线性致动器的制造方法以及线性致动器与流程

本发明涉及一种在可动体和固定体之间具备用于抑制共振的减振部件的线性致动器的制造方法以及线性致动器。

背景技术：

作为借助振动来通知手机的来电等的设备，提出了线性致动器。专利文献1记载的线性致动器具备具有永磁铁的可动体和具有线圈的固定体。固定体经由弹簧部件等弹性体将可动体支承为能够移动。在该文献的线性致动器中，振动的强弱、频率因供给到线圈的驱动信号而变化。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-7161号公报

技术实现要素：

发明所要解决的技术问题

在线性致动器中，在可动体振动时，有时振动的频率会使可动体共振。

在此，为了抑制共振，可考虑在可动体的移动方向上彼此相向的可动体的可动体侧相向面和固定体的固定体侧相向面之间插入沿移动方向伸缩的减振部件。但是，在这种情况下，如果不将插入有减振部件的可动体侧相向面与固定体侧相向面之间的尺寸管理为恒定，则会因插入其间的减振部件导致可动体的行程、共振频率按照产品而产生偏差。

鉴于以上问题，本发明的技术问题是提供一种能够防止因插入可动体和固定体之间的减振部件导致可动体的行程、共振频率按照产品而产生偏差的线性致动器的制造方法以及线性致动器。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，本发明的线性致动器的制造方法中的线性致动器具有：可动体；固定体，其经由弹簧部件支承所述可动体；以及减振部件，其插入于在所述可动体的移动方向上彼此相向的该可动体的可动体侧相向面和所述固定体的固定体侧相向面之间，所述固定体具备：第一部件；以及第二部件，其具有所述固定体侧相向面，并在所述移动方向上和所述第一部件的与所述可动体相反的一侧重叠，利用所述第一部件经由所述弹簧部件支承所述可动体，在所述移动方向上的所述第一部件与所述第二部件之间形成间隙的状态下，使该第一部件与该第二部件沿该移动方向相对移动，并使所述可动体侧相向面与所述固定体侧相向面之间的分离距离为与所述减振部件的长度尺寸对应的规定尺寸，在具备所述间隙的状态下通过粘接剂将所述第一部件和所述第二部件固定。

在本发明中，通过对设置于支承可动体的第一部件和具有固定体侧相向面的第二部件之间的间隙的间隙尺寸进行调节，使可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的分离距离为规定尺寸。然后，在具备调节后的间隙尺寸的间隙的状态下，利用粘接剂固定第一部件和第二部件。根据本发明，能够使可动体侧相向面和固定体侧相向面的分离距离与减振部件的长度尺寸对应，因此能够防止因插入可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的减振部件导致可动体的行程、共振频率按照产品而产生偏差。

在本发明中，优选预先在所述第二部件设置沿所述移动方向贯通的贯通孔，在通过所述第一部件支承所述可动体后，通过具备距离测定器的工具保持所述第二部件并使该距离测定器位于该第二部件的与所述可动体相反的一侧，通过使所述第一部件和所述工具在所述移动方向上相对移动，使所述第一部件和所述第二部件相对移动，并且借助所述贯通孔通过所述距离测定器测定到所述可动体的距离，并基于该距离使所述分离距离为所述规定尺寸。如此一来，由于在第二部件形成贯通孔，因此容易通过距离测定器测定到可动体的距离。因此，能够准确地使可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的分离距离为规定尺寸。

在本发明中，优选测定到所述可动体中的具备所述可动体侧相向面的部件的距离。如此一来，由于能够测定到使减振部件抵接的部件的距离，因此能够更准确地使可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的分离距离为规定尺寸。

在本发明中，优选在使所述第一部件和所述第二部件相对移动之前，在所述第一部件的与所述第二部件重叠的第一面以及所述第二部件的与所述第一部件重叠的第二面中的至少一方涂敷所述粘接剂。如此一来，容易通过粘接剂固定第一部件和第二部件。

在本发明中，能采用以下方案：将在与所述移动方向正交的方向上该移动方向的厚度逐渐变化的垫片插入所述第一部件和所述第二部件之间，从而成为在该第一部件和该第二部件之间形成所述间隙的状态，使将所述垫片插入所述第一部件和所述第二部件之间的插入量变化，使该第一部件和该第二部件沿所述移动方向相对移动。如此一来，能够通过垫片更加准确地调节第一部件和第二部件之间的间隙。

