像的扫描精度，适用性强。

4、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述第一晶圆图像集合包括上述图像获取设备与上述镜片对运动中的上述晶圆进行逐行扫描获得的第i行的多个晶圆图像；上述第二晶圆图像集合包括上述图像获取设备与上述镜片对运动中的上述晶圆进行逐行扫描获得的第i-1行的多个晶圆图像，其中i为大于或者等于2的整数；上述获取前馈参数，包括：获取上述第i-1行的多个晶圆图像中特征点之间的图像位置偏差，基于上述图像位置偏差获取上述前馈参数。在本技术中，可以通过第i-1行的多个晶圆图像中特征点之间的图像位置偏差得到用于获取第一晶圆图像的前馈参数，通过前馈参数调节控制参数以校正误差，因此可以利用已获得的图像位置偏差提升后续扫描晶圆的精确度。

5、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述第一晶圆图像集合中包括按照扫描时序进行排序的多个晶圆图像，上述第一晶圆图像为上述第一晶圆图像集合中的第n个晶圆图像；上述第二晶圆图像为第一晶圆图像集合中的第n-1个晶圆图像和第n-2个晶圆图像；n为大于或者等于3的整数；上述获取反馈参数，包括：获取上述第n-1个晶圆图像中的特征点与上述第n-2个晶圆图像中的特征点之间的图像位置偏差；基于上述图像位置偏差获取上述反馈参数。在本技术中，可通过第n-1个晶圆图像与第n-2个晶圆图像中特征点之间的图像位置偏差得到用于获取第一晶圆图像的反馈参数，通过反馈参数调节控制参数以校正误差，因此可利用已获得的图像位置偏差提升后续扫描晶圆的精确度。

6、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述获取上述第n-1个晶圆图像中的特征点与上述第n-2个晶圆图像中的特征点之间的图像位置偏差，包括：获取上述第n-1个晶圆图像和上述第n-2个晶圆图像中特征点的横坐标和纵坐标，并基于上述横坐标和上述纵坐标得到上述第n-1个晶圆图像和上述第n-2个晶圆图像中特征点之间的图像位置偏差。在本技术中，可以通过第n-1个晶圆图像和第n-2个晶圆图像中特征点之间的图像位置偏差获取前馈参数和反馈参数，进而可生成控制参数校正扫描晶圆过程中产生的误差，因此获得的晶圆图像的质量高，适用性强。

7、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述控制参数包括上述运动台的运动控制参数；上述基于上述前馈参数和上述反馈参数获得晶圆扫描的控制参数，包括：基于上述前馈参数和上述反馈参数校正上述运动台的上述运动控制参数的规划基准值以生成上述运动台的目标运动控制参数；上述基于上述控制参数向上述运动台发送运动控制指令，基于上述运动控制指令触发上述运动台基于目标扫描路线运动，包括：基于上述目标运动控制参数生成运动控制指令，基于上述运动控制指令触发上述运动台校正上述运动台的运动误差和上述晶圆的位置偏差以基于目标扫描路线运动。在本技术中，可以通过目标运动控制参数生成运动控制指令触发运动台校正扫描误差以及晶圆的位置偏差，因此可提高获得的晶圆图像的质量，适用性强。

8、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述基于上述运动控制指令触发上述运动台校正上述运动台的运动误差和上述晶圆的位置偏差，包括：基于上述运动控制指令触发上述运动台调节上述晶圆的位置，以校正上述晶圆的位置偏差；基于上述运动控制指令触发上述运动台调节运动速度以使上述运动台的运动速度与上述图像获取设备的行频相匹配，以校正上述运动台的运动误差。在本技术中，可以通过运动控制指令触发运动台调节晶圆位置以及运动台的运动速度，进而可以校正扫描误差以及晶圆的位置偏差，因此可提高获得的晶圆图像的质量，适用性强。

