一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示装置的制造方法

文档序号:8441457阅读:696来源:国知局
一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示
目.0
【背景技术】
[0002]目前,在平板显示技术中,有机发光二极管具有自发光性、高对比度、高反应速度、广视角等优点,在平板显示技术中发挥着越来越重要的作用。作为新一代显示器件,OLED (Organic Light-Emitting D1de,有机发光二极管)在显示器、MP3、电视、手机等数码产品以及军事领域都有广阔的发展空间和应用前景。
[0003]OLED的驱动方式主要有有源驱动和无源驱动两种方式。驱动控制电路是有源发光二极管中必不可少的重要组成部分,其性能的优劣直接关系到整个系统性能的好坏,因此,高性能的驱动控制电路的设计在有源驱动的OLED显示设计中起着举足轻重的作用,有源驱动的OLED的制作复杂、成本高。而采用无源驱动的OLED具有制作简单、低成本等优点。
[0004]无源驱动的OLED的显示面板如图1、图3所示,包括形成在衬底基板I上的多个条状的第一电极5、多个条状的第二电极3、向第一电极5输入电流信号的第一信号线51、向第二电极3输入电流信号的第二信号线31、位于第一电极5和第二电极3之间的发光功能层
4、钝化层2、以及隔离柱6。OLED显示面板的驱动原理如图1、图2所示,第一电极5和第二电极3的交叉区域形成一个显示单元,通过控制向不同行第一电极3和不同列的第二电极5输入的驱动电流,控制各显示单元的显示。
[0005]如图1、图3所示,钝化层2用于使得位于钝化层2下面的第一信号线51、第二信号线31与位于钝化层2上面的第一电极5或第二电极3绝缘。由于第一电极形成在发光功能层4的上面,其一般只能采用蒸镀法形成,而直接蒸镀导电材料形成的第一电极为一个平面电极,为了形成多个条状的第一电极,在蒸镀导电材料之前形成隔离柱,使得蒸镀导电材料时在隔离柱处断开,形成条状的第一电极。
[0006]如图3所示,为了使得蒸镀第一电极时,第一电极在隔离柱断开,现有技术中一般将隔离柱设置为倒梯形。形成的倒梯形夹角一般很小,则很容易在隔离柱的侧面沉积导电材料,从而使得相邻的第一电极导通,显示面板无法正常显示。

