基板保持装置的制造方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及保持晶片等基板的基板保持装置。
【背景技术】
[0002]像专利文献I公开的那样，公知有保持晶片等基板的周缘部并使其旋转的基板保持装置。这种基板保持装置应用于一边使基板旋转一边向基板的表面喷涂IPA蒸气而使该基板干燥的干燥装置等处理装置。
[0003]上述的基板保持装置具有用于支承基板的周缘部的多个支柱。这些支柱沿着基板的周缘部配置。在支柱的周围配置有弹簧，通过该弹簧，支柱被向下方施力。并且，通过升降机使支柱上升。在将基板从搬运用自动装置交给基板保持装置时，支柱抵抗弹簧的力而被升降机上升。在基板保持装置一边旋转基板，一边处理该基板时，升降机下降并且支柱被弹簧下压。
[0004]在基板的处理中，基板绕其轴心旋转。最近为了提高基板处理的生产量，要求使基板以更高速旋转。然而，在使基板以高速旋转时，对以包围支柱的方式配置的弹簧作用较强的离心力，弹簧向外侧发生变形。此时，在弹簧中产生较大的应力，弹簧产生疲劳。结果为，弹簧有时会在到达预计的寿命前断裂。
[0005]并且，在基板以高速旋转时，有时对支柱也作用较强的离心力，支柱的端部向外侧位移。结果为，由支柱支承的基板有可能变得不稳定。
[0006]现有专利文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2009-295751号公报
【发明内容】
[0009]发明要解决的课题
[0010]本发明是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种改良后的基板保持装置，即使对弹簧施加较大的离心力，也能够使弹簧的变形为最小，其中，该弹簧用于对支承基板的支柱施力。
[0011 ]并且，本发明的目的在于，提供一种基板保持装置，能够防止支承基板的支柱向外侧位移。
[0012]用于解决课题的手段
[0013]为了达成上述的目的，本发明的一个方式提供一种基板保持装置，其中，该基板保持装置具有:支柱，该支柱在轴向上移动自如;夹头，该夹头设置于所述支柱，并且夹持基板的周缘部;弹簧，该弹簧对所述支柱向所述支柱的轴向施力;第I构造体，该第I构造体限制所述弹簧的上侧部位向与所述轴向垂直的方向移动；以及第2构造体，该第2构造体限制所述弹簧的下侧部位向与所述轴向垂直的方向移动。
[0014]本发明优选的方式的特点在于，所述第I构造体具有包围所述弹簧的上侧部位的内周面，所述第2构造体配置在所述弹簧的内侧，并且具有支承所述弹簧的下侧部位的外周面。
[0015]本发明优选的方式的特点在于，所述第I构造体配置在所述弹簧的内侧，并且具有支承所述弹簧的上侧部位的外周面，所述第2构造体具有包围所述弹簧的下侧部位的内周面。
[0016]本发明优选的方式的特点在于，所述支柱能够相对于所述第2构造体相对地旋转。
[0017]本发明优选的方式的特点在于，该基板保持装置还具有:移动机构，该移动机构抵抗所述弹簧的力而使所述支柱在其轴向上移动；以及旋转机构，该旋转机构随着所述支柱在轴向上的移动而使所述支柱绕其轴心旋转。
[0018]本发明优选的方式的特点在于，所述支柱、所述夹头、所述弹簧、所述第I构造体以及所述第2构造体分别设置多个，该基板保持装置还具有将所述多个支柱彼此连结的连结环。
[0019]本发明优选的方式的特点在于，所述多个支柱和所述多个夹头沿着所述基板的周缘部排列。
[0020]本发明的另一方式提供一种基板保持装置，其中，该基板保持装置具有:多个支柱，该多个支柱在轴向上移动自如；多个夹头，该多个夹头设置于所述多个支柱，并且夹持基板的周缘部；以及连结环，该连结环将所述多个支柱彼此连结，所述连结环能够与所述多个支柱一体地旋转。
[0021]发明效果
[0022]根据本发明，通过第I构造体和第2构造体限制弹簧向外侧的移动(位移)。因此，SP使对弹簧施加较强的离心力，也不会产生过度的应力，结果为能够防止弹簧的意外断裂。
[0023]并且，根据本发明，由于连结环限制多个支柱的相对位置，因此即使对支柱施加较强的离心力，也能够防止支柱向外侧的位移。
【附图说明】
[0024]图1是表示本发明的一实施方式的基板保持装置的纵剖面图。
[0025]图2是表示图1所示的基板保持装置的俯视图。
[0026]图3是表示通过升降机使支柱上升的状态的图。
[0027]图4(a)是表不夹头的俯视图，图4(b)是夹头的侧视图。
[0028]图5(a)是表示夹头夹持晶片的状态的俯视图，图5(b)是表示夹头释放了晶片的状态的俯视图。
[0029]图6是图2所示的A-A线剖面图。
[0030]图7是图6的B-B线剖面图。
[0031]图8是用于说明第2磁铁和第3磁铁的配置的模式图，是从支柱的轴向观察到的图。
[0032]图9是通过升降机使支柱上升时的图2所示的A-A线剖面图。
[0033]图10是图9的C-C线剖面图。
[0034]图11是设置有将4个支柱的下端彼此连结的连结环的剖面图。
[0035]图12是设置有将4个支柱的下端彼此连结的连结环的俯视图。
[0036]图13是表不另一实施方式的图。
[0037]图14是表示使用了连杆机构的基板保持装置的实施方式的图。
[0038]图15是表示支柱上升后的状态的图。
[0039]符号说明
[0040]I 基台
[0041]Ia 臂
[0042]2 支柱
[0043]3 夹头
[0044]5旋转轴
[0045]6 轴承
[0046]7圆筒体
[0047]9 架台
[0048]11、12 带轮
[0049]14 带
[0050]15电动机[0051 ]20升降机
[0052]20a推升件
[0053]21第I气体腔室
[0054]22第2气体腔室
[0055]24第I气体流路
[0056]25第2气体流路
[0057]28旋转罩
[0058]30 弹簧
[0059]31外侧盖
[0060]33内侧套管[0061 ]35弹簧止挡件
[0062]43第I磁铁
[0063]44第2磁铁
[0064]45第3磁铁
[0065]46 槽
[0066]47突起部
[0067]50连结环
[0068]53 块
[0069]55 轴
[0070]56 销
[0071]57 切口
[0072]60 爪
[0073]61圆弧面
【具体实施方式】
以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0074]图1是表示本发明的一实施方式的基板保持装置的纵剖面图。图2是表示图1所示的基板保持装置的俯视图。
[0075]如图1和图2所示，基板保持装置具有:基台1，其具有4个臂la;4个支柱2，其支承于各臂Ia的顶端；以及4个夹头3，其分别设置于这些支柱2的上端。各支柱2构成为能够相对于基台I相对地上下移动，并且各支柱2能够绕其轴心旋转。支柱2具有夹持作为基板的一例的晶片W的周缘部的夹头3。支柱2和夹头3沿着晶片W的周缘部等间隔地配置。
[0076]基台I固定于旋转轴5的上端，该旋转轴5被轴承6旋转自如地支承。轴承6固定于以包围旋转轴5的方式配置的圆筒体7的内周面。圆筒体7的下端安装于架台9，且其位置被固定。旋转轴5经由带轮11、12以及带14而与电动机15连结。通过驱动电动机15而使基