一种带有多个芯片的薄膜压电马达的制作方法

1.本实用新型涉及微电子机械系统(mems)技术领域，具体为一种带有多个芯片的薄膜压电马达。


背景技术：

2.压电马达是由电路驱动压电材料振动与转子摩擦而运动的。因此压电马达力矩密度高，保持力矩大，旋转精度高，电磁兼容性好，而广泛用作为各类旋转平台，搭载精密器件。
3.而作为压电马达主要构成组件的压电薄膜材料既是成本最高的一个部件，也是最易损坏的部件。
4.现有产品中的多个薄膜压电马达会存在一个问题：
5.若薄膜压电材料上的一个马达结构不能正常工作(加工原因或者损耗)时，整个器件都不能工作；
6.此外，还存在，损坏后的马达结构更换不方便，若需要更换时，必须要对整个压电薄膜材料进行替换，造成了更换成本高昂，直接导致压电马达的性价比低下。


技术实现要素：

7.针对现有技术存在的不足，本实用新型目的是提供一种带有多个芯片的薄膜压电马达，以解决上述背景技术中提出的问题，本实用新型通过将带有多个马达结构的薄膜压电材料分成单个且带有独立马达结构芯片的方式，以及在单个马达结构芯片连接处设立独立更换间隙的方式，解决了现有技术中串联型或并联型测试时的问题。
8.为了实现上述目的，本实用新型是通过如下的技术方案来实现：一种带有多个芯片的薄膜压电马达，包括转子、薄膜压电材料以及支撑组件，其中，
9.所述支撑组件外缘面设有薄膜压电材料，薄膜压电材料远离与支撑组件连接处的外缘面设有复数马达结构，每个马达结构内部均配合安装有转子，用于通过外部驱动电压作用以迫使薄膜压电材料驱动转子进行旋转；
10.薄膜压电材料包括至少一个马达结构芯片，两两马达结构芯片在水平方向结合而形成一用于对单个马达结构芯片进行拆除替换的间隙，且单个马达结构芯片与单个马达结构对应连接，用于在单个马达结构芯片形成单个驱动力矩。
11.作为对本实用新型中所述一种带有多个芯片的薄膜压电马达的改进，本产品还包括减速器，减速器固定安装在所述马达结构外缘面且与所述转子转动连接，用于将多个转子产生的力矩汇合，以输出总力矩。
12.作为对本实用新型中所述一种带有多个芯片的薄膜压电马达的改进，所述马达结构芯片、马达结构均可拆卸。
13.与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
14.通过将带有多个马达结构的薄膜压电材料分成单个且带有独立马达结构芯片的
方式，以及在单个马达结构芯片连接处设立独立更换间隙的方式，使得本实用新型在作业时，若薄膜压电材料上的其中一个马达结构不能正常工作，只需提前或事后替换掉损坏的薄膜压电材料，从而方便工作人员既可以在组装整个器件前事先发现损坏的薄膜压电材料并进行替换，提高最终的成品率，也可以在组装整个器件后，发现某个薄膜压电材料损坏，对其进行替换，达到薄膜压电材料更换的方便性，同时降低维修的成本，提高本实用新型的性价比。
附图说明
15.参照附图来说明本实用新型的公开内容。应当了解，附图仅仅用于说明目的，而并非意在对本实用新型的保护范围构成限制，在附图中，相同的附图标记用于指代相同的部件。其中：
16.图1为本实用新型一实施例中所提出的单个薄膜压电马达的结构示意图；
17.图2为本实用新型一实施例中所提出的单个薄膜压电材料上带有两个马达结构示意图；
18.图3为本实用新型一实施例中所提出的带有多个马达结构芯片的薄膜压电马达的结构示意图。
19.附图标记说明：1
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转子、2
‑
薄膜压电材料、3
‑
支撑组件、4
‑
减速器、a
‑
两两马达结构芯片之间形成的间隙。
具体实施方式
20.容易理解，根据本实用新型的技术方案，在不变更本实用新型实质精神下，本领域的一般技术人员可以提出可相互替换的多种结构方式以及实现方式。因此，以下具体实施方式以及附图仅是对本实用新型的技术方案的示例性说明，而不应当视为本实用新型的全部或者视为对本实用新型技术方案的限定或限制。
21.如图1
‑
3所示，作为本实用新型的一个实施例，本实用新型提供技术方案：一种带有多个芯片的薄膜压电马达，包括转子1、薄膜压电材料2以及支撑组件3，其中，
22.支撑组件3外缘面设有薄膜压电材料2，薄膜压电材料2远离与支撑组件3连接处的外缘面设有复数马达结构，每个马达结构内部均配合安装有转子1，用于通过外部驱动电压作用以迫使薄膜压电材料2驱动转子1进行旋转，具体实施时：在薄膜压电材料2上设定一马达结构，接入外部驱动电源时，薄膜压电材料2会产生一种特殊振动来驱动转子1旋转，薄膜压电材料2本身不旋转，通过转子1进行旋转产生力矩；
23.而薄膜压电材料2包括至少一个马达结构芯片，两两马达结构芯片在相对于支撑组件3的水平方向结合而形成一用于对单个马达结构芯片进行拆除替换的间隙a，且单个马达结构芯片与单个马达结构对应连接，用于在单个马达结构芯片形成单个驱动力矩。
24.本实用新型还包括减速器4，减速器4固定安装在马达结构外缘面且与转子1转动连接，用于将多个转子1产生的力矩汇合，以输出总力矩。
25.基于本实用新型上述构思，在具体实施时，在薄膜压电材料2上同时制作多个马达结构，此时每个马达结构上独立设定转子1，通过减速器4将多个转子1的力矩汇合起来，达到输出一个总的力矩，以便于提升旋转精度。
26.在本实用新型的一实施例中，马达结构芯片、马达结构均可拆卸，当薄膜压电材料2上的其中一个马达结构不能正常工作时，工作人员只需提前或事后替换掉损坏的薄膜压电材料2即可，此时，除损坏的马达结构外的其他马达均可以正常在薄膜压电材料2上进行旋转产生力矩。
27.在本实用新型的一实施例中，本实用新型在具体作业时：
28.先将带有多个马达结构的薄膜压电材料2划成只带有单个马达结构的马达结构芯片，保证每个马达结构芯片之间留有间隙a，然后与转子1组合起来，通过减速器4将多个转子1的力矩汇合起来，提升总的输出力矩以及旋转精度。
29.在本实用新型的一实施例中，本实用新型具备以下优点：
30.通过将带有多个马达结构的薄膜压电材料2分成单个且带有独立马达结构的芯片的方式，以及在单个马达结构芯片连接处设立独立更换间隙a的方式，使得本实用新型在作业时，若薄膜压电材料2上的其中一个马达结构不能正常工作，只需提前或事后替换掉损坏的薄膜压电材料2，从而方便工作人员既可以在组装整个器件前事先发现损坏的薄膜压电材料2并进行替换，提高最终的成品率，也可以在组装整个器件后，发现某个薄膜压电材料2损坏，对其进行替换，达到薄膜压电材料2更换的方便性，同时降低维修的成本，提高本实用新型的性价比。
31.作为本实用新型的第二实施例，薄膜压电材料2可由至少一个马达结构组成。
32.本实用新型的技术范围不仅仅局限于上述说明中的内容，本领域技术人员可以在不脱离本实用新型技术思想的前提下，对上述实施例进行多种变形和修改，而这些变形和修改均应当属于本实用新型的保护范围内。