太阳能电池制备系统的制作方法

文档序号:10423067阅读:685来源:国知局
太阳能电池制备系统的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及太阳能电池技术领域,特别是涉及一种太阳能电池制备系统。
【背景技术】
[0002]目前制备太阳能电池的多晶硅时,通常都采用定向凝固法生产工艺。而采用定向凝固法制备的多晶硅由于受到杂质及晶界质量的影响,处于硅块不同位置处的硅片质量有所差异。同时,对硅块进行切割、工装等操作时,所得到的每一片硅片的厚度、损伤层及反光率也尽不相同。
[0003]由此,当采用上述硅片进行太阳能电池的制备时,需要先对硅片进行统一分类(即,分别对硅片的厚度、电阻率和外形尺寸等外观特征参数进行检测,进而根据检测结果将硅片分类),然后再对统一分类后的硅片进行统一的制绒、扩散、刻蚀、预氧化膜和镀膜等加工工艺,从而制备得到太阳能电池。即,先通过硅片分选设备见硅片分选后,再直接投放至太阳能电池制备设备中进行统一的一系列的加工工序。当采用上述对硅片进行分类后再进行硅片的统一加工的设备制备太阳能电池时,通常会出现硅片的多个特征参数中某一特征参数不同时仍采用相同的加工工艺加工硅片的现象,由此很容易导致最终生产太阳能电池的效率分布集中度较低。
【实用新型内容】
[0004]基于此,有必要针对传统的太阳能电池制备设备容易导致最终生产太阳能电池的效率分布集中度较低的问题,提供一种太阳能电池制备系统。
[0005]为实现本实用新型目的提供的一种太阳能电池制备系统,包括特征存储模块、第一分类模块、多个第一工艺处理模块、第二分类模块和多个第二工艺处理模块;
[0006]所述特征存储模块,被配置为存储预先检测的基片的特征参数;
[0007]所述第一分类模块与所述第二分类模块均与所述特征存储模块通讯连接;
[0008]所述第一分类模块设置在所述第一工艺处理模块的上料口的前端,且被配置为读取所述特征参数中的第一特征参数,根据所述第一特征参数对所述基片分类,并将不同类的所述基片输送至不同的第一工艺处理模块的上料口处;
[0009]不同的所述第一工艺处理模块,被配置为对分类后的所述基片进行不同工艺条件的第一工艺处理;
[0010]所述第二分类模块设置在所述第一工艺处理模块的下料口与所述第二工艺处理模块的上料口之间,且被配置为读取所述特征参数中的第二特征参数,根据所述第二特征参数对经过所述第一工艺处理后的所述基片进行再次分类,将不同类的所述基片输送至不同的所述第二工艺处理模块的上料口处;
[0011]不同的所述第二工艺处理模块,被配置为对再次分类后的所述基片进行不同工艺条件的第二工艺处理。
[0012]在其中一个实施例中,所述第一特征参数包括线痕深度参数和电阻率参数;
[0013]所述第一分类模块包括第一分类子装置和第二分类子装置;
[0014]所述第一工艺处理模块包括制绒设备和扩散设备;
[0015]其中,所述第一分类子装置位于所述制绒设备的上料口的前端,且被配置为读取所述线痕深度参数,根据所述线痕深度参数对所述基片进行第一分类,并将经过第一分类后的所述基片输送至不同的所述制绒设备的上料口处;
[0016]不同的所述制绒设备,被配置为对第一分类后的所述基片进行不同工艺条件的制绒工艺处理;
[0017]所述第二分类子装置设置在所述制绒设备的下料口与所述扩散设备的上料口之间,且被配置为读取所述根据所述电阻率参数对所述基片进行第二分类,并将经过第二分类后的所述基片输送至不同的所述扩散设备的上料口处;
[0018]不同的所述扩散设备,被配置为对第二分类后的所述基片进行不同工艺条件的扩散工艺处理。
[0019]在其中一个实施例中,所述第二分类子装置包括数据存储模块和比较分类模块;
[0020]所述数据存储模块,被配置为存储预设的第一电阻率范围、第二电阻率范围、第三电阻率范围和第四电阻率范围;
