基板烘烤装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明构思的示例性实施例涉及一种烘烤装置，更具体地讲，涉及一种基板烘烤
目.0
【背景技术】
[0002]在液晶显示器的制造工艺中，CF(Color Filter，滤色器)制程用于形成包括滤色器的基板。通常，CF制程包括基板投入、清洗与干燥、涂覆光阻、真空干燥、预烘烤、曝光、显影等步骤。预烘烤是指在一定的温度下将其上涂覆有光阻剂的基板烘烤一段时间，使得残留在光阻剂内的溶剂挥发，增加光阻剂与基板表面的粘附性，从而有利于顺利进行后续的曝光工艺和显影工艺。
[0003]基板烘烤装置是在相关领域中用于执行预烘烤的装置。基板在预烘烤工艺期间被直接加热，包含在光阻剂中的溶剂受热挥发，并在接触烘烤机腔室内的低温部位后经历冷热交换而产生大量烟雾。烟雾会滞留在腔室中并沉积在腔室的内壁或被加热的样品上，从而影响产品的良率。例如，造成光阻剂聚集或有固定位置的缺陷等。
[0004]随着液晶显示器趋向于高分辨率发展，要求在面积更小的基板内集成更多的像素，因此使用的光阻剂颜料(pigment)的颗粒也越发细小化。由于光阻剂颜料颗粒的细化对光的特性的影响非常大，例如，可以保证高透射率、高对比度和高色度，因此，需要在颜料颗粒的分散工艺中添加多种调和剂和光化剂来确保颜料颗粒之间的分散效果。然而，这亦随之加剧了产生烟雾的问题。
【发明内容】
[0005]本发明构思的目的在于解决现有技术中存在的上述问题，提供一种能够防止气态溶媒附着于腔室内的基板烘烤装置。
[0006]本发明构思的一方面提供一种基板烘烤装置，所述基板烘烤装置包括:腔室，所述腔室的内部形成用于容纳基板的空间；以及顶盖，位于所述腔室上并覆盖所述腔室，其中，所述顶盖中设置有加热组件。
[0007]根据本发明构思的示例性实施例，所述加热组件可以包括顺序层叠的隔热层、加热层和热分布层。
[0008]根据本发明构思的示例性实施例，所述加热层可以通过导线连接到外部供电装置。
[0009]根据本发明构思的示例性实施例，所述热分布层可以包括使热量均匀分布的蜂窝板。
[0010]根据本发明构思的示例性实施例，所述加热组件可以通过内嵌的方式可拆卸地设置在所述顶盖中。
[0011]根据本发明构思的示例性实施例，所述加热组件还可以包括:顶板，设置在所述隔热层上，以构成所述加热组件的顶表面；以及底板，设置在所述热分布层上并且面对所述腔室，以构成所述加热组件的底表面。
[0012]根据本发明构思的示例性实施例，所述底板可以由铁氟龙材料(PTFE)或聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)材料形成。
[0013]根据本发明构思的示例性实施例，所述顶盖在执行基板烘烤期间的温度可以保持在80°C以上。
[0014]根据本发明构思的示例性实施例，所述基板烘烤装置还可以包括设置在所述腔体内部的气体流通部件。
[0015]根据本发明构思的示例性实施例，所述气体流通部件可以包括供气管和排气管，并且所述供气管和所述排气管分别设置在所述腔体的两个相对内侧壁上并与所述腔体连通。
【附图说明】
[0016]在下文中，将结合附图详细描述本发明构思的示例性实施例，但是本发明构思不限于在此示出的实施例。在附图中，除非另行说明，否则同样的附图标记将始终指示同样的元件。
[0017]图1是根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置的示意图。
[0018]图2是根据本发明构思的示例性实施例的加热组件的示意图。
[0019]图3A是根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置的顶盖的平面图。
[0020]图3B是沿着图3A的线1-1’截取的剖视图。
[0021]图4是根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置的气体流通部件的示意图。