在这种情况下，在调节第一部件和第二部件之间的间隔之后，可以从这些第一部件和第二部件之间除掉垫片，但是也可以通过所述粘接剂将所述垫片固定于所述第一部件和所述第二部件之间。

接着，本发明的线性致动器具有：可动体；固定体，其经由弹簧部件支承所述可动体；以及减振部件，所述减振部件插入在所述可动体的移动方向上彼此相向的该可动体的可动体侧相向面和所述固定体的固定体侧相向面之间，所述固定体具备：第一部件，其经由所述弹簧部件支承所述可动体；以及第二部件，其具有所述固定体侧相向面并且在所述移动方向上与所述第一部件的和所述可动体相反的一侧重叠，在所述第一部件和所述第二部件之间设置有用于调节所述可动体侧相向面和所述固定体侧相向面之间的分离距离的间隙，所述第一部件和所述第二部件在具备所述间隙的状态下通过粘接剂固定在一起。

在本发明的固定体中，在支承可动体的第一部件和具有固定体侧相向面的第二部件之间设置有间隙，因此，能够通过调节该间隙的间隙尺寸使可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的分离距离为与减振部件的长度尺寸对应的规定尺寸。因此，能够防止因插入可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的减振部件导致可动体的行程、共振频率按照产品而产生偏差。

在本发明中，优选所述固定体设置有贯通孔，所述贯通孔用于通过相对于该固定体配置于与所述可动体相反的一侧的距离测定器测定到所述可动体的距离。如此一来，容易通过距离测定器测定到可动体的距离，因此，能够准确地使可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的分离距离为规定尺寸。

在本发明中，能采用以下方案：具有在与所述移动方向正交的方向上该移动方向的厚度逐渐变化的垫片，所述垫片插入所述第一部件和所述第二部件之间并通过所述粘接剂而固定。如果具备这样的垫片，则通过调节将垫片插入第一部件和第二部件之间的插入量，能够准确地调节第一部件和第二部件之间的间隙。

发明效果

根据本发明，能够使插入减振部件的可动体的可动体侧相向面和固定体的固定体侧相向面之间的尺寸为规定尺寸。因此，能够防止因插入可动体侧相向面和固定体侧相向面之间的减振部件导致可动体的行程、共振频率偏差。

附图说明

图1是本发明的实施例一所涉及的线性致动器的立体图。

图2是图1的线性致动器的剖视图。

图3是图1的线性致动器的分解立体图。

图4是绕线架、驱动线圈以及弹簧的立体图。

图5是图1的线性致动器的制造方法的说明图。

图6是图1的线性致动器的另一制造方法的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的实施方式所涉及的线性致动器进行说明。

(整体结构)

图1是本发明的实施例一所涉及的线性致动器的立体图。图2是图1的线性致动器的剖视图。图2(a)是从斜上方观察到的线性致动器的截面的情况，图2(b)是从与可动体的移动方向正交的方向观察到的线性致动器的截面的情况。图3是图1的线性致动器的分解立体图。

如图1至图3所示，线性致动器1具有可动体2、固定体3以及连接可动体2和固定体3的弹簧(弹簧部件)4。固定体3借助弹簧4将可动体2支承为能够移动。在可动体2和固定体3之间配置有三个圆柱形状的减振部件5。并且，线性致动器1具有使可动体2移动的磁驱动机构7。磁驱动机构7具备被保持于可动体2的永磁铁8和被保持于固定体3的驱动线圈9。在以下的说明中，将可动体2的移动方向设为轴线l方向。轴线l方向与可动体2所装设的永磁铁8的中心轴线以及固定体3所装设的驱动线圈9的中心轴线一致。并且，为了方便，根据附图的上下来说明线性致动器1的上下。因此，在轴线l方向中将固定体3所在的一侧作为下方，将可动体2所在的一侧作为上方。

(可动体)

可动体2具备沿轴线l方向(可动体2的移动方向)延伸的圆柱形状的永磁铁8。永磁铁8呈轴线l方向较短的偏平形状，在轴线l方向上被磁化成n极和s极。永磁铁8具备与轴线l方向正交的上端面以及下端面。

并且，可动体2具备从下方与永磁铁8重叠的铁芯体11和从上方以及外周侧覆盖永磁铁8的轭部件12。永磁铁8、铁芯体11以及轭部件12同轴地配置。铁芯体11以及轭部件12由磁性材料构成。

如图3所示，铁芯体11是恒定厚度的圆形的板部件。铁芯体11的平面形状与永磁铁8的下端面的平面形状相同。铁芯体11通过粘接剂等固定于永磁铁8的下端面。铁芯体11沿与轴线l正交的方向延伸。

