1.一种晶圆上料装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述安装架(21)的固定连接有支撑架(22),两个所述支撑架(22)的内部固定连接有载物杆(23)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述底板(1)的顶端固定连接有限位滑轨(34),所述主动移动座(32)的底端滑动连接在限位滑轨(34)的一端上,所述限位滑轨(34)远离主动移动座(32)的一端滑动连接有从动移动座(33)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述安装板(51)的一端固定连接有定位架(59),所述主动齿轮(53)的外侧转动连接在安装板(51)上,所述安装板(51)内部远离主动齿轮(53)的一端转动连接有从动齿轮(56),所述从动齿轮(56)的一端固定连接有延伸杆二(57),所述延伸杆二(57)的内部固定连接有蜗杆二(58)。
5.根据权利要求4所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述蜗轮(61)的外侧分别和蜗杆一(55)与蜗杆二(58)为啮合连接。
6.根据权利要求4所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述定位圈(64)的外侧呈阵列状固定连接在定位架(59)的内部上。
7.根据权利要求1所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述转块(63)的外侧通过转槽(65)转动连接在定位圈(64)上。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆上料装置,其特征在于:所述卡块(72)与卡槽(74)相卡合。