【发明内容】

[0007]本发明的实施例提供一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示装置,所述隔离柱用于蒸镀形成电极时,使得电极自动在隔离柱处断开,本发明实施例中的隔离柱包括第一材料图案以及位于所述第一材料图案上面的第二材料图案,通过使得蒸镀形成的电极表面低于第一材料图案的上表面,从而使得蒸镀形成的电极与第二材料图案侧面的电极绝缘,避免电极之间电连接。
[0008]为达到上述目的,本发明的实施例采用如下技术方案;
[0009]一方面,本发明实施例提供了一种隔离柱,包括第一材料图案以及位于所述第一材料图案上面的第二材料图案,其中,所述第一材料图案包括相对的上表面、下表面以及位于所述上表面和所述下表面之间相对的第一隔离侧面和第二隔离侧面,所述第二材料图案包括相对的上表面和下表面,其中,所述第一材料图案的上表面与所述第二材料图案的下表面直接接触,且所述第一材料图案的所述第一隔离侧面和所述第二隔离侧面在所述第二材料图案下表面所在平面的投影位于所述第二材料图案下表面的边缘之间。
[0010]另一发面,本发明实施例提供了一种显示面板,包括衬底基板以及形成在所述衬底基板上的多个隔离柱以及位于相邻两个隔离柱之间的第一电极,其中,所述隔离柱为本发明实施例提供的任一所述的隔离柱,所述第一电极包括上表面和下表面,所述第一电极上表面所在平面低于所述隔离柱的第一材料图案的上表面所在平面。
[0011]另一方面,本发明实施例提供了一种显示装置,包括本发明实施例提供的所述显示面板。
[0012]再一方面,本发明实施例提供了一种隔离柱的制作方法,包括:
[0013]沉积第一材料形成第一材料层;
[0014]沉积第二材料形成第二材料层;
[0015]利用干刻工艺或光刻工艺对所述第二材料层进行构图使所述第二材料层图形化,图形化后形成的第二材料图案包括第二材料层去除区域和第二材料层保留区域;
[0016]利用刻蚀液刻蚀位于所述第二材料层去除区域以及部分第二材料层保留区域的第一材料层,其中所述刻蚀液刻蚀所述第二材料层且不刻蚀所述第一材料层。
[0017]本发明的实施例提供一种隔离柱及其制作方法、显示面板及显示装置,隔离柱主要用于在蒸镀形成电极时,使得电极自动在隔离柱处断开。本发明实施例中的隔离柱包括第一材料图案以及位于所述第一材料图案上面的第二材料图案,且蒸镀形成的电极表面低于第一材料图案的上表面,从而使得蒸镀形成的电极与第二材料图案侧面的电极绝缘,避免电极之间电连接。
【附图说明】
[0018]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0019]图1为现有的PMOLED显示面板示意图;
[0020]图2为图1所不显不面板的等效电路图;
[0021]图3为图1所示的A-A'向示意图;
[0022]图4为本发明实施例提供的一种隔离柱示意图;
[0023]图5为本发明实施例提供的另一种隔离柱示意图;
[0024]图6为本发明实施例提供的另一种隔离柱示意图;
[0025]图7为本发明实施例提供的一种条状隔离柱的示意图;
[0026]图8为本发明实施例提供的一种显不面板不意图;
[0027]图9为本发明实施例提供的一种隔离柱的制作方法示意图;
[0028]图10为在基板上沉积形成第一材料层和第二材料层的示意图;
[0029]图11为对第二材料层进行构图后的示意图;
[0030]图12为以第二材料层进行掩膜刻蚀第一材料图案后的示意图;
[0031]图13为本发明实施例提供的另一种隔离柱的制作方法示意图;
[0032]图14为本发明实施例提供的另一种隔离柱的制作方法示意图;
[0033]图15为本发明实施例提供的另一种隔离柱的制作方法示意图;
[0034]图16为在基板上形成绝缘图案的示意图;
[0035]图17为在第一材料层上形成过孔的示意图;
[0036]图18为沉积第二材料层的示意图;
[0037]图19为对第二材料层进行构图后的示意图;
[0038]图20为湿法刻蚀第一材料层后的示意图。
[0039]附图标记:
[0040]1-衬底基板;2_钝化层;3_第二电极;4_发光功能层;5_第一电极;6_隔离柱;31-第二信号线;51_第一信号线;61_第一材料图案;610_第一材料层;611-第一隔离侧面;612_第二隔离侧面;613_第一部分;614_第二部分;62_第二材料图案;620_第二材料层;621_第二材料图案的上表面;622_第二材料图案的下表面;63_绝缘图案;630_绝缘层O
【具体实施方式】
[0041]下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0042]在本发明所有实施例中,需要阐明“层”以及“图案”的定义,以及之间的关系。其中,“层”是指利用某一种材料在基板上利用沉积或其他工艺制作出的一层薄膜。若在整个制作过程当中该“层”还需构图工艺,则在构图工艺前称为“层”,构图工艺后称为“图案”。
[0043]所谓“构图工艺”是将薄膜形成包含至少一个图案的层的工艺;而构图工艺通常包含:在薄膜上涂胶,利用掩膜板对所述光刻胶进行曝光,再利用显影液将需去除的光刻胶冲蚀掉,再刻蚀掉未覆盖光刻胶的薄膜部分,最后将剩下的光刻胶剥离。
[0044]本发明实施例提供了一种隔离柱6,如图4所示,包括第一材料图案61以及位于第一材料图案61上面的第二材料图案62,其中,第一材料图案61包括相对的上表面、下表面以及位于上表面和下表面之间相对的第一隔离侧面611和第二隔离侧面612,第二材料图案62包括相对的上表面621和下表面622,其中,第一材料图案61的上表面与第二材料图案62的下表面622直接接触,且第一材料图案61的第一隔离侧面611和第二隔离侧面612在第二材料图案62下表面622所在平面的投影位于第二材料图案62下表面622的边缘之间。
[0045]第一材料图案的第一隔离侧面和第二隔离侧面在第二材料图案下表面的投影位于第
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