轭部件12具备上侧轭部件13和下侧轭部件14。如图2所示，上侧轭部件13具备恒定厚度的圆形的端板部15和从端板部15的外周缘朝向下方突出的上侧圆筒部16。下侧轭部件14具备从上侧圆筒部16的下端缘向下方连续的下侧圆筒部17和从下侧圆筒部17的下端缘朝向内周侧突出的突出板部18。突出板部18的厚度恒定，其平面形状为圆环状。如图1所示，在上侧圆筒部16的下端缘的周向的三处设置有缺口部19。各缺口部19是为了在通过焊接等将上侧圆筒部16和下侧圆筒部17接合时，在上侧圆筒部16和下侧圆筒部17之间夹持弹簧4的可动体侧连结部21而设置的。

并且，如图2以及图3所示，轭部件12具备从下方嵌入上侧轭部件13的恒定厚度的磁性板23。磁性板23在中央具备圆形的中心孔24，并且在外周缘部分具有绕轴线l等角度间隔地形成的三个焊接用贯通孔25。磁性板23通过利用三个焊接用贯通孔25的开口缘部分进行的焊接而固定于上侧轭部件13的端板部15。由此，磁性板23成为在轴线l方向上层叠于端板部15的状态。

磁性板23的下端面通过粘接剂等固定于永磁铁8的上端面，从而轭部件12固定于永磁铁8。如图2所示，在轭部件12固定于永磁铁8的状态下，在永磁铁8的环状外周面和上侧圆筒部16以及下侧圆筒部17之间形成有在周向上间隔恒定的间隙。并且，在从与轴线l方向正交的侧方观察轭部件12固定于永磁铁8的状态的情况下，突出板部18配置于与铁芯体11局部重叠的位置。而且，在突出板部18的环状内周面和铁芯体11的环状外周面之间形成有在周向上间隔恒定的间隙。

(固定体)

接下来，参照图2至图4对固定体3进行说明。图4(a)是从上方观察到的将弹簧4安装于卷绕了驱动线圈9的绕线架的状态的立体图，图4(b)是从下方观察到的将弹簧4安装于卷绕了驱动线圈9的绕线架的状态的立体图。如图2以及图3所示，固定体3具备：卷绕有驱动线圈9的绕线架(第一部件)31；以及从绕线架31的和可动体2相反的一侧与绕线架31重叠的板状的基底(第二部件)32。绕线架31经由弹簧4将可动体2支承为能够沿轴线l方向移动。

(绕线架)

绕线架31是树脂制品。如图2所示，绕线架31具备在轴线l方向上与可动体2的铁芯体11相向的底板部35和从底板部35朝向上方突出的圆筒部36。圆筒部36的轴线l与永磁铁8的轴线l一致。

如图4(a)所示，在底板部35形成有三个减振部件插通用孔37。各减振部件插通用孔37绕轴线l等角度间隔地设置。各减振部件插通用孔37是直径比减振部件5的直径大的开口部。因此，如图2所示，在将减振部件5配置于各减振部件插通用孔37的内周侧的状态下，在减振部件5和底板部35的各减振部件插通用孔37的开口缘之间形成有间隙。在周向上相邻的减振部件插通用孔37之间形成有沿周向呈直线状延伸的狭缝38。

如图4(b)所示，在底板部35的下表面35a的与各狭缝38对应的位置设置有沿狭缝38延伸的定位凹部39。狭缝38位于定位凹部39的底部。

如图4(a)所示，圆筒部36在其环状上端面36a具备三个弹簧锁止用突起43。三个弹簧锁止用突起43绕轴线l等角度间隔地设置。各弹簧锁止用突起43是使弹簧4的固定体侧连结部45锁止的锁止部，圆筒部36从下方支承固定体侧连结部45。

并且，如图2所示，圆筒部36具备：在外周面卷绕有驱动线圈9的筒状主体部46；在筒状主体部46的下侧直径扩大的圆环状的下侧凸缘部47；以及在筒状主体部46的上侧直径扩大的圆环状的上侧凸缘部48。在从轴线l方向观察的情况下，上侧凸缘部48的直径比下侧凸缘部47的直径大。因此，在筒状主体部46卷绕了驱动线圈9的状态下，下侧凸缘部47从驱动线圈9的外周面稍微向外周侧突出，与此相对，上侧凸缘部48从驱动线圈9的外周面比下侧凸缘部47大幅度向外周侧突出。

