压电电机和芯片的防抖装置的制作方法

本发明实施例涉及机械领域，特别涉及一种压电电机和芯片的防抖装置。

背景技术：

在现代的电子设备中，摄像头逐渐成为了标配，其主要用于拍照和视频监控。相机和手机是摄像头的两个主要的应用场景。通常情况下，人们使用这些产品时，往往会发生由生理抖动带来的成像质量降低。为了解决这个问题发展出两种主要的技术，一种是光学稳定器进行物理成像路径调整，另一种是成像后的算法修正。在物理成像稳定器中又主要分为两种技术，一个是音圈线圈马达来调整光学路径中某个透镜的上下和左右移动进行补偿，另一个是通过制动器调整图像传感器的位置来进行校准。其中通过微机电系统进行图像传感器调整时由于具有体积小，多维度和响应快等优点在手机上拥有潜在的巨大优势。

然而，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：现有的压电电机只能按照一个固定方向移动，这导致其能够实现位移调整的方向维度有限，不能满足生产需求。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现要素：

本发明实施方式的目的在于提供一种压电电机和芯片的防抖装置，使得压电电机可以多方向运动，以满足物体多个方向位移调节的需求。

为解决上述技术问题，本发明的实施方式提供了一种压电电机，包括：转子，以及位于转子下方的m个定子，m个定子中至少两个定子的运动方向不同；m为大于1的正整数。

本发明的实施方式还提供了一种芯片的防抖装置，包括：如上述实施方式提及的压电电机，以及设置在压电电机上方的芯片。

本发明实施方式相对于现有技术而言，压电电机的转子下方设置的定子的运动方向不同，当驱动运动方向不同的定子时，可以带动转子沿不同方向移动，使得压电电机可以带动压电电机上方的物体进行多方向的运动，以满足物体多个方向位移调节的需求。

另外，m个定子分别设置在转子下方的t个区域，且相邻的两个区域上的定子的运动方向相互垂直，t为正整数；或者，m个定子分别设置在p个转子下方的以转子的中心为圆心的圆环区域内，p为正整数；或者，m个定子中q个定子分别设置在转子下方的l个以转子的中心为圆心的圆环区域内，除q个定子以外的m-q个定子分布在转子下方的圆环区域以外的区域内，且m-q个定子中相邻设置的定子的运动方向相互垂直，l为正整数。

另外，每个区域上设置有至少两个定子，每个区域内的定子的运动方向相同。

另外，定子包括振动层和设置在振动层下方的压电驱动层；压电驱动层包括沿水平方向依次设置的第一压电组件、支撑件和第二压电组件，第一压电组件靠近振动层的一面、支撑件靠近振动层的一面和第二压电组件靠近振动层的一面位于同一水平面，支撑件的厚度大于第一压电组件和第二压电组件的厚度。

另外，振动层靠近转子的一面设置有至少一个第一凹槽，第一凹槽的延伸方向与定子的运动方向平行。

另外，第一凹槽沿振动层靠近转子一面的与定子的运动方向平行的对称轴的方向开设。

另外，振动层靠近转子的一面设置有至少一个第二凹槽，第二凹槽的延伸方向与定子的运动方向垂直。

另外，第一压电组件和第二压电组件相对于支撑件对称设置。

另外，第一压电组件和第二压电组件的极化方向相同，第一压电组件包括依次设置的第一电极层、第一压电层和第二电极层，第二压电组件包括依次设置的第三电极层、第二压电层和第四电极层；第二电极层包括4n个第二电极，第四电极层包括4n个第四电极，其中，n为正整数。

另外，芯片的防抖装置还包括固定边框，压电电机的转子通过第一弹性固件固定在固定边框上。

另外，第一弹性固件为弹簧或弹性铰链。

另外，所示压电电机还包括设置在定子下方的基底；固定边框通过螺杆固定在压电电机的基底上方，且，固定边框的靠近压电电机的基底的一侧通过第二弹性固件与压电电机的基底连接。

另外，芯片的防抖装置还包括：抖动检测器，以及与抖动检测器连接的控制器；芯片与压电电机的转子电连接，转子与固定边框电连接，固定边框与控制器电连接。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是本发明的第一实施方式的压电电机的结构示意图；

