工业用机器人的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种水平多关节机器人等工业用机器人。
【背景技术】
[0002]以往，公知有一种搬运半导体晶圆的工业用机器人(例如参照专利文献I)。专利文献I中记载的工业用机器人包括装载半导体晶圆的两个手、两个手能够转动地与其末端侧连接的臂以及臂的基端侧能够转动地与其连接的主体部。臂由第一臂部、第二臂部以及第三臂部构成，所述第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，所述第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，所述第三臂部的基端侧能够转动地与第二臂部的末端侧连接，且两个手与所述第三臂部的末端侧连接。
[0003]在专利文献I记载的工业用机器人中，第一驱动用马达配置在主体部的内部，所述第一驱动用马达用于使第一臂部相对于主体部转动且使第二臂部相对于第一臂部转动。在第二臂部的内部配置有用于使第三臂部相对于第二臂部转动的第二驱动用马达。在第三臂部的内部配置有使两个手分别相对于第三臂部转动的两个手驱动用马达。
[0004]并且，专利文献I中记载的工业用机器人包括作为检测第一驱动用马达的旋转位置的编码器的第一编码器、作为检测第二驱动用马达的旋转位置的编码器的第二编码器以及作为检测手驱动用马达的旋转位置的编码器的手用编码器。在将该工业用机器人设置于半导体的制造系统时，对工业用机器人进行调整，将第一驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第一编码器，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器。
[0005]专利文献1:日本特开2011-230256号公报
[0006]在工业用机器人中有配置于真空腔室内而使用的工业用机器人，但近年来配置于真空腔室内的工业用机器人有大型化的趋势。因此，在将工业用机器人配置在真空腔室内之后，在比较狭窄的真空腔室中，用于使大型的工业用机器人的手和臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整越发困难。并且，由于一般不能从真空腔室的外侧通过目视确认真空腔室的内部，因此，以往在真空腔室中进行用于使工业用机器人的手和臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整较困难。
[0007]在此，例如若在专利文献I中记载的工业用机器人的主体部配置与第一编码器、第二编码器以及手用编码器连接的电池，且在组装工厂组装完工业用机器人之后对工业用机器人进行调整，将第一驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第一编码器，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器，则在工业用机器人从组装工厂发货到设置在半导体的制造系统期间，能够通过从电池提供的电力来保持存储于各编码器的各马达的绝对旋转位置的信息。因此，在这种情况下，不必进行用于使专利文献I中记载的工业用机器人的手和臂在真空腔室动作，并使马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。
[0008]另一方面，如上所述，配置在真空腔室内的工业用机器人有大型化的趋势。因此，例如若不将在组装工厂进行了组装、调整之后的工业用机器人分解成手、臂以及主体部之后搬入真空腔室，且在真空腔室再次进行组装，则无法将大型的工业用机器人配置在真空腔室内，这样的状况一直在发生。
[0009]在专利文献I记载的工业用机器人中，例如若将进行了组装、调整之后的工业用机器人分解成手、臂以及主体部，则即使在主体部配置有电池，存储于第二编码器的第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息以及存储于手用编码器的手驱动用马达的绝对旋转位置的信息也会被重置。因此，在将专利文献I中记载的大型的工业用机器人配置在真空腔室的情况下，在真空腔室内进行组装之后，必须对工业用机器人进行再调整，将第二驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于第二编码器，并将手驱动用马达的绝对旋转位置的信息存储于手用编码器。但是，如上所述，在真空腔室中，用于使大型的工业用机器人的手或臂动作并将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整很难进行。
【发明内容】
[0010]因此，本发明的课题是提供一种工业用机器人，所述工业用机器人即使在组装、调整后被分解并被再次组装，在再次组装之后，也不必进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。
[0011]为了解决上述课题，本发明的工业用机器人包括手、臂、主体部以及多个马达，手能够转动地与所述臂的末端侧连接，臂的基端侧能够转动地与所述主体部连接，所述多个马达用于驱动手以及臂，工业用机器人的特征在于，工业用机器人由在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接且能够分割的两个以上的分割体构成，在至少两个分割体的内部配置有马达以及用于检测马达的旋转位置的编码器，且在配置有马达以及编码器的分割体的内部配置有与编码器连接的电池。
[0012]本发明的工业用机器人由能够分割的两个以上的分割体构成，在配置有马达以及编码器的分割体的内部配置有与编码器连接的电池。因此，在本发明中，即使在组装工厂进行了组装、调整之后的工业用机器人被分割成两个以上的分割体，也能够通过从配置有马达以及编码器的分割体的内部的电池提供的电力，将在组装工厂存储的马达绝对旋转位置的信息继续保持于编码器。因此，在本发明中，即使工业用机器人在组装、调整后被分解并被再次组装，也能够在再次组装之后不必进行用于将马达的绝对旋转位置的信息存储于编码器的调整。并且，在本发明中，分割体彼此在被定位部件定位的状态下借助螺钉连接，因此容易再次组装工业用机器人。
[0013]在本发明中，例如，手、臂以及主体部成为分割体，在臂的内部和主体部的内部配置有马达、编码器以及电池。并且，在本发明中，也可以是手包括装载搬运对象物的手叉以及固定有手叉且与臂的末端侧连接的手基部，手叉、手基部、臂以及主体部成为分割体，且在臂的内部和主体部的内部配置有马达、编码器以及电池。在这种情况下，能够较容易地分割工业用机器人。
[0014]在本发明中，例如臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，手能够转动地与第二臂部的末端侧连接，在臂的内部配置有作为用于使第二臂部相对于第一臂部转动的马达的第一马达、作为用于使手相对于第二臂部转动的马达的第二马达、作为检测第一马达的旋转位置的编码器的第一编码器、作为检测第二马达的旋转位置的编码器的第二编码器以及作为与第一编码器以及第二编码器连接的电池的第一电池，在主体部的内部配置有作为用于使第一臂部相对于主体部转动的马达的第三马达、作为用于使臂升降的马达的第四马达、作为检测第三马达的旋转位置的编码器的第三编码器、作为检测第四马达的旋转位置的编码器的第四编码器以及作为与第三编码器以及第四编码器连接的电池的第二电池。
[0015]在本发明中，例如臂由相互能够相对转动地连接的第一臂部与第二臂部构成，第一臂部的基端侧能够转动地与主体部连接，第二臂部的基端侧能够转动地与第一臂部的末端侧连接，手能够转动地与第二臂部的末端侧连接，从上下方向观察时，第一臂部相对于主体部的转动中心与第二臂部相对于第一臂部的转动中心之间的距离同第二臂部相对于第一臂部的转动中心与手相对于第二臂部的转动中心之间的距离相等，且从下侧起依次配置并组装本体部、臂以及手，所述臂处于第一臂部相对于主体部的转动中心与手相对于第二臂部的转动中心在上下方向上重叠的状态。在这种情况下，通过在第一