一种微动平台的制作方法

文档序号:19206355发布日期:2019-11-25 23:14阅读:来源:国知局
技术总结
本申请公开了一种微动平台,包括动平台、位移输出装置、柔性连接装置和安装底座;其中位移输出装置包括:固定支架、压电陶瓷驱动器、高钢弹簧、推杆、和预紧装置。本申请采用压电陶瓷和高钢弹簧组成可快速动态调节的驱动结构,实现累积误差小且复杂环节少的精密位移输出。同时设置预紧装置对压电陶瓷驱动器的预紧力进行改变,有利于提高微动平台的运动性能和实现运动控制。

技术研发人员:张揽宇;万宇;高健;张金迪;梁俊朗;钟耿君;赵光同;王佳印;林华文
受保护的技术使用者:广东工业大学
技术研发日:2019.05.13
技术公布日:2019.11.22

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