图2a是本发明的第一实施方式的行波向右运动时，定子和转子的运动方向示意图；

图2b是本发明的第一实施方式的行波向左运动时，定子和转子的运动方向示意图；

图3是本发明的第一实施方式的第一种定子排布方式的示意图；

图4是本发明的第一实施方式的第二种定子排布方式的示意图；

图5是本发明的第一实施方式的第三种定子排布方式的示意图；

图6是本发明的第一实施方式的第四种定子排布方式的示意图；

图7是本发明的第二实施方式的压电电机的结构示意图；

图8是本发明的第二实施方式的另一压电电机的结构示意图；

图9是图8中aa’截线的侧视图；

图10是图8所示压电电机的压电体的极化方向的示意图；

图11是图8所示压电电机的压电体的另一极化方向的示意图；

图12是图8中aa’截线的另一侧视图；

图13是本发明的第三实施方式的压电电机的结构示意图；

图14是图13中bb’截线的侧视图；

图15是本发明的第三实施方式的振动层的立体示意图；

图16是本发明的第四实施方式的芯片的防抖装置的俯视示意图；

图17是本发明的第五实施方式的芯片的防抖装置的俯视示意图；

图18是本发明的第五实施方式的芯片的防抖装置的侧视图；

图19是本发明的第五实施方式的压电电机沿y轴方向移动时芯片的防抖装置的侧视图；

图20是本发明的第五实施方式的压电电机沿x轴方向移动时芯片的防抖装置的侧视图；

图21是本发明的第五实施方式的芯片的防抖装置的一结构示意图；

图22是本发明的第五实施方式的芯片的防抖装置的局部示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本发明各实施方式中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。

除非上下文明确要求，否则整个说明书和权利要求书中的“包括”、“包含”等类似词语应当解释为包含的含义而不是排他或穷举的含义；也就是说，是“包括但不限于”的含义。

本文中为部件所编序号本身，例如“第一”、“第二”等，仅用于区分所描述的对象，不具有任何顺序或技术含义。而本申请所说“连接”、“联接”，如无特别说明，均包括直接和间接连接(联接)。在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

本发明的第一实施方式涉及一种压电电机，如图1所示，压电电机包括：转子11，以及位于转子11下方的m个定子12，m个定子12中至少两个定子12的运动方向不同；m为大于1的正整数。

本实施方式中，转子11下方设置的定子12的运动方向不同，当驱动运动方向不同的定子12时，可以带动转子11沿不同方向移动，使得压电电机可以带动压电电机上方的物体进行多方向的运动，以满足物体多个方向位移调节的需求。

需要说明的是，图1中以m＝2，且两个定子12的运动方向垂直为例进行举例说明，实际应用中，可以根据转子11的面积等因素，确定定子12的个数，以及每个定子的运动方向。

以下压电电机的定子12带动转子11移动的原理进行说明。

压电电机一般由定子12和转子11组成。其中，在定子12内的压电材料分区极化和驱动激励形成行波运动。在不同的电压激励下，相邻压电材料分别会发生收缩和伸张变形，进而诱发定子12对应区域发生弯曲变形。如果施加激励信号的是交变电压激励信号，将会激发出相应的横向振动。当施加的激励信号只有单相时，定子12振动形成的是驻波。如果定子12产生的是两列在空间和时间上都相差1/4相位，且，幅值和频率相等的驻波，两个驻波叠加后，就可以得到一列行波，以激发定子12横向振动。两列驻波的函数可表示为：

公式a：wa(x，t)＝asin(βx)sin(ωt)

公式b：

公式a和公式b中，a为振幅，x为横向坐标，β和ω为角频率，t为时间。当两列波相遇时相加得到行波的表达式：w(x，t)＝acos(βx-ωt)。波的传播会带动定子12表面上的点发生横向移动，导致定子12的表面发生椭圆的轨道运动。其横向分量来自定子12中性轴的角度变化，垂直分量则来自行波的面外运动。如图2a所示，当产生的行波向右运动时，转子11上与定子12接触的p点会发生逆时针的椭圆运动，该运动耦合到转子11上并带动其向左运动。同理，如图2b所示，当行波向左运动时，将会带动转子11向右运动。