[0022]图5是示出根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置中顶盖的温度与腔室中的烟雾量的关系图。
【具体实施方式】
[0023]以下将结合附图来详细描述本发明构思的示例性实施例，然而，附图仅示意性示出本发明构思的具体示例，不具有限制作用。然而，本领域技术人员应理解的是，在不脱离本发明构思的由权利要求限定的保护范围的情况下，可以对实施例进行各种修改和变形。
[0024]图1是根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置的示意图。如图1中所示，基板烘烤装置100包括:腔室110，腔室110的内部形成用于容纳基板10的空间；以及顶盖120，位于腔室110上并覆盖腔室110，其中，顶盖120中设置有加热组件130。稍后将参照图2来详细描述加热组件。
[0025]在本实施例中，腔室110的内部可以形成为长方体形状。基板10可以放置在腔室110内部。例如，基板10可以是由玻璃、陶瓷、塑料、有机聚合物等形成的基板。腔室110的内部空间可以被构造为能容纳一个或更多个基板。
[0026]基板烘烤装置100可执行例如CF制程中的预烘烤工艺。例如，在执行预烘烤工艺之前，可以预先在基板10上涂覆光阻剂。具体地，可以首先在基板10上涂覆例如热固型的OC光阻剂，然后对其上涂覆有OC光阻剂的基板10执行真空干燥处理，然后将经历真空干燥后的基板10放入腔室110中，以对基板10执行加热烘烤。在基板10经历烘烤的过程中，包括在基板10上的OC光阻剂内的溶剂会挥发出来，并在腔室110中产生烟雾。
[0027]为了防止受热挥发的溶剂烟雾遇冷凝结在基板烘烤装置的顶盖上，在本实施例的基板烘烤装置100的顶盖120中设置有加热组件130。加热组件130可以对顶盖120执行加热处理，使得顶盖120的温度升高。当挥发出来的溶剂烟雾在腔室110中升腾至与顶盖120接触时，烟雾的温度仅发生微小的变化，从而不会凝结在顶盖120上。
[0028]根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置可以在执行预烘烤工艺时确保基板的质量不发生劣化，防止因溶剂烟雾沉积导致的诸如光阻聚集、平整度差等的基板质量缺陷。
[0029]图2是根据本发明构思的示例性实施例的加热组件的示意图。根据本发明构思的示例性实施例的基板烘烤装置的加热组件130可以包括顺序层叠的隔热层131、加热层132和热分布层133。在本实施例中，隔热层131设置在距离腔室110较远的位置处，热分布层133设置在距离腔室110较近的位置处，加热层132位于隔热层131与热分布层133之间。在加热组件130中，加热层132是用于提供热量的主要元件。热分布层133可以使由加热层132提供的热量在顶盖120内均匀分布。隔热层131用来防止热量散失。例如，隔热层131可以由诸如石棉等具有保温隔热效果的材料形成。
[0030]在一个实施例中，加热层可以通过导线连接到外部供电装置。例如，外部供电装置可以是电源或电池等能够供应电能的装置。外部供电装置可以向加热层提供电能，电能在加热层中被转换成热能。例如，加热层132可以通过导线140电连接到基板烘烤装置100的电源模块，从而可以通过电源模块使加热层132自动执行加热，并可以自动控制顶盖120的温度。
[0031]在一个实施例中，热分布层可以包括使热量均勾分布的蜂窝板。例如，热分布层133可以包括具有夹层结构的蜂窝板，所述蜂窝板可以通过将两块薄板牢固地粘结在一层较厚的蜂窝状芯材的两个侧面而形成。然而，本发明构思不限于此，可以使用能够实现热量均匀分布的任何材料形成热分布层。
[0032]此外，在另一个实施例中，加热组件还可以包括顶板和底板。例如，加热组件130还可以包括在图2中示出的顶板150和底板160。顶板150设置在隔热层131上，以构成加热组件130的顶表面。底