在圆筒部36外周面的环状上端面36a和上侧凸缘部48之间设置有三个加强上侧凸缘部48的加强肋49。三个加强肋49绕轴线l等角度间隔地设置。在从轴线l方向观察时，各加强肋49的外周面与上侧凸缘部48的外周面重叠。并且，如图3所示，各加强肋49具备在与环状上端面36a相同的高度位置与该环状上端面36a连续的矩形的连续面50和从连续面50朝向周向的一侧向下方倾斜的倾斜面51。倾斜面51的周向一侧的端部与上侧凸缘部48的上表面连续。各加强肋49的连续面50位于与各弹簧锁止用突起43在周向上错开的位置，倾斜面51位于各弹簧锁止用突起43的外周侧。

(基底)

如图3所示，基底32具备圆形板部55和从圆形板部55在径向上朝向外侧突出的矩形的基板支承部57。在基板支承部57支承有布线基板59。在布线基板59连接有驱动线圈9的端部。

在圆形板部55设置有定位板63。定位板63通过局部地切起圆形板部55而形成。绕线架31通过定位板63插入底板部35的下表面35a的定位凹部39而在与轴线l方向正交的方向以及周向上定位，载置于基底32。

并且，在圆形板部55设置有沿轴线l方向贯通的贯通孔64。在从轴线l方向观察绕线架31被定位且载置于基底32的状态的情况下，贯通孔64形成于与一个减振部件插通用孔37的开口部重叠的位置。并且，如图2(a)所示，贯通孔64形成于与配置于减振部件插通用孔37的内周侧的减振部件5不重叠的位置。

绕线架31通过粘接剂固定于基底32。在绕线架31固定于基底32的状态下，底板部35和基底在轴线l方向上分离，在底板部35和基底之间存在由粘接剂70形成的恒定厚度的粘接剂层。粘接剂例如是紫外线固化型的粘接剂。

(弹簧)

弹簧4是板簧，使其厚度方向朝向轴线l方向。如图3以及图4(a)所示，弹簧4具备：与可动体2(轭部件12)连接的可动体侧连结部21；与固定体3(绕线架31)连接的圆环状的固定体侧连结部45；以及与可动体侧连结部21和固定体侧连结部45连接的多根臂部65。固定体侧连结部45位于比可动体侧连结部21以及臂部65靠内周侧的位置，可动体侧连结部21位于比臂部65靠外周侧的位置。

可动体侧连结部21在周向上分割为三个。臂部65分别从三个可动体侧连结部21沿周向延伸。各可动体侧连结部21插入上侧轭部件13的缺口部19，并通过被夹持于上侧轭部件13和下侧轭部件14之间而固定于可动体2。

在固定体侧连结部45形成有供绕线架31的环状上端面36a的各弹簧锁止用突起43嵌入的锁止孔66。通过各弹簧锁止用突起43插入各锁止孔66中，弹簧4与绕线架31连接。

在弹簧4的固定体侧连结部45与绕线架31连接且可动体侧连结部21与轭部件12连接的状态下，如图2所示，可动体2的永磁铁8位于固定体3的绕线架31的内周侧。轭部件12的突出板部18配置于绕线架31的下侧凸缘部47和上侧凸缘部48之间。由此，在突出板部18的环状内周面和铁芯体11的环状外周面之间存在绕线架31的筒状主体部46和卷绕于该筒状主体部46的驱动线圈9。并且，绕线架31的上侧凸缘部48的环状外周面与轭部件12的下侧圆筒部17的内周面隔着狭小的间隙而相向。

在此，绕线架31的上侧凸缘部48和轭部件12的下侧圆筒部17构成第一限制机构，该第一限制机构在可动体2因外力而朝向与轴线l正交的方向移动时限制可动体2的可动范围。并且，绕线架31的上侧凸缘部48和轭部件12的突出板部18构成第二限制机构，该第二限制机构在可动体2因外力而朝向上方移动时限制可动体2的可动范围。

(减振部件)

如图2(b)所示，各减振部件5的轴线l方向的长度尺寸与后述的规定尺寸s一致。如图2(a)所示，各减振部件5在插通设置于绕线架31的底板部35的各减振部件插通用孔37的状态下配置于可动体2和固定体3之间。在底板部35的各减振部件插通用孔37的开口缘和各减振部件5之间形成有间隙。如图2(b)所示，各减振部件5的上端面与可动体2的铁芯体11的下表面(可动体侧相向面)11a抵接，其下端面与固定体3的基底32的上表面(固定体侧相向面)32a抵接。