以下对定子12的排布方式进行举例说明。

在第一个实施例中，m个定子12分别设置在转子11下方的t个区域，且相邻的两个区域上的定子12的运动方向相互垂直，t为正整数。

例如，每个区域上设置有1个定子12。如图3所示，t＝m，图中双向箭头方向表示定子12的运动方向，定子12可以呈u行v列的形式分布，每行的定子12之间的间距相同，每列的定子12之间的间距相同。

又如，每个区域上设置有至少两个定子12，每个区域内的定子12的运动方向相同。如图4所示，图中双向箭头方向表示定子12的运动方向，m个定子12设置在4个区域中，每个区域中设置有4个定子12。

需要说明的是，本领域技术人员可以理解，区域的个数和每个区域内的定子12的个数可以根据转子11的大小和设计需求确定，本实施方式仅为举例说明。

值得一提的是，由于相邻区域的定子12的运动方向互相垂直，使得压电电机可以在沿两个相互垂直的方向运动。

在第二个实施例中，m个定子12排列形成的图案为转子11下方的p个以转子11的中心为圆心的圆环，p为正整数。例如，如图5所示，p＝2，图中双向箭头方向表示定子12的运动方向，m个定子12呈环形分布。

值得一提的是，由于m个定子12呈圆环排布，使得转子可沿转子的中心轴旋转。

在第三个实施例中，如图6所示，图中双向箭头方向表示定子12的运动方向，m个定子12中q个定子12分别设置在l个以转子11下方的转子11的中心为圆心的圆环区域内，除q个定子12以外的m-q个定子12分布在转子11下方的圆环区域以外的区域内，且m-q个定子12中相邻设置的定子12的运动方向相互垂直，l为正整数。

值得一提的是，由于压电电机中既存在垂直分布的定子12，又存在呈圆环分布的定子12，使得转子11既可以沿两个相互垂直的方向运动，也可以绕转子11的中心轴旋转。

需要说明的是，本领域技术人员可以理解，实际应用中，定子12还可以采用其他方式排布，上述实施例仅为举例说明。

需要说明的是，以上仅为举例说明，并不对本发明的技术方案构成限定。

与现有技术相比，本实施方式中提供的压电电机，转子下方设置的定子的运动方向不同，当驱动运动方向不同的定子时，可以带动转子沿不同方向移动，使得压电电机可以带动压电电机上方的物体进行多方向的运动，以满足物体多个方向维度调节的需求。

本发明的第二实施方式涉及一种压电电机，本实施方式是在第一实施方式的基础上，对定子12的结构进行了举例说明。

本实施方式中，压电电机如图7所示，定子12包括振动层121和设置在振动层121下方的压电驱动层122。可选择的，转子11下方有一防摩擦层13，该层材料主要为高分子材料，例如，聚丙烯、高压聚乙烯等。该防摩擦层13可以减少振动层121与转子11直接刚性接触时的摩擦损耗，提高压电电机寿命。压电驱动层122包括沿水平方向依次设置的第一压电组件1221、支撑件1222和第二压电组件1223，第一压电组件1221靠近振动层121的一面、支撑件1222靠近振动层121的一面和第二压电组件1223靠近振动层121的一面位于同一水平面，支撑件1222的厚度大于第一压电组件1221和第二压电组件1223的厚度。

需要说明的是，本领域技术人员可以理解，图7中的防摩擦层13可以根据需要设置，并非压电电机的必要结构。

由图7可知，由于压电驱动层122的支撑轴1222向下凸出，当定子12固定在基底或其他结构上方时，由支撑轴1222与基底或其他结构接触，第一压电组件1221和第二压电组件1223悬空，为第一压电组件1221和第二压电组件1223提供了向下振动的自由空间。

在一个实施例中，第一压电组件1221和第二压电组件1223相对于支撑件1222对称设置。

值得一提的是，第一压电组件1221和第二压电组件1223相对于支撑件1222对称，使得压电驱动层122上方的振动层121受力更均匀，运动更稳定。

在一个实施例中，第一压电组件1221和第二压电组件1223的极化方向相同。第一压电组件1221包括依次设置的第一电极层、第一压电层和第二电极层，第二压电组件1223包括依次设置的第三电极层、第二压电层和第四电极层；第二电极层包括4n个第二电极，第四电极层包括4n个第四电极，其中，n为正整数。其中，4n个第二电极可以等间隔设置，4n个第四电极也可以等间隔设置。

