消，不需要额外的元器件，并且效率高发热小，即使发热也能通过线路板把热量导到地下的散热板带走。
[0026]参考图4，图中为功率合成微带电路图8，射频电流从输入端20，21输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端22上，其中原理为射频电流通过特定宽度和长度的微带敷铜线后，能合成在一起，其中微带的作用是匹配和减少损耗。第三微带传输部27是一根宽4mm，长度398mm的敷铜线路，其中由9根34mm长的直线与8个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成，以上所述微带传输部都是关键部位，这样设计能起到缩小体积减小损耗的作用。原理是射频电流流过这些微带线后能在输出端保持同样的相位，并均匀地输出到输出端。功率合成微带电路8是由两个总微带合成传输部组成，这两个部分都是一根宽4mm，长557mm的微带铜线，其区别在于因为电路板的尺寸而走的位置不一样，还有就是连接顺序不一样，第七总微带合成传输部35的输入接的是第一总微带合成传输部29和第二总微带合成传输部30与第三总微带合成传输部31的微带输出端，而第八总微带合成传输部36的微带输入接的是第四总微带合成传输部32和第五总微带合成传输部33与第六总微带合成传输部34的微带输出端，最后第七总微带合成传输部35与第八总微带合成传输部36的微带的输出端连接到一起，这样的微带合成线路的设计好处是能把电流平均地合成为一路并保持各线路的相位不会互相抵消，不需要额外的元器件，并且效率高发热小，即使发热也能通过线路板把热量导到地下的散热板带走。
[0027]参考图5，输出匹配微带电路10，射频电流从23输入进匹配端，经过电容电感匹配后从输出端24输出到激光器。第四微带传输部28是一根宽8mm，长度51.5mm的敷铜线路，射频电流经过时起到匹配的作用。
[0028]参考图6，第一总微带合成传输部29详细布线图，所述传输部是一根宽3.2mm，总长557mm的微带铜线，其中是由10根直线与6个半径为4.5mm半圆，4个半径为4.5mm的I/4圆组成。
[0029]参考图7，第二总微带合成传输部30详细布线图，所述传输部是一根宽3.2mm，总长557mm的微带铜线，其中是由8根直线与6个半径为4.5mm半圆，3个半径为4.5mm的I/4圆组成。
[0030]参考图8，第三总微带合成传输部31详细布线图，所述传输部是一根宽3.2mm，总长557mm的微带铜线，其中是由11根直线与9个半径为4.5mm半圆，2个半径为4.5mm的I/4圆组成。
[0031]参考图9，第四总微带合成传输部32详细布线图，所述传输部是一根宽3.2_，总长557mm的微带铜线，其中是由11根直线与9个半径为4.5mm半圆，2个半径为4.5mm的I/4圆组成。
[0032]参考图10，第五总微带合成传输部33详细布线图，所述传输部是一根宽3.2mm，总长557mm的微带铜线，其中是由8根直线与6个半径为4.5mm半圆，3个半径为4.5mm的1/4圆组成。
[0033]参考图11，第六总微带合成传输部34详细布线图，所述传输部是一根宽3.2mm，总长557mm的微带铜线，其中是由10根直线与6个半径为4.5mm半圆，4个半径为4.5mm的1/4圆组成。
[0034]参考图12，第七总微带合成传输部35详细布线图，所述传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与13个半径为3.67mm半圆，I个半径为3.67mm的1/4圆组成。
[0035]参考图13，第八总微带合成传输部36详细布线图，所述传输部是一根宽4mm，总长557mm的微带铜线，其中是由14根直线与6个半径为3.67mm半圆，9个半径为3.67mm的1/4圆组成。
【主权项】
1.一种用于激光器的射频电源，其特征在于:包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器;其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，这六个模块同时给出81.36Mhz的射频功率电流，通过电极传输给第一功率合成微带电路，第三功率合成微带电路，所述第一功率合成微带电路和第三功率合成微带电路，各将三路功率放大模块输出的信号合成为一路，输出给到第二功率合成微带电路的输入端，所述第二功率合成微带电路把两路输入功率电流合成为一路，并通过电极输送给输出匹配微带电路，经过所述输出匹配微带电路匹配后输出到二氧化碳激光器。2.一种功率合成微带电路，其特征在于:包括第一微带传输部;射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第一微带传输部是一根宽3.2mm，长度237mm的敷铜线路，其中由3根69.6mm长的直线与2个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。3.根据权利要求2所述的功率合成微带电路，其特征在于:所述功率合成微带电路由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线，其中，第一总微带合成传输部和第二总微带合成传输部与第三总微带合成传输部的微带输入端是分开的，输出接到一起。4.一种功率合成微带电路，其特征在于:包括第二微带传输部;射频电流从三个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上；其中第二微带传输部是一根宽3.2mm，长度186.3mm的敷铜线路，其中由4根36mm长的直线与3个半径为4.5mm的半圆首尾相接而成。5.根据权利要求4所述的功率合成微带电路，其特征在于:所述功率合成微带电路由三个总微带合成传输部组成，这三个部分都是一根宽3.2mm，长557mm的微带铜线，第四总微带合成传输部和第五总微带合成传输部与第六总微带合成传输部的微带输入端是分开的，输出接到一起。6.一种功率合成微带电路，其特征在于:包括第三微带传输部;射频电流从两个输入端输入，射频电流经过微带线最终聚集合成到输出端上;其中第三微带传输部是一根宽4mm，长度398mm的敷铜线路，其中由9根34mm长的直线与8个半径为3.67mm的半圆首尾相接而成。7.根据权利要求6所述的功率合成微带电路，其特征在于:所述功率合成微带电路由两个总微带合成传输部组成，这两个部分都是一根宽4_，长557_的微带铜线，第七总微带合成传输部的输入接的是如权利要求2所述的第一总微带合成传输部和第二总微带合成传输部与第三总微带合成传输部的微带输出端，而第八总微带合成传输部的微带输入接的是如权利要求4所述的第四总微带合成传输部和第五总微带合成传输部与第六总微带合成传输部的微带输出端，最后第七总微带合成传输部与第八总微带合成传输部的微带的输出端连接到一起。8.—种输出匹配微带电路，其特征在于:射频电流输入进匹配端，经过电容电感匹配后从输出端输出到激光器，其中第四微带传输部是一根宽8mm，长度51.5mm的敷铜线路，射频电流经过时起到匹配的作用。
【专利摘要】一种用于激光器的射频电源，其特征在于：包括第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块，第一微带功率合成电路，第二微带功率合成电路，第三功率合成微带电路，射频输出匹配电路和水冷散热器；其中，第一功率放大模块，第二功率放大模块，第三功率放大模块，第四功率放大模块，第五功率放大模块，第六功率放大模块。
【IPC分类】H01S3/041, H01S3/09
【公开号】CN105449502
【申请号】CN201510923985
【发明人】徐海军
【申请人】北京热刺激光技术有限责任公司
【公开日】2016年3月30日
【申请日】2015年12月14日