在此，本例的减振部件5由针入度从90度至110度的硅凝胶构成。所谓的针入度如jis-k-2207、jis-k-2220所规定的那样，意思是以1/10mm单位表示在25℃时施加了9.38g的总载重的1/4圆锥的针在五秒内进入的深度，这个值越小就越硬。另外，减振部件5和铁芯体11的固定以及减振部件5和基底32的固定利用粘接剂70、粘附剂或者硅凝胶的粘附剂性而进行。

(线性致动器的制造方法)

图5是线性致动器1的制造方法的说明图。在制造线性致动器1时，如图5所示，借助弹簧4使可动体2支承于绕线架31。并且，利用基底保持工具76保持基底32，该基底保持工具76具备激光位移计(距离测定器)75。

在通过基底保持工具76保持基底32的状态下，激光位移计75位于基底32的与可动体2相反的一侧。并且，激光位移计75配置于其检查光75a(激光)能够经由设置于基底32的贯通孔64照射可动体2的位置。在本例子中，检查光75a从激光位移计75沿轴线l方向射出，经由基底32的贯通孔64以及绕线架31的减振部件插通用孔37照射到铁芯体11的下表面11a。因此，激光位移计75测定从该激光位移计75到铁芯体11的下表面11a的距离。

接下来，在绕线架31的底板部35的下表面35a的多处涂敷粘接剂70。然后，使绕线架31的轴线l方向(可动体2的移动方向)为朝向铅垂方向的状态，载置于基底32。在将绕线架31载置于基底32时，基底32的定位板63插入绕线架31的底板部35的下表面35a的定位凹部39中，由此，绕线架31相对于基底32在与轴线l方向正交的方向以及周向上定位。

在此，在将绕线架31载置于基底32时，预先将减振部件5插入可动体2的铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间。并且，在将绕线架31载置于基底32时，在基底32和绕线架31(底板部35)之间插入多个垫片77，从而成为在基底32和绕线架31之间形成有间隙c的状态。各垫片77呈楔形，从内周侧朝向外周侧轴线l方向的厚度逐渐增加。各垫片77绕轴线l等角度间隔地配置。

然后，使各垫片77同时从外周侧朝向内周侧移动。由此，使将各垫片77插入基底32和绕线架31之间的插入量变化，使绕线架31沿轴线l方向移动。并且，在进行使各垫片77的插入量变化的动作的同时，通过激光位移计75测定到可动体2(铁芯体11)的距离。然后，基于从激光位移计75输出的距离，使铁芯体11的下表面11a与基底32的上表面32a之间的分离距离d为与减振部件5的轴线l方向的长度尺寸相同的规定尺寸s。

然后，使粘接剂70固化，将绕线架31固定于基底32。在绕线架31固定于基底32的状态下，底板部35和基底在轴线l方向上分离，在底板部35和基底之间存在由粘接剂70形成的恒定厚度的粘接剂层。另外，在本例中，在通过粘接剂70将绕线架31和基底32固定在一起的过程中除掉各垫片77。由此，成为图2(b)所示的状态，完成线性致动器1。

根据本例，能够使铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间的分离距离d为与减振部件5的轴线l方向的长度尺寸相同的规定尺寸s。因此，能够防止因插入铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间的减振部件5导致可动体2的行程、共振频率按照产品而产生偏差。

即，从铁芯体11的下表面11a至基底32的上表面32a的分离距离d是在绕线架31的高度尺寸的基础上加上弹簧4的厚度尺寸以及从弹簧4至轭部件12的端板部15的上表面的高度尺寸所得的合计尺寸中减去轭部件12的端板部15的厚度尺寸、磁性板23的厚度尺寸、永磁铁8的厚度尺寸以及第一铁芯体11的厚度尺寸所得的值，为各零件的尺寸公差累积起来的值。因此，不容易通过各零件的尺寸精度达成从可动体2的铁芯体11的下表面11a至基底32的上表面32a的分离距离d的精度。并且，如果通过各零件的尺寸精度来达成从可动体2的铁芯体11的下表面11a至基底32的上表面32a的分离距离d的精度，则必须提高各零件的尺寸精度，因此，各零件的制造成本增加。