在一个实施例中，第一压电层的长度等于第一压电层在接收到激励信号产生的驻波的波长，第二压电层的长度等于第二压电层在在接收到激励信号产生的驻波的波长。

以下以n＝1为例，对第一压电组件1221的结构进行举例说明。

在第一个例子中，第一压电组件1221包括依次设置的第一电极层12211、第一压电层12212和第二电极层12213，如图8所示，图8中aa’截线的侧视图如图9所示。第一压电层12212的长度等于波长，该波长由横梁的特征频率决定。第一压电层12212包括4个相互独立的压电体，分别为图9中的第一压电体12212a、第二压电体12212b、第三压电体12212c和第四压电体12212d。每个压电体之间的周期为λ/4，4个压电体相互之间隔离断开。各压电体具有相同的上电极，即第一电极层12211，第一电极层12211接地。各压电体具有各自的下电极，即第二电极层包括4个第二电极，即图9中的第二电极a(12213a)、第二电极b(12213b)、第二电极c(12213c)和第二电极d(12213d)。4个第二电极连接的激励信号与4个压电体的极化方向相关。第一压电层12212的各压电体的极化方向的设置方式包括但不限于以下两种：

方式1：相邻的压电体的极化方向相反。各压电体的极化方向如图10的箭头所示。此时，间隔一个压电体可以拥有相同的电信号激励。例如，第二电极a(12213a)和第二电极c(12213c)连接的激励信号为va，第二电极b(12213b)和第二电极d(12213d)连接的激励信号为vb。va和vb为交流电压信号。为了产生行波，va和vb的相位相差π/2。当要产生反向运动时，va和vb的信号进行交换即可。

方式2：压电体的极化方向相同。各压电体的极化方向如图11的箭头所示。此时，为了产生一个波长的振动，将需要四个不同的电信号激励。例如，第二电极a(12213a)连接的激励信号为va’，第二电极b(12213b)连接的激励信号为vb’，第二电极c(12213c)连接的激励信号为vc’，第二电极d(12213d)连接的激励信号为vd’。va’为sin信号，vb’为cos信号，vc’为-sin信号，vd’为-cos信号。当四个信号都取反时可以保证振动层121往相反的方向运动。

需要说明的是，图9-11中所示的4个电压体组成的压电层是最小的压电层单元，实际应用中，可以根据实际需求进行多单元的重复。

在第二个例子中，图8中aa’截线的侧视图如图12所示。第一压电组件1221是一个整体，其下方的第二电极层包括4个第二电极，即图12中的第二电极a(12213a)、第二电极b(12213b)、第二电极c(12213c)和第二电极d(12213d)。为了形成行波驱动，与图10相似，在四个第二电极上加不同的电信号激励，例如，第二电极a(12213a)连接的激励信号为va’，第二电极b(12213b)连接的激励信号为vb’，第二电极c(12213c)连接的激励信号为vc’，第二电极d(12213d)连接的激励信号为vd’。va’为sin信号，vb’为cos信号，vc’为-sin信号，vd’为-cos信号。当四个信号都取反时可以保证振动层121往相反的方向运动。

需要说明的是，第二压电组件1223的结构与第一压电组件1221的结构相同，可参考图9-10，此处不再赘述。

在一个实施例中，振动层121可以为低屈服强度的金属，例如铜合金等材料。各压电体的材料可以是压电陶瓷(pzt)，氮化铝(aln)，氧化锌(zno)等其中的一种。

本发明的第三实施方式涉及一种压电电机，本实施方式是在第一实施方式的基础上，对振动层121的结构进行了举例说明。

本实施方式中，压电电机如图13所示，振动层121靠近转子11的一面设置有至少一个第一凹槽1211，第一凹槽1211的延伸方向与定子12的运动方向平行。

由图13可知，由于振动层121与转子11接触的中心为空隙，该空隙可以减少压电驱动层122形变传递到振动层121表面振动限制，提高振动层121的振幅。

在一个实施例中，第一凹槽1211沿振动层121靠近转子11一面的与定子12的运动方向平行的对称轴的方向开设。

值得一提的是，第一凹槽1211设置在对称轴上，使得第一凹槽1211两侧结构对称，在带动转子11运动时，转子11受力更均匀。

需要说明的是，实际应用中，第一凹槽1211也可以设置该对称轴左侧或右侧的位置，本实施方式不限制第一凹槽1211的位置。

在一个实施例中，图13中bb’截线的侧视图如图14所示，振动层121靠近转子11的一面设置有至少一个第二凹槽1212，第二凹槽1212的延伸方向与定子12的运动方向垂直。振动层121呈锯齿状，振动层1212的立体结构如图15所示。

