薄膜晶体管和阵列基板的制作方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及液晶显示领域，尤其涉及一种薄膜晶体管和一种阵列基板。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)等平面显示装置因具有高画质、省电、机身薄及应用范围广等优点，而被广泛的应用于手机、电视、个人数字助理、数字相机、笔记本电脑、台式计算机等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。而薄膜晶体管(TFT:Thin Film Transistor)是液晶显示器中必不可少的控制器件，薄膜晶体管包括栅极、源极与漏极。薄膜晶体管通常可以采用非晶硅(a-Si)或多晶硅材料形成。研究显示，采用多晶硅材料形成的薄膜晶体管的性能比采用非晶硅材料形成的薄膜晶体管的性能高100多倍。多晶硅包括高温多晶硅(HTPS)和低温多晶硅(LTPS)，其中，采用低温多晶硅形成的薄膜晶体管具有较高的电子迀移率，还能缩小薄膜晶体管的尺寸，因此广泛应用于液晶显示装置中，既实现了高开口率，又使得相应的显示装置具有高亮度、低耗电的优点。然而，随着对显示装置更高显示质量的需求，要求我们不断提高薄膜晶体管的迀移率。
【发明内容】
[0003]本发明所要解决的技术问题在于提供一种具有较高电子迀移率的薄膜晶体管和一种采用该薄膜晶体管的阵列基板。
[0004]为了实现上述目的，本发明实施方式采用如下技术方案:
[0005]—方面，提供一种薄膜晶体管，包括沿第一方向依次层叠设置的基板、金属遮光层、阻隔层、栅极绝缘层、栅极和内介电层，且所述薄膜晶体管沿第二方向并排形成外围区和像素区，所述第二方向垂直于所述第一方向，所述金属遮光层和所述栅极均呈长条状且在所述第二方向上自所述外围区延伸至所述像素区，所述金属遮光层在所述第一方向上与所述栅极至少部分重叠，在所述所述外围区内，所述栅极贯穿所述栅极绝缘层和所述阻隔层连接所述金属遮光层。
[0006]优选的，所述薄膜晶体管还包括位于所述像素区的有源区、源极和漏极，所述有源区位于所述阻隔层与所述栅极绝缘层之间且在所述第一方向与所述栅极居中对齐，所述源极贯通所述内介电层和所述栅极绝缘层连接至所述有源区的一端，所述漏极贯通所述内介电层和所述栅极绝缘层连接至所述有源区的另一端。
[0007]优选的，所述金属遮光层在所述第一方向上完全覆盖所述有源区。
[0008]优选的，所述有源区为N型金属氧化半导体。
[0009]优选的，所述有源区包括一多晶硅层和两个分别设置在所述多晶硅层两侧的N+型层，所述两个N+型层分别形成所述有源区的一端和所述有源区的另一端。
[0010]优选的，所述像素区包括至少两个所述栅极和至少两排像素单元，所述至少两个栅极和所述至少两排像素单元在所述第三方向上交替设置，所述第三方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。
[0011]优选的，所述像素区还包括至少两条数据线，在所述第二方向上，所述每排像素单元包括至少两个像素单元，所述数据线与所述像素单元交替设置。
[0012]另一方面，还提供一种阵列基板，所述阵列基板包括上述任一项所述的薄膜晶体管。
[0013]相较于现有技术，本发明具有以下有益效果:
[0014]本发明所述薄膜晶体管之所述栅极连接所述金属遮光层，使所述金属遮光层具有可以充当栅极的功能，也即所述栅极与所述金属遮光层构成了双栅极结构，使所述薄膜晶体管电流-电压特性更加稳定，导通电流明显改善，驱动能力增加，功耗降低，薄膜晶体管具有更高的电子迀移率。同时，由于所述金属遮光层能够遮挡背光光线，使其不进入所述有源区，降低了薄膜晶体管的漏电流。再者，所述薄膜晶体管通过在所述外围区处连接所述栅极与所述金属遮光层形成双栅极结构，所述像素区B的结构无需进行变动即可实现双栅极驱动，并且由于所述金属遮光层与栅极等电势，所述薄膜晶体管可以直接适用于原有单栅极电路，整体应用难度小，工艺简单。
【附图说明】
[0015]为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
[0016]图1是本发明提供的一种薄膜晶体管的正视结构示意图。
[0017]图2是图1中a-a处剖面结构的部分结构示意图。
[0018]图3是图1中b-b处剖面结构的部分结构示意图。
【具体实施方式】
[0019]下面将结合本发明实施方式中的附图，对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0020]请参阅图1至图3，图1本发明实施例提供的一种薄膜晶体管的正视结构示意图，图2是图1中a-a处剖面结构的部分结构示意图，图3是图1中b-b处剖面结构的部分结构示意图，为方便下文说明，定义图2中X方向为第一方向，图1中Y方向为第二方向、Z方向为第三方向，所述第一方向X、所述第二方向Y和所述第三方向Z两两相互垂直。
[0021]如图2所示，本实施例所述薄膜晶体管包括沿所述第一方向X依次层叠设置的基板11、金属遮光层12、阻隔层13、栅极绝缘层14、栅极15和内介电层16。可以理解的，第一方向X即为薄膜晶体管的厚度方向。结合图1和图2所示，本实施例所述薄膜晶体管形成沿所述第二方向Y并排设置的外围区A和像素区B，金属遮光层12和栅极15均呈长条状，且在所述第二方向Y上自外围区A延伸至像素区B，金属遮光层12在所述第一方向X上与栅极15至少部分重叠，位于外围区A的所述栅极15贯穿栅极绝缘层14和阻隔层13连接金属遮光层12。
[0022]本实施例所述薄膜晶体管之栅极15连接金属遮光层12，使金属遮光层12具有可以充当栅极12的功能，也即栅极15与金属遮光层12构成了双栅极结构，使薄膜晶体管电流-电压特性更加稳定，导通电流明显改善，驱动能力增加，功耗降低，薄膜晶体管具有更高的电子迀移率。同时，由于金属遮光层12能够遮挡光线，降低了薄膜晶体管的漏电流。再者，本实施例薄膜晶体管通过在外围区A处连接栅极15与金属遮光层12形成双栅极结构，像素区B的结构无需进行变动即可实现双栅极驱