一种电动磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备的制作方法

本实用新型涉及真空设备上用的驱动器,具体涉及一种电动磁耦合驱动器及使用该驱动器的真空设备。

背景技术：

在真空镀膜、半导体以及航空航天领域均会用到真空设备，真空设备一般包括真空腔体和设置于真空腔体上的驱动器，传统的驱动器一般采用手动操作,如授权公告号为CN 204546080 U的中国实用新型专利公开了一种磁耦合真空直线旋转驱动器，包括手柄、强磁卡套、外部主管路即安装管、内部移动管路即传动轴和角度调节器，手柄设置于强磁卡套上，结构简单，在操作时通过手柄移动强磁卡套即可带动内部移动管路的移动。但是采用手动操作，操作精度不好控制，而且长时间的工作也会导致工作量大，身体疲惫，另外上述驱动器功能单一，只能进行水平方向上的移动，无法旋转传动轴进行夹头的角度调节等，无法满足实际生产中多动作的要求。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种电动磁耦合驱动器，以解决现有技术中的驱动器手动操作精度不易控制、功能单一无法满足实际生产中多工作的要求的问题；同时，本实用新型的目的还在于提供一种使用该驱动器的真空设备。

为实现上述目的，本实用新型的一种电动磁耦合驱动器采用如下技术方案：一种电动磁耦合驱动器，包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，所述传动轴上设置有导磁的受力件，安装管上与受力件对应设置有强磁卡套，强磁卡套轴向可转动且水平导向安装于安装管外侧，强磁卡套包括环形外壳，环形外壳中设置有安装板，安装板上设置有磁铁，安装管上设置有驱动强磁卡套转动以在磁力作用下带动受力件转动的旋转驱动机构，该驱动器还包括驱动强磁卡套及旋转驱动机构沿传动轴轴向方向移动的水平驱动机构。

所述旋转驱动机构包括供强磁卡套转动安装的安装壳体，安装壳体上设置有第一电机，第一电机的输出端上设置有主动带轮，强磁卡套的环形外壳的一端连接有从动带轮，主动带轮和从动带轮之间设置有传动带。

该驱动器还包括用于支撑安装管的底座，底座上设置有导向沿安装管的长度方向延伸的导向槽，安装壳体的下端连接有与导向槽导向移动配合的导向块，水平驱动机构包括转动设置于底座上的轴向平行于安装管轴线方向的丝杠和驱动丝杠旋转的第二电机，导向块与丝杠螺纹连接以形成丝杠滑块结构。

所述传动轴通过转动结构设置于安装管内，转动结构包括轴承座和设置于轴承座内的轴承，轴承座上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮。

本实用新型的一种真空设备采用如下技术方案：一种真空设备，包括真空腔体和设置于真空腔体上的电动磁耦合驱动器，电动磁耦合驱动器包括安装管，安装管的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰，所述安装管内部设置有传动轴，传动轴的端部设置有夹头，传动轴上设置有导磁的受力件，安装管上与受力件对应设置有强磁卡套，强磁卡套轴向可转动且水平导向安装于安装管外侧，强磁卡套包括环形外壳，环形外壳中设置有安装板，安装板上设置有磁铁，安装管上设置有驱动强磁卡套转动以在磁力作用下带动受力件转动的旋转驱动机构，该驱动器还包括驱动强磁卡套及旋转驱动机构沿传动轴轴向方向移动的水平驱动机构。

所述旋转驱动机构包括供强磁卡套转动安装的安装壳体，安装壳体上设置有第一电机，第一电机的输出端上设置有主动带轮，强磁卡套的环形外壳的一端连接有从动带轮，主动带轮和从动带轮之间设置有传动带。

该驱动器还包括用于支撑安装管的底座，底座上设置有导向沿安装管的长度方向延伸的导向槽，安装壳体的下端连接有与导向槽导向移动配合的导向块，水平驱动机构包括转动设置于底座上的轴向平行于安装管轴线方向的丝杠和驱动丝杠旋转的第二电机，导向块与丝杠螺纹连接以形成丝杠滑块结构。

所述传动轴通过转动结构设置于安装管内，转动结构包括轴承座和设置于轴承座内的轴承，轴承座上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮。