需要说明的是，第二凹槽1212的个数和位置可以根据需要设置，例如，可以如图14所示，等间隔设置，也可以非等间隔设置。

需要说明的是，第二实施方式所示的压电驱动层122和第三实施方式所示的振动层121的结构可以结合。可选择的，两个实施方式相结合时，振动层121的锯齿的周期小于或等于第二电极的周期。

本发明的第四实施方式涉及一种芯片的防抖装置，如图16所示，包括：如第一实施方式至第三实施方式中任意一个实施方式提及的压电电机21，以及设置在压电电机21上方的芯片22。其中，芯片可以是图像芯片，也可以其他芯片。

本实施方式中，将压电电机21设置在芯片22下方实现芯片22防抖，相对于在芯片22周围设置制动器防抖的方式，减小了芯片的防抖装置的面积开销。此外，压电电机中至少两个定子12的运动方向不同，使得压电电机可以实现更加多维的运动调节，从而实现更加多功能的芯片的防抖性能。

当压电电机21采用图3所示的定子12的排布方式时，压电电机存在4个不同的区域。左上角区域和右下角区域的压电电机具有相同的运动方向，其运动方向平行于x轴方向。左下角区域和右上角区域具有相同的运动方向，其运动方向平行于y轴方向。工作时，处于对角上的两个区域内的定子12同时工作或不工作。由于振动层121震动产生的行波会使得振动层121产生z轴方向的位移，这会使得定子12在z轴方向抬升一定高度。通过对不同对角施加信号的调整，可以实现在x轴方向和y轴方向的左右移动和上下移动，从而解决芯片的防抖装置发生绕x轴方向(pitch)旋转造成的抖动、绕y轴方向(yaw)旋转造成的抖动、沿x轴方向移动造成的抖动和沿y轴方向移动造成的抖动造成的成像质量差的问题。

当压电电机21采用图4所示的定子的排布方式时，定子分布形成更加密集的排布，相邻的两个定子的运动方向不同。通过同时给所有运动方向平行于x轴方向的定子12施加激励信号，或者，同时给所有运动方向平行于y轴方向的定子12施加激励型号，实现压电电机不同方向的移动，从而解决芯片的防抖装置发生绕x轴方向(pitch)旋转造成的抖动、绕y轴方向(yaw)旋转造成的抖动、沿x轴方向移动造成的抖动和沿y轴方向移动造成的抖动造成的成像质量差的问题。此外，相比于图3所示的排布方式，可以让上方的转子11受力更加均匀，芯片22的运动也可以更加稳定和准确。

当压电电机21采用图5所示的定子12的排布方式时，芯片22可以绕图5所示的z轴方向旋转，从而解决芯片的防抖装置发生绕z轴方向(roll)旋转造成的抖动造成的成像质量差的问题。

当压电电机21采用图6所示的定子12的排布方式时，运动方向平行于x轴方向的定子12和运动方向平行于y轴方向的定子12可以控制转子11在x轴方向和y轴方向运动。从而解决芯片的防抖装置发生绕x轴方向(pitch)旋转造成的抖动、绕y轴方向(yaw)旋转造成的抖动、沿x轴方向移动造成的抖动和沿y轴方向移动造成的抖动造成的抖动造成的成像质量差的问题。在此基础上，圆环区域内的定子12都沿相同的运动方向安装。正常工作时，这些电机可以同时沿一个方向运动，多个运动方向矢量的加和最终形成沿圆环的转动。这些转动可以带动转子11的旋转，从而实现芯片22在z轴方向的roll运动补偿防抖。其中，上述提及的x轴方向平移、y轴方向平移和z轴旋转三种运动是相互独立的，每种模式工作时另外两种不工作。

