水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器的制造方法
【技术领域】
[0001] 本申请设及显示器领域，具体而言，设及一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的 显示器。
【背景技术】
[0002] 目前，有机发光二极管的rganic Li曲t-Emitting Diode,简称OL邸）显示器越来 越普遍，在手机、媒体播放器及小型入口级电视等产品中最为显著。主要原因是：〇L邸为自 发光材料，不需用到背光板，用简单驱动电路即可发光；视角广，画质均匀，反应速度快，较 易彩色化；且其制程简单，可制作成晓曲式面板，符合轻薄短小的要求。因此，其主要优点可 W归结为：主动发光，视角范围大，响应速度快，图像稳定；亮度高，色彩丰富，分辨率高，驱 动电压低；能耗低，可与太阳能电池、集成电路等相匹配。
[0003] 其中的柔性OL邸器件具有自发光、宽视角、抗弯曲能力强等优异性能，是实现柔 性显示的较理想的选择，但柔性衬底层对水、氧阻隔能力差是其实现柔性显示的瓶颈之一。
[0004] 现有技术中的OL邸显示器中的衬底层都不能很好地阻挡外界杂质液体和气体的 侵入，当OL邸衬底层暴露在水和氧气中时，器件的光电特性就会急剧衰退，使得器件在很 短的时间内就不能继续使用，无法满足显示器对寿命要求。
【发明内容】
阳〇化]本申请旨在提供一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器，W解决现有技 术中的衬底层的水汽阻隔效果较差问题。
[0006] 为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻隔 膜包括衬底与设置在上述衬底表面的水汽阻隔层，上述水汽阻隔层包括娃氧化物与侣氧化 物，且上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，上述水汽阻隔膜的厚度在 20~200nm之间。
[0007] 进一步地，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为1 :1，上述水汽阻隔层的厚 度在20~40nm之间。
[0008] 进一步地，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为7:3,上述水汽阻隔层的厚度 在180~200nm之间。
[0009] 进一步地，上述娃氧化物为二氧化娃。
[0010] 进一步地，上述侣氧化物为氧化侣。
[0011] 进一步地，上述衬底的厚度在25~125 ym之间。
[0012] 进一步地，上述衬底为PET衬底。
[0013] 为了实现上述目的，本申请的另一个方面，提供了一种上述的水汽阻隔膜的制备 方法，上述制备方法包括采用磁控瓣射法、电子束蒸锻法或等离子体增强化学气相沉积法 将娃氧化物与侣氧化物沉积在衬底上形成水汽阻隔膜。
[0014] 为了实现上述目的，本申请的再一个方面，提供了一种显示器，包括水汽阻隔膜， 该水汽阻隔膜为上述的水汽阻隔膜。
[0015] 进一步地，上述显示器为OLED显示器。
[0016] 应用本申请的技术方案，将水汽阻隔膜中的娃氧化物与侣氧化物的重量比控制在 1:1~7:3之间，且水汽阻隔层的厚度控制在20~200nm之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻 挡外界液体与气体的侵入，进而提高了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
【附图说明】
[0017] 构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示 意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[001引图1示出了本申请一种实施方式提出的水汽阻隔膜的剖面结构示意图。
【具体实施方式】
[0019] 应该指出，W下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另 有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常 理解的相同含义。
[0020] 需要注意的是，运里所使用的术语仅是为了描述【具体实施方式】，而非意图限制根 据本申请的示例性实施方式。如在运里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式 也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语"包含"和/或"包 括"时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0021] 正如【背景技术】所介绍的，现有技术中的OL邸显示器中的衬底层不能很好地阻挡 外界杂质液体和气体的侵入，使得OL邸显示器的寿命较短，为了解决如上的技术问题，本 申请提出了一种水汽阻隔膜、其制备方法与包含其的显示器。
[0022] 本申请的一种典型的实施方式中，如图1所示，提供了一种水汽阻隔膜，该水汽阻 隔膜包括衬底10与设置在衬底10表面的水汽阻隔层20,该水汽阻隔层20包括娃氧化物与 侣氧化物，且上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，上述水汽阻隔膜的 厚度在20~200nm之间。
[0023] 当上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在1:1~7:3之间，且水汽阻隔层20的 厚度在20~200皿之间时，水汽阻隔膜能够较好地阻挡外界液体与气体的侵入，进而提高 了使用该水汽阻隔膜的器件的寿命。
[0024] 本申请的一种实施例中，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比为7:3之间，上 述水汽阻隔层20的厚度在180~200皿之间。由于水汽阻隔层20中起水汽阻隔作用的主 要是侣氧化物，所W当水汽阻隔层20中的侣氧化物占的比重较小时，要进一步保证该水汽 阻隔层20对液体与气体的有较高的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10 2g/m2 . day,需要较厚 的水汽阻隔层20。
[00巧]本申请的一种实施例中，上述娃氧化物与上述侣氧化物的重量比在5:5之间，上 述水汽阻隔层20的厚度在20~40皿之间。将娃氧化物与上述侣氧化物的重量比控制在 此范围内，同时将水汽阻隔层20的厚度在20~40nm之间，能够进步一步保证该膜对液体 与气体的阻隔率，使得水汽阻隔率优于10 2g/m2 ? day。
[00%] 为了保证水汽阻隔膜具有良好的光学性能，本申请优选上述水汽阻隔层20的折 射率在I. 5~I. 6之间。
[0027] 本申请的一种优选实施例中，为了取材方便，节约成本，上述娃氧化物为二氧化 娃。
[0028] 同样地，优选侣氧化物为氧化侣。
[002