—侧的在位传感器(未图示)检测测量单元30，利用储料器2的控制器或设置在搁板座20上的控制器打开与喷嘴24相连的气体流路的阀，从而将净化气体导入流量计41。另外，也可以不设置内置的阀，垫圈为氟树脂、氟橡胶、氟橡胶海绵、聚氨基甲酸乙酯树脂、聚氨基甲酸乙酯橡胶、聚氨基甲酸乙酯橡胶海绵、硅树脂、硅橡胶、硅海绵等构成的气密性的密封材料。来自基板32的载荷大部分由喷嘴24支承，销钉22支承的比例少。并且基板32的重量与例如收容一片晶片的FOUP相同，仅与收容了一片晶片的FOUP相同的净化气体经过气体导入部36的阀。另外，如果将追加的配重搭载到基板32上，则能够测量收容有多片晶片之际的净化气体流量。并且，从气体导入部36流入测量单元30的净化气体的流量比较重要，也可以不测量从测量单元30流出的净化气体的流量。
[0039]3根或4根等销钉38从基板34贯穿基板32的通孔39，突出到下方，由搁板座20支承。因此基板34的重量由销钉38和搁板座20支承。在基板34上搭载有蓄电池、DC/DC变换器等电源40，例如设置在每个气体导入部36中的流量计41、流量显示器42以及数据记录器44等，也可以取代数据记录器而搭载通信装置。电源40?数据记录器44的总重量大，比FOUP6的罩和盖重。并且，气体导入部36和流量计41用未图示的管连接。另外，在没有摘板座20的情况下，基板34从图3的位置下降，由基板32支承，此时，用未图不的定心机构在孔39内定心销钉38。而且，销钉38为腿部的例子，腿部并不局限于销钉。销钉38能够在通孔39内上下、前后左右地移动。在将测量单元30设置到搁板座20上的情况下，由于最初销钉38与搁板座20接触，因此在利用引导器35引导连接销22之际，有必要使基板32在水平面内相对于销钉38前后左右地移动。
[0040]说明测量单元30的使用方法。利用图1的输送装置12将测量单元30向开间4移载，使用连接销22和引导器35确定气体导入部36相对于喷嘴24的位置。如果使基板32的总重量与收容了一片晶片的F0UP6相同，则能够测量收容了一片晶片时的净化气体的流量。然后，将测量值收集到数据记录器44中，从装载口 10搬出测量单元30进行分析。并且，在人工输送测量单元30的情况下，目视确认显示在显示器42中的流量。而且，为了准确地知道收容有多于一片晶片时的流量，只要将与晶片的片数相对应的配重载置到基板32上就可以，由于一片晶片的情况下条件最差，因此也可以不测量晶片比一片多的时候的流量。
[0041]图5表示变形例的测量单元30B，除了特别指出的点以外，与图3、图4的测量单元30相同。在基板50上搭载有引导器35、气体导入部36、电源40、流量计41、显示器42和数据记录器44。在3?4根销钉38的上部设置有凸缘51，与弹性体52抵接被向下方施力，销钉38和弹性体52被收容在壳体54的内部。在壳体54的内周铰切有螺纹，与带螺纹部件56的螺纹啮合，用带螺纹部件56限制弹性体52的上端位置，调整向销钉38施加的弹力。由此调整施加给气体导入部36的载荷，能够从收容有一片晶片的状态直到收容有多片晶片的状态调整施加给气体导入部36的载荷。其他之处与图3、图4的测量单元30相同。图5中销钉38贯穿基板50，但销钉38只要被不从基板50脱落地保持着、向下挤压就可以，没有必要贯穿基板50。
[0042]也可以将罩安装到测量单元30上，采用例如与F0UP6相同的形状。并且，如果将与F0UP6同样开闭的盖和盖周围的密封材料安装到罩上，测量流入测量单元的净化气体和流出的净化气体的流量，则能够推定从F0UP6泄漏的净化气体的程度。
[0043]将第2变形例表示在图6中，除了特别指出的点以外，与图3、图4的实施例相同。在图6的变形例的测量单元30C中，将流量计41搭载在基板32上，将销钉38配置在基板32的外侧。利用钢丝等变形自由的连接部件60连接基板32、34。如上所述，也可以将电源40、流量计41、显示器42、数据记录器44等电路元件的一部分搭载在基板32上，并且销钉38也可以不管穿基板32。另外，这种情况以基板32与收容了一片左右的晶片的容器重量相同为前提。