9、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述控制参数包括上述图像获取设备的行频调节参数；上述基于上述前馈参数和上述反馈参数获得晶圆扫描的控制参数，包括：基于上述前馈参数和上述反馈参数校正上述图像获取设备的行频调节参数的规划基准值以生成上述图像获取设备的目标行频调节参数；上述基于上述控制参数触发上述图像获取设备与上述镜片对基于上述目标扫描路线运动的上述晶圆进行扫描，包括：基于上述目标行频调节参数生成行频调节指令，基于上述行频调节指令触发上述图像获取设备校正行频以使行频与上述运动台的上述运动速度相匹配以校正扫描误差；通过上述图像获取设备基于校正后的行频和上述镜片对基于上述目标扫描路线运动的上述晶圆进行扫描。在本技术中，可以通过目标行频调节参数生成的行频调节指令触发图像获取设备调节行频，进而可校正扫描误差，因此可以提高图像获取设备扫描的精确率，提高获得的晶圆图像的质量，适用性强。

10、在第一方面的一种可能的实施方式中，上述控制参数包括上述镜片的镜片调节参数；上述基于上述前馈参数和上述反馈参数获得晶圆扫描的控制参数，包括：基于上述前馈参数和上述反馈参数校正上述镜片的镜片调节参数的规划基准值以生成上述镜片的目标镜片调节参数；上述基于上述控制参数触发上述图像获取设备与上述镜片对基于上述目标扫描路线运动的上述晶圆进行扫描，包括：基于上述目标镜片调节参数生成镜片调节指令，基于上述镜片调节指令调节上述镜片的角度和位置，以校正上述图像获取设备通过上述镜片获取晶圆图像时的镜片位移误差，并触发上述图像获取设备基于校正了上述镜片位移误差后的镜片对基于上述目标扫描路线运动的上述晶圆进行扫描。在本技术中，可以通过目标镜片调节参数生成镜片调节指令调节镜片的角度和位置，进而可以校正镜片的镜片位移误差，因此可提高获得的晶圆图像的质量，适用性强。

11、第二方面，本技术实施例提供一种晶圆图像扫描装置，该装置包括用于执行如第一方面或第一方面任一种可能的实施方式所提供的晶圆图像扫描方法的模块或单元。

12、示例性的，该装置包括：

13、第一获取模块，用于获取前馈参数；第二获取模块，用于获取反馈参数；第三获取模块，用于基于上述前馈参数和上述反馈参数获得晶圆扫描的控制参数；控制模块，用于基于上述控制参数控制晶圆图像扫描设备对晶圆进行扫描以获取第一晶圆图像，上述第一晶圆图像属于第一晶圆图像集合；其中，上述前馈参数由第二晶圆图像集合中的至少一个晶圆图像的图像处理数据得到，上述反馈参数由上述第一晶圆图像集合中的至少一个第二晶圆图像的图像处理数据得到；上述第二晶圆图像集合中任意一个晶圆图像的扫描时序在上述第一晶圆图像集合中任意一个晶圆图像的扫描时序之前，且上述第二晶圆图像的扫描时序在上述第一晶圆图像的扫描时序之前。

14、第三方面，本技术实施例提供一种终端设备，包括：处理器和存储器；上述处理器与上述存储器相连，其中，上述存储器用于存储程序代码，上述处理器用于调用上述程序代码，以执行如上述第一方面或第一方面任一种可能的实施方式提供的晶圆图像扫描方法。

15、第四方面，本技术实施例提供一种晶圆图像扫描系统，包括：运动台、图像获取设备、镜片、如第五方面提供的终端设备和如第六方面提供终端设备；其中，上述运动台用于装载晶圆，上述图像获取设备用于获取晶圆图像，上述镜片用于调整上述图像获取设备获取上述晶圆图像的角度和位置。

16、第五方面，本技术实施例提供一种计算机可读存储介质，上述计算机可读存储介质中存储有计算机程序，上述计算机程序适于由处理器加载并执行上述第一方面或第一方面任一种可能的实施方式提供的晶圆图像扫描方法。

17、第六方面，本技术实施例提供一种计算机程序产品，上述计算机程序产品包含计算机指令，上述计算机指令适于由处理器加载并执行上述第一方面或第一方面任一种可能的实施方式提供的晶圆图像扫描方法。