双端型短弧闪光灯的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及双端型短弧闪光灯，特别是涉及一方的封固管部分采用二重管构造的双端型短弧闪光灯。
【背景技术】
[0002]进行闪光点亮的放电灯被广泛用于以半导体制造工序中的闪光退火(flashanneal)为代表的产业用途，本发明的灯特别是在利用真空紫外光的曝光工序中被使用。
[0003]在上述曝光工序中所要求的是，能够在短时间内向小区域照射高密度的光，光的方向性及分布中不均匀比较少，使用接近于平行光的光。
[0004]以往，在该曝光工序中，主要使用日本特开2012 — 43736号公报(专利文献I)所示那样的真空管形状的闪光灯。该灯中，主电极间距离与进行一般的闪光点亮的灯相比较小，能够作为接近于点光源的光源来使用。
[0005]但是，由于具有真空管构造，所以需要在单侧的端部封固两主电极及触发电极(启动用辅助电极)，在使对装置、电源的连接部(灯头)为圆柱状构造的情况下，尤其会导致外径尺寸增大。因此，在具有反射器等的光学系统内部使用该灯的情况下，由灯头构造等引起的遮光区域增大，结果导致来自光学系统的光输出降低的问题。
[0006]针对这些问题，日本特开2012 - 94362号公报(专利文献2)中公开了这样的技术，即:采用在灯泡的两侧配置封固部的所谓双密封(double seal)型构造，从而使上述的遮光区域变小。
[0007]如图6所示，在双端型短弧闪光灯中，在发光管I的两端连接设置有第I封固管2和第2封固管3。并且，在上述第2封固管3中插入了封固用玻璃管4，将两者熔敷(对应日语:溶着)。
[0008]在发光管I内对置地配置有一对的第I主电极5和第2主电极6。上述第I主电极5的芯线7通过过渡(段継)玻璃等机构而被支承并封固于第I封固管2并被导出到其外方，另一方面，上述第2主电极6的芯线8通过过渡玻璃等机构而被支承并封固于上述封固用玻璃管4并被导出到其外方。
[0009]在发光管I内的主电极5、6之间配设有一对启动辅助电极10、11,内部引线12、15和外部引线13、16分别在上述第2封固管3与封固用玻璃管4之间的熔敷区域中经金属箔14,17电连接。
[0010]根据这样的双端型短弧闪光灯，通过在灯泡的两端部配置封固部，能够使上述的遮光区域变小。
[0011]但是，在这样的灯中，如图7所示，采用在圆筒状的第2封固管3和封固用玻璃管4之间将金属箔14和内部引线12封固的构造，因此在封固时内部引线12、15及外部引线13、16容易在圆周方向上移动，特别是，会在内部引线12、15的位置调整、即启动辅助电极10、11的位置调整方面花费功夫，并且难以得到正确的相对位置，会发生大的偏移。
[0012]结果，产生启动辅助电极10、11彼此的间隔宽于或窄于规定值的现象，存在难以可靠地产生灯启动时的放电这样的问题。
[0013]进而，若在封固操作时金属箔14、17以及内部引线12、15和外部引线13、16产生了位置偏移，则还具有金属箔与内部引线、外部引线之间的焊接部位偏离或产生脱箔(箔切Λ )的情况。
[0014]为了消除这样的位置偏移，如图6所示，若采用在一对内部引线12、15间设置位置固定用的支持件20、进行启动辅助电极10、11间的定位的构造，则该构造复杂，并且第2封固管3的外径变大，结果，还具有将灯与装置连接的灯头直径变大、相应地遮光区域变大这样的问题。
[0015]现有技术文献
[0016]专利文献
[0017]专利文献1:日本特开2012 - 43736号公报
[0018]专利文献2:日本特开2012 - 94362号公报
【发明内容】
[0019]发明所要解决的问题
[0020]鉴于上述以往技术的问题点，本发明要解决的课题在于提供一种双端型短弧闪光灯，其中，在玻璃制的发光管的内部具有一对主电极和一对启动辅助电极，在该发光管的两端具有第I封固管和第2封固管，在上述第I封固管中将第I主电极的芯线封固并导出到发光管外，在上述第2封固管中，熔敷有被插入其内部的封固用玻璃管，该封固用玻璃管中，将第2主电极的芯线封固并导出到发光管外，该双端型短弧闪光灯构成为:在上述第2封固管和上述封固用玻璃管的熔敷封固时，配置在它们之间的启动辅助电极的内部引线、外部引线不会发生位置偏移，能够得到其前端的启动辅助电极的正确的相对位置，内部引线、夕卜部引线和金属箔的焊接部位不发生损伤，并且，不需要用于位置固定的多余部件而能够使封固管外径较小并使遮光区域较小，此外，封固操作简便化。
[0021 ] 用于解决问题的手段
[0022]为了解决上述课题，本发明的双端型短弧闪光灯的特征在于，在上述封固用玻璃管与上述第2封固管相重合的区域中的上述玻璃管的外周，形成有在管轴方向上延伸的引线收纳槽部，上述启动辅助电极的内部引线和外部引线收纳于上述槽部，并且经由金属箔相互电连接。
[0023]此外，其特征在于，上述金属箔设置在上述内部引线和外部引线的外侧。
[0024]此外，其特征在于，上述封固用玻璃管的槽部在前端侧和后端侧不连续。
[0025]此外，其特征在于，上述封固用玻璃管的与上述第2封固管之间的熔敷区域的外部侧被缩径(对应日语:縮径)。
[0026]发明效果
[0027]根据本发明的双端型短弧闪光灯，在第2封固管与封固用玻璃管重合的区域，在上述玻璃管的外周形成有沿管轴方向延伸的引线收纳槽部，因此通过在该收纳槽内收纳启动辅助电极的内部引线及外部引线，在第2封固管与封固用玻璃管的熔敷封固时，内部引线及外部引线不会产生位置偏移，封固操作简便化，并且能够使启动辅助电极的相对位置正确。
[0028]因此，不需要启动辅助电极的定位部件，不仅构造简化，而且能够使第2封固管的外径也较小而减小遮光区域。此外，还能够将金属箔与内部引线、外部引线之间的焊接部位的损伤这样的事故防患于未然。
【附图说明】
[0029]图1是本发明的双端型短弧闪光灯的剖面图。
[0030]图2是图1的A —A部分剖面图。
[0031]图3是图2的B— B剖面图。
[0032]图4是其他实施例的剖面图。
[0033]图5是又一其他实施例的剖面图。
[0034]图6是以往的双端型短弧闪光灯的剖面图。
[0035]图7是图6的A —A部分剖面图。
[0036]符号说明
[0037]I发光管
[0038]2第I封固管
[0039]3第2封固管
[0040]4封固用玻璃管
[0041]5第I主电极
[0042]6第2主电极