本发明的第五实施方式涉及一种芯片的防抖装置，本实施方式在第四实施方式的基础上，进行了进一步改进，具体改进之处为：增加了用于固定压电电机21和芯片22的固定边框23。

如图17所示，芯片的防抖装置包括：压电电机21、芯片22和固定边框23，压电电机21的转子11通过第一弹性固件24固定在固定边框23上。该情况下，芯片的防抖装置的侧视图如图18所示。由图18可知，芯片22放置于转子11上。其中，用于固定转子11的第一弹性固件弹簧24与固定边框23之间非垂直，与z轴正方向的夹角为锐角。因为摩擦传动中，一般情况下，压力越大，其摩擦力也越大，但摩擦力太大会阻碍转子11的移动。因此，可以通过第一弹性固件24与固定边框23之间非垂直连接的方式，给转子11提供一个预应力。实际应用中，可以通过调整第一弹性固件24与z轴正方向的夹角的角度和第一弹性固件24的弹性系数改变预应力，以适应不同的压电电机结构。

以下以压电电机21的定子采用图4所示的排布方式为例，对第一弹性固件24固定转子11的效果进行说明。

当压电电机21的定子采用图4所示的排布方式排布时，在静止的模式下，所有的振动层121和转子11保持紧密接触。通过给振动层121下方的压电驱动层122施加激励信号，即可控制振动层121的移动方向。当需要压电电机21沿y轴方向移动时，给运动方向平行于y轴的定子施加激励信号，运动方向平行于x轴的定子不施加激励信号。由于振动层121震动产生的行波会使得振动层121产生z轴方向的位移，这会使得定子12在z轴方向抬升一定高度，进而使得运动方向平行于x轴的定子12和转子11之间形成缝隙。此时，芯片的防抖装置的侧视图如图19所示。该缝隙可以减少运动阻力，提升效率。同理，当需要压电电机21沿x轴方向移动时，给运动方向平行于x轴的定子12施加激励信号，运动方向平行于y轴的定子12不施加激励信号，使得运动方向平行于y轴的定子12和转子11之间形成缝隙。此时，芯片的防抖装置的侧视图如图20所示。

需要说明的是，图16中，为阐述清楚芯片的防抖装置的结构，压电电机21的转子11的四边均通过第一弹性固件24固定在固定边框23上，实际应用中，也可以选择相对的两边通过第一弹性固件24固定在固定边框23上，本实施方式不限制第一弹性固件24的数量。此外，图16中，第一弹性固件24连接在转子11侧边的中间位置，实际应用中，也可以设置在其他位置，本实施方式不做限制。

需要说明的是，图(17)中，以第一弹性固件24为弹簧为例，对芯片的防抖装置的结构进行示例，实际应用中，如图21所示，第一弹性固件也可以是弹性铰链。该情况下，转子11是通过切向力的矢量和进行固定。芯片22与转子11电连接，转子11通过引线24与固定边框连接。当定子12采用图6所示方式排列时，可以实现x轴方向的移动调节、y轴方向的移动调节和z轴方向的旋转调节，该种固定方式对于旋转拥有更小的阻力。

本实施方式中，通过第一弹性固件24固定压电电机，由于第一弹性固件具有弹性，因此，第一弹性固件既可以起到固定作用，也提供了转子11在不同方向运动的自由度。

在一个实施例中，芯片的防抖装置的局部示意图如图22所示，压电电机还包括设置在定子12下方的基底14；固定边框23通过螺杆26固定在压电电机21的基底14上方，且，固定边框23的靠近压电电机21的基底14的一侧通过第二弹性固件27与压电电机21的基底14连接。螺杆26可以在垂直方向上进行自由调节，当需要更大的预紧力时，可以向下旋转螺杆26，当需要更小的预紧力时，可以向上旋转螺杆26。通过调节预紧力可以实现对转动摩擦力的调节，使得压电电机处于更佳的工作状态。

需要说明的是，为了突出本发明的创新部分，本实施方式中并没有将与解决本发明所提出的技术问题关系不太密切的单元引入，但这并不表明本实施方式中不存在其它的单元。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本发明的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本发明的精神和范围。