[0044]在实施例中，能够测量由于收容有一片晶片因此轻而净化气体的流量少的F0UP6中的流量。
[0045]标记的说明
[0046]2-储料器；4-开间；6-F0UP ;8_净化气体供给部；10-装载口 ； 12-输送装置；14-升降台；16_轨道；20-搁板座；21-开口 ；22_连接销；24_喷嘴；30、30B、30C_测量单兀；32、34_基板；35_引导器；36_气体导入部；38_销钉；39_通孔；40_电源；41_流量计；42-显示器；44_数据记录器；50_基板；51_凸缘；52_弹性体；54_壳体；56_带螺纹部件；60-连接部件。
【主权项】
1.一种测量单元，用来测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量，包括: 基板； 气体导入部，配置在上述基板的底面，与搁板座的喷嘴接触，由此利用来自上述基板的载荷与喷嘴之间保持气密的同时，导入净化气体； 电路部，至少具有测量上述气体导入部中的流量的流量计和电源；以及多个腿部，相对于上述基板沿上下方向位移自由，将测量单元自重的一部分支承在搁板座上。2.如权利要求1所述的测量单元，其特征在于，结构为:将上述基板作为第I基板，在第I基板的上方设置有支承上述电路部的至少一部分的第2基板，并且上述腿部安装在第2基板上、避开第I基板地向着搁板座延伸，从而上述腿部将第2基板的重量支承在搁板座上。3.如权利要求1所述的测量单元，还具有:向上述腿部施加朝下的弹力的弹性体；以及 调整上述弹力的调整部件。4.一种净化气体的流量测量方法，利用测量单元测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量，其特征在于， 上述测量单元具备: 基板； 气体导入部，配置在上述基板的底面，并且利用来自基板的载荷与喷嘴之间保持气密的同时，导入净化气体； 电路部，至少具有流量计和电源；以及 多个腿部，相对于上述基板沿上下方向位移自由； 该方法执行以下步骤: 将上述多个腿部支承在搁板座上，并且通过使上述气体导入部与搁板座的喷嘴接触来将测量单元的载荷分配到上述多个腿部和上述气体导入部的分配步骤；以及 利用上述流量计测量经由上述气体导入部而流向上述流量计的净化气体的流量的测量步骤。5.如权利要求4所述的净化气体的流量测量方法，其特征在于，上述测量单元将上述基板作为第I基板，在第I基板的上方具备支承上述电路部的至少一部分的第2基板，并且上述腿部安装在第2基板上、避开第I基板地向搁板座延伸， 上述载荷分配步骤中，上述腿部将来自第2基板的载荷支承在搁板座上。6.如权利要求4所述的净化气体的流量测量方法，其特征在于，上述测量单元还具有: 向上述腿部施加朝下的弹力的弹性体；以及 上述弹力的调整部件； 该方法还执行利用上述调整部件调整从上述气体导入部向喷嘴施加的载荷的调整步骤。
【专利摘要】本发明的测量单元测量收容了个数比平均数少的物品的容器(6)内的净化气体的流量。利用测量单元(30)测量从搁板座的喷嘴提供的净化气体的流量。测量单元(30)具备：基板(32)；配置在基板(32)的底面、与搁板座(20)的喷嘴(24)接触、用来自基板(32)的载荷与喷嘴(24)之间保持气密的同时导入净化气体的气体导入部(36)；具有测量净化气体流量的流量计(41)和电源(40)的电路部；相对于基板(32)沿上下方向位移自由、将测量单元(30)自重的一部分支承在搁板座(20)上的多个腿部(38)。
【IPC分类】G01F1/00, H01L21/677
【公开号】CN104937709
【申请号】CN201480005157
【发明人】村田正直, 山路孝
【申请人】村田机械株式会社
【公开日】2015年9月23日
【申请日】2014年1月30日
【公告号】WO2014136506A1