[0021]所述比较分类模块,被配置为将所述电阻率参数分别与所述第一电阻率范围、所述第二电阻率范围、所述第三电阻率范围和所述第四电阻率范围进行比较;并当所述电阻率参数位于所述第一电阻率范围时,将相应的所述基片分为第一等级;当所述电阻率参数位于所述第二电阻率范围时,将相应的所述基片分为第二等级;当所述电阻率参数位于所述第三电阻率范围时,将相应的所述基片分为第三等级;当所述电阻率参数位于所述第四电阻率范围时,将相应的所述基片分为第四等级。
[0022]在其中一个实施例中,所述第二特征参数包括厚度参数;所述第二分类模块包括第三分类子装置;所述第二工艺处理模块包括镀膜设备和烧结设备;
[0023]不同的所述镀膜设备,被配置为对再次分类后的所述基片进行不同工艺条件的镀膜工艺处理;
[0024]所述第三分类子装置设置在所述镀膜设备的下料口与所述烧结设备的上料口之间,且被配置为读取所述厚度参数,根据所述厚度参数对经过所述镀膜工艺处理后的所述基片进行第三分类,并将经过第三分类后的所述基片输送至不同的所述烧结设备的上料口处;
[0025]不同的所述烧结设备,被配置为对第三分类后的所述基片进行不同工艺条件的烧结工艺处理。
[0026]在其中一个实施例中,还包括方阻在线检测装置;所述第二分类模块还包括第四分类子装置;所述第二特征参数还包括方阻参数;
[0027]所述方阻在线检测装置与所述特征存储模块通讯连接,且设置在用于输送所述基片的传输装置的一侧,位于所述第一工艺处理模块的下料口处;
[0028]所述方阻在线检测装置,被配置为检测所述基片的方阻,获取相应的方阻参数,并将所述方阻参数存储至特征存储模块中;
[0029]所述第四分类子装置设置在所述方阻在线检测装置与所述镀膜设备的上料口之间,且被配置为根据所述方阻参数对所述基片进行第三子分类,并将经过第三子分类后的所述基片输送至不同的所述镀膜设备的上料口处。
[0030]在其中一个实施例中,还包括色系检测装置、第三分类模块和多个组件设备;
[0031]所述色系检测装置设置在用于传输所述基片的传输装置的一侧,位于所述第二工艺处理模块的下料口处,并被配置为检测经过所述第二工艺处理后的所述基片的颜色,获取相应的颜色参数;
[0032]所述第三分类模块设置在所述色系检测装置与所述组件设备的上料口之间,且被配置为根据所述色系参数对所述基片进行分类,并将分类后的所述基片输送至不同的组件设备的上料口处;
[0033]不同的所述组件设备,被配置为对分类后的所述基片进行不同工艺条件的组件工艺处理。
[0034]在其中一个实施例中,还包括激光刻槽编码模块;
[0035]所述激光刻槽编码模块,适用于通信连接检测所述基片的特征检测模块,且被配置为在所述特征检测模块检测所述基片的特征之前,在所述基片的任一侧面进行刻槽,形成编码面;
[0036]其中,所述编码面作为所述特征存储模块,用于加载并存储所述特征检测模块所检测到的所述特征参数。
[0037]在其中一个实施例中,所述第一分类模块包括第一识别器和第一机械手;
[0038]所述第一识别器安装在所述第一机械手上,且被配置为识别所述编码面上的所述特征参数;
[0039]所述第一机械手,被配置为根据所述第一识别器识别出的所述特征参数,将所述基片放置于不同的第一工艺处理模块的上料口处。
[0040]在其中一个实施例中,所述第二分类模块包括第二识别器和第二机械手;
[0041]所述第二识别器安装在所述第二机械手上,且被配置为识别所述编码面上的所述第二特征参数;
[0042]所述第二机械手,被配置为根据所述第二识别器识别出的所述第二特征参数,将所述基片放置于不同的第二工艺处理模块的上料口处。
[0043]在其中一个实施例中,所述第一识别器为激光扫码识别器。
[0044]上述太阳能电池制备系统的有益效果:
[0045]其通过在太阳能电池制备系统中设置特征存储模块并相应设置第一分类模块和第二分类模块,在对基片进行第一工艺处理前,由第一分类模块读取特征存储模块中存储的特征参数中的第一特征参数,以根据读取到的第一特征参数对基片进
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