垂直式平板式加热器的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明提供了一种加热器，尤其指一种不会发生结构变形的垂直式平板式加热器。
【背景技术】
[0002]请参阅图1，图1为公知技术的一传统加热器10的示意图。加热器10包含有一加热板12以及一支撑柱14。支撑柱14设置于加热板12的两端面的其中一端面的一中心位置，用来支撑加热板12以固定其位置。支撑柱14用来推动加热板12水平位移以靠近待加热物18，因此传统加热器10为水平式加热器。然而在水平式加热器的两个端面中，一个端面是平滑无任何组件，另一个端面则设置有支撑柱14，会造成两端面的刚性不平均及拘束条件不对等的问题，使得在加热器10的温度升高时，加热板12会因产生结构弯曲变形，力口热板12会与待加热物18 (例如基板、电极等)形成点接触，而导致温度不均匀的缺陷产生。
[0003]其中一种公知的解决方式是将一支架16设置在加热板12的端面，支架16可由金属材质或绝缘材质所组成。此种解决方式是利用支架16的刚性来限制加热板12的形变量。然而此种强制导正方式会使得加热板12在不同的温度环境下(如高温状态或低温状态)，有着不同的形变趋势。因此，如何设计出一种适用各种环境下，且不易发生结构变形的加热器，即为相关产业的重点发展目标。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种不会发生结构变形的垂直式平板式加热器，以解决上述的问题。
[0005]为实现上述目的，本发明提供的垂直式平板式加热器，包含有一加热板、一第一支撑架、一第二支撑架、二夹持单元、至少一连结构件以及复数个压块。该加热板是应用于一大尺寸基板。该二个夹持单元设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板的一上端边与一下端边。该至少一连结构件连接该相对应夹持单元，且以可活动方式设置于该第一支撑架内。该复数个压块分别设置于该加热板的复数个端角。该夹持单元是由该第一支撑架与该连结构件沿着一第一方向移动，使得该加热板可经由各压块抵接在该基板，以调整该加热板与该基板之间的平行度。
[0006]其中，该二夹持单元分别夹持该上端边与该下端边的中心位置。
[0007]其中，该连结构件与该夹持单元为一线性导向组合。
[0008]其中，该垂直式平板式加热器另包含有一球型轴承，设置于该夹持单元与该连结构件之间。该夹持单兀是由该球型轴承，以沿着相异该第一方向的一第二方向与一第三方向轴向旋转。
[0009]其中，该球型轴承为一万向球座。
[0010]其中，该第二方向相异于该第三方向。
[0011]其中，该垂直式平板式加热器另包含有一外部驱动单元，其电连接于该连结构件。该外部驱动单元驱动该连结构件相对该第一支撑架移动。
[0012]其中，该垂直式平板式加热器是应用于等离子体系统的加热工艺。
[0013]本发明还提供一种垂直式平板式加热器，包含有一加热板、一第二支撑架、二夹持单元、一球型轴承以及复数个压块。该加热板是应用于一大尺寸基板。该二个夹持单元设置于该第二支撑架上，且分别夹持于该加热板的一上端边与一下端边。该球型轴承设置于该夹持单元与该加热板之间。该复数个压块分别设置于该加热板的复数个端角。该夹持单元是由该球型轴承产生轴向旋转，使得该加热板经由各压块活动地抵接在该基板，以调整该加热板相对该基板的平行度。
[0014]本发明的垂直式平板式加热器不破坏加热板的表面结构，可确保加热板的两表面的刚性及拘束条件对等，故不会因加热膨胀而产生过度弯曲变形的缺点。再者，本发明的垂直式平板式加热器可自适地调整加热板的旋转角度，以达到加热板表面与被加热物表面的良好平行质量，同时亦达到良好的默认间距质量。
【附图说明】
[0015]图1为公知技术的传统加热器的示意图。
[0016]图2为本发明实施例的垂直式平板式加热器的示意图。
[0017]附图中的符号说明:
[0018]10加热器，12加热板，14支撑柱，16支架，20垂直式平板式加热器，22加热板，221上端边，223下端边，24第二支撑架，26夹持单元，28压块，30第一支撑架，32连结构件，34球型轴承，36外部驱动单兀，Dl第一方向，D2第二方向，D3第三方向。
【具体实施方式】
[0019]请参阅图2，图2为本发明实施例的一垂直式平板式加热器20的示意图。垂直式平板式加热器20的垂直方向是相对于放置垂直式平板式加热器20的水平面而言。垂直式平板式加热器20 —般是应用于等离子体系统的加热工艺，可自动调整加热器表面与欲进行加热的电极表面的平行度，且较佳地适用于加工大尺寸的电极基板。例如，此大尺寸电极基板的长度、宽度皆大于一米(公尺)。垂直式平板式加热器20包含有一加热板22、一第二支撑架24、二夹持单元26、复数个压块28、一第一支撑架30、至少一连结构件32、一球型轴承34以及一外部驱动单元36。加热板22是以直立方式应用于本发明的垂直式平板式加热器20。两个夹持单元26设置于第二支撑架24上，并分别夹持加热板22的上端边221与一下端边223的中心位置(重心位置)，以确保第二支撑架24与夹持单元26可稳固地抓持，而不致造成加热板22歪斜倾倒。垂直式平板式加热器20可较佳地将四个压块28分别设置在加热板22的四个端角，用来自适地调整加热板22与被加热物(例如电极基板)的表面平行度。
[0020]如图2所示，连结构件32的一端以可活动方式设置于第一支撑架30内，且连结构件32的另一段是由球型轴承34而连接相应的夹持单元26上。或者，垂直式平板式加热器20可包含额外的球型轴承34，另设置在夹持单元26与加热板22之间，使夹持单元26可利用球型轴承34相对加热板22轴向旋转；此状态下，夹持单元26和连结构件32之间是非必要地设置球型轴承34。球型轴承34的位置端视设计需求而定。本发明的垂直式平板式加热器20可较佳地于两个夹持单元26皆分别配置一组连结构件32与球型轴承34，因此加热板22可利用连结构件32与夹持单元26的线性导向组合，而沿着第一方向Dl相对第一支撑架30微幅倾斜；另一方面，球型轴承34可为一万向球座，意即加热板22可通过设置在夹持单元26与连结构件32之间的球型轴承34，微幅地沿着相异第一方向Dl的一第二方向D2与一第三方向D3轴向旋转。其中第二方向D2实质上垂直于第三方向D3。再者,夕卜部驱动单元36是电连接于连结构件32。外部驱动单元36可为一马达、汽缸、引擎等电动机，用来推动加热板22移动以接近或远离被加热物(电极基板)。
[0021]详细地说，本发明的垂直式平板式加热器20是利用两个夹持单元26分别夹持加热板22的上端边221及下端边223，以小范围