与此相对，在本例中，通过激光位移计75测定到作为供减振部件5抵接的一方的部件的可动体2(铁芯体11)的距离，并基于该距离调节绕线架31和基底32的轴线l方向的间隙c的间隙尺寸，使从铁芯体11的下表面11a至基底32的上表面32a的分离距离d为规定尺寸s。因此，无论各零件的尺寸公差如何，都能够使从可动体2的铁芯体11的下表面11a至基底32的上表面32a的尺寸为与减振部件5的长度尺寸对应的规定尺寸s。

并且，在本例中，由于使铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a的间隔为与减振部件5的长度尺寸相同的规定尺寸s，因此能够确保可动体2的行程。

另外，在上述例子中，在线性致动器1的制造过程中，将插入绕线架31和基底32之间的各垫片77除掉，但是也可以不除掉这些垫片77，通过粘接剂70将各垫片77和绕线架31及基底32固定在一起。

并且，在上述例子中，使用激光位移计75测定到可动体2的距离，但是也可以代替这样的光学式位移计而利用使用检查棒等测定距离的机械式位移计。在这种情况下，只要经由贯通孔64使检查棒与可动体2抵接从而测定距离即可。

(线性致动器的其他制造方法)

接下来，参照图6，对不使用垫片77制造线性致动器1的其他制造方法进行说明。图6是线性致动器1的另一制造方法的说明图。

在通过本例的制造方法制造线性致动器1时，首先，将可动体2经由弹簧4支承于绕线架31。然后，在可动体2不沿轴线l方向移动的状态下，通过可动体侧保持工具79保持对可动体2进行支承的绕线架31。并且，形成在绕线架31的底板部35的下表面35a的多处涂敷粘接剂70的状态。在此，在使轴线l方向(可动体2的移动方向)朝向铅垂方向的状态下，通过可动体侧保持工具79保持的状态下的可动体2和绕线架31的位置关系与绕线架31支承可动体2的状态下的可动体2和绕线架31的位置关系相同。

与此同时，通过具备激光位移计75(距离测定器)的基底保持工具76保持基底32。在通过基底保持工具76保持基底32的状态下，激光位移计75配置于基底32的与可动体2相反的一侧。并且，激光位移计75配置于其检查光75a(激光)能够经由设置于基底32的贯通孔64照射可动体2的位置。检查光75a从激光位移计75沿轴线l方向射出，经由基底32的贯通孔64以及绕线架31的减振部件插通用孔37照射到铁芯体11的下表面11a。因此，激光位移计75测定到铁芯体11的下表面11a的距离。

然后，在轴线l方向上的绕线架31和基底32之间形成了间隙c的状态下，通过使可动体侧保持工具79和基底保持工具76在轴线l方向上相对移动，使绕线架31和基底32在轴线l方向上相对移动。在本例中，事先将基底保持工具76固定，使可动体侧保持工具79相对于基底保持工具76移动。并且，与使可动体侧保持工具79和基底保持工具76相对移动的动作同时地通过激光位移计75测定到可动体2(铁芯体11)的距离。然后，基于从激光位移计75输出的距离，使铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间的分离距离d为与减振部件5的轴线l方向的长度尺寸相同的规定尺寸s。

然后，使粘接剂70固化，将绕线架31固定于基底32。在绕线架31固定于基底32的状态下，底板部35和基底在轴线l方向上分离，在底板部35和基底之间存在由粘接剂70形成的恒定厚度的粘接剂层。由此，成为图2(b)所示的状态，完成线性致动器1。

通过本例的制造方法，也能够使铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间的分离距离d为与减振部件5的轴线l方向的长度尺寸相同的规定尺寸s。因此，能够防止因插入铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a之间的减振部件5导致可动体2的行程、共振频率按照产品而产生偏差。并且，在本例中，由于使铁芯体11的下表面11a和基底32的上表面32a的间隔为与减振部件5的长度尺寸相同的规定尺寸s，因此能够确保可动体2的行程。

另外，在本例的制造方法中，也能够代替光学式的位移计而使用机械式的位移计。

(符号说明)

1...线性致动器

2...可动体

3...固定体

4...弹簧(弹簧部件)

5...减振部件

11...铁芯体

11a...铁芯体的下表面(可动体侧相向面)

31...绕线架(第一部件)

32...基底(第二部件)

32a...基底的上表面(固定体侧相向面、第二面)

35a...底板部的下表面(第一面)

64...贯通孔

70...粘接剂

75...激光位移计(距离测定器)

76...基底保持工具(工具)

77...垫片

c...间隙

d...分离距离

l...轴线(移动方向)

s...规定尺寸。