一种静电保护装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及半导体制造领域，特别是涉及一种静电保护装置。
【背景技术】
[0002]随着高科技的蓬勃发展，在半导体器件的大规模生产中，半导体器件制成后需经过产品可靠性测试来判断其性能的好坏，通过对后段制程中的半导体器件进行可靠性测试，可以发现和纠正缺陷以解决缺陷产生的问题，因此，半导体器件的可靠性测试对于提高良率、改善工艺技术的可靠性和稳定性非常重要。其中，对产品进行老化测试(Burn inTest)是产品可靠性测试非常重要且必须经过的一个环节，一般而言，在高温、高电压等条件下对位于老化测试基板(Burn in Board, BIB)上的半导体器件进行测试，加速芯片运行过程，使生命周期较短的半导体器件在老化测试过程中提早显现出来，以淘汰易于发生故障的半导体器件，使半导体器件进入市场后可靠性相对提高。
[0003]如图1所示为现有技术中的老化测试基板I，所述老化测试基板I上均匀排布有多个老化测试插座11，将实验样品(待测试芯片)加载到所述老化测试插座11上，通过对所述老化测试插座11加热或加压实现对各实验样品的高温、高压老化测试。目前没有专门的加载和卸载实验样品的工具，都是通过作业员徒手将需要进行高温、高压老化测试的实验样品加载到所述老化测试插座11上或从所述老化测试插座11上卸载下来。
[0004]一方面，人体直接接触实验样品极易造成人ESD对实验样品静电释放(Electrostatic Discharge，ESD)，静电释放保护对集成电路来说是非常重要的，无论是在电子设备的正常使用、运输和库存中、还是在生产装配各种集成电路元件的过程中都有可能发生静电释放，这些难以正确预见和防范的静电释放会损坏集成电路，影响实验结果。
[0005]另一方面，作业员徒手操作对实验样品的加载和卸载进行操作也十分困难，作业速度慢，影响工作效率。
[0006]因此，如何避免老化测试过程中静电对实验结果的影响，同时提高工作效率已成为本领域技术人员亟待解决的问题。
【实用新型内容】
[0007]鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种静电保护装置，用于解决现有技术中老化测试过程中静电影响实验结果、工作效率低等问题。
[0008]为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种静电保护装置，所述静电保护装置至少包括:
[0009]底座以及手持部件，所述底座包括矩形内圈及矩形外圈，所述矩形内圈及所述矩形外圈的上端通过水平连接板连接，所述矩形内圈的内部为上下贯通的开口，所述矩形外圈下端的四个转角上设置有凹槽，所述手持部件位于所述底座的两侧。
[0010]优选地，所述底座与老化测试插座卡合。
[0011 ] 优选地，所述开口与所述手持部件之间设置有挡板。
[0012]更优选地，所述挡板的高度设定为1.0cm?2.0cm。
[0013]优选地，所述凹槽为矩形结构。
[0014]优选地，所述矩形外圈的边长设定为2.5cm?3.0cm。
[0015]优选地，所述矩形内圈的边长设定为1.6cm?1.8cm。
[0016]优选地，所述静电保护装置的表面镀有静电保护层。
[0017]更优选地，所述静电保护层的材质为金属锌。
[0018]如上所述，本实用新型的静电保护装置，具有以下有益效果:
[0019]1、本实用新型的静电保护装置表面镀有ESD保护层，避免人体静电对实验样品造成损坏，确保实验结果的准确性。
[0020]2、本实用新型的静电保护装置的底座能与老化测试插座直接对接。
[0021]3、本实用新型的静电保护装置的手持部件，便于操作，提高工作效率。
【附图说明】
[0022]图1显示为现有技术中的老化测试基板示意图。
[0023]图2显示为本实用新型的静电保护装置示意图。
[0024]图3显示为本实用新型的静电保护的仰视图。
[0025]元件标号说明
[0026]I 老化测试基板
[0027]11 老化测试插座
[0028]2 静电保护装置
[0029]21 底座
[0030]211矩形内圈
[0031]212 矩形外圈
[0032]213 水平连接板
[0033]2121 凹槽
[0034]22 手持部件
[0035]23 挡板
[0036]24 开口
[0037]dl 矩形内圈的边长
[0038]d2 矩形外圈的边长
[0039]d3 手持部分的宽度
[0040]h 挡板的高度
【具体实施方式】
[0041]以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0042]请参阅图2?图3。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想，遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0043]如图2?图3所示，本实用新型提供一种静电保护装置2，所述静电保护装置2至少包括:
[0044]底座21、手持部件22以及挡板23。
[0045]所述底座21包括矩形内圈211及矩形外圈212。所述矩形内圈211的边长dl设定为1.6cm?1.8cm，在本实施例中，所述矩形内圈211为正方形结构，其边长dl设定为1.8cm。所述矩形外圈212的边长d2设定为2.5cm?3.0cm，在本实施例中，所述矩形外圈212为正方形结构，其边长d2设定为2.5cm。所述矩形内圈211及所述矩形外圈212的上端通过水平连接板21