本实用新型的有益效果：旋转驱动机构可以驱动强磁卡套绕安装管转动，强磁卡套通过磁力带动受力件转动，受力件带动传动轴转动，水平驱动机构可以驱动强磁卡套及旋转驱动机构水平移动，强磁卡套的水平移动带动受力件水平移动，受力件再带动传动轴水平移动，可实现传动轴的水平移动以及转动，增加了其功能，解决了现有技术的驱动器功能单一无法满足实际生产中多工作的要求的问题，同时由驱动机构代替手动可以增加该驱动器的控制精度。

附图说明

图1是本实用新型的一种真空设备的一个实施例中的电动磁耦合驱动器的结构示意图；

图2是电动磁耦合驱动器的内部结构示意图；

图3是图2在A处的局部放大图；

图4是强磁卡套中安装板的结构示意图；

图5是受力件的结构示意图；

图6是转动结构的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型的一种真空设备的实施例，如图1-图6所示，包括真空腔体(图中未给出)和设置于真空腔体上的电动磁耦合驱动器，电动磁耦合驱动器包括底座1，底座1上设置有安装管2，安装管2的端部设置有用于与真空腔体密封连接的安装法兰21，通过安装法兰21与真空腔体完成密封连接。安装管2内部设置有传动轴10，传动轴10的端部设置有夹头。传动轴10上设置有导磁的受力件11，安装管2上与受力件11对应设置有强磁卡套13，强磁卡套13轴向可转动且水平导向安装于安装管2外侧，强磁卡套13包括环形外壳22，环形外壳22中设置有安装板14，安装板14上沿周向设置有多个供磁铁安装的安装槽17，本实施例中安装板14的数量为两个并间隔设置，各安装板上的安装槽17的数量为六个。安装管2上设置有驱动强磁卡套13转动以在磁力作用下带动受力件11转动的旋转驱动机构，该驱动器还包括驱动强磁卡套13及旋转驱动机构沿传动轴10轴向方向移动的水平驱动机构。受力件11采用电磁纯铁材质，结构简单，且可以耐高温，相比于现有技术中受力件采用强磁材质，当安装管内温度达到180℃以上时会有消磁现象，使产品无法使用。

旋转驱动机构包括供强磁卡套13转动安装的安装壳体7，强磁卡套13通过轴承16转动安装于安装壳体7内，安装壳体7上设置有第一电机8，第一电机8的输出端上设置有主动带轮22，强磁卡套13的环形外壳22的一端连接有从动带轮15，主动带轮22和从动带轮15之间设置有传动带9。底座1上设置有导向沿安装管的长度方向延伸的导向槽5，安装壳体7的下端连接有与导向槽5导向移动配合的导向块4，水平驱动机构包括转动设置于底座1上的轴向平行于安装管轴线方向的丝杠3和驱动丝杠3旋转的第二电机6，导向块4与丝杠3螺纹连接以形成丝杠滑块结构。传动轴10通过转动结构12设置于安装管2内，转动结构包括轴承座19和设置于轴承座19内的轴承，轴承座19上沿周向设置有多个轴线垂直于传动轴轴线的且用于与安装管的内壁配合的滚轮20。

使用时，旋转驱动机构可以驱动强磁卡套13绕安装管2转动，强磁卡套13通过磁力带动受力件11转动，受力件11带动传动轴10转动，水平驱动机构可以驱动强磁卡套13及旋转驱动机构水平移动，强磁卡套13的水平移动带动受力件11水平移动，受力件11再带动传动轴10水平移动，可实现传动轴10的水平移动以及转动，增加了其功能，解决了现有技术的驱动器功能单一无法满足实际生产中多工作的要求的问题，同时由驱动机构代替手动可以增加该驱动器的控制精度。

在本实用新型的其他实施例中，受力件也可以采用导磁的铁合金；安装板的数量也可以为一个或三个及以上；各安装板上安装孔的数量可根据实际需要进行调整；第一电机和强磁卡套的环形外壳之间也可以通过主动齿轮和从动齿轮进行传动。

一种电动磁耦合驱动器的实施例与上述一种真空设备的各实施例中的电动磁耦合驱动器的结构相同，此处不再赘述。