射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质与流程

本发明涉及射频电源，尤其涉及一种射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质。

背景技术：

1、射频电源广泛应用于诸如等离子体设备等的微电子处理设备及其他领域中，是电子设备中的一种电源，其主要作用是提供射频电流，用于驱动射频用电设备。需要注意的是，射频电源的质量和稳定性直接影响用电设备的性能和稳定性。

2、在射频电源的使用过程中，由于射频电源的内部损耗，实际输出功率往往低于预计输出功率，此时，需要对射频电源进行功率校准，使得射频电源的输出功率等于预计输出功率，但是，由于硬件特性，在输出不同的频率的功率时，射频电源的功率放大器的倍数不一样，导致频率也会对功率的校准进行干扰，因此，现在亟需一种对不同频率的射频电源进行功率校准，使得射频电源稳定输出目标功率的方法。

技术实现思路

1、本发明提供一种射频电源在不同频率下的校准方法、装置、设备及介质，其主要目的在于提升射频电源的稳定性。

2、为实现上述目的，本发明提供的一种射频电源在不同频率下的校准方法，包括：

3、获取输入射频电源的多个预计输出功率，并通过所述射频电源的功率感应器获取所述射频电源的多个实际输出功率，其中，多个所述预计输出功率和多个所述实际输出功率一一对应；

4、计算相互对应的所述预计输出功率和所述实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数；

5、获取多个所述预计输出功率的射频频率，并根据多个所述比例系数和多个所述射频频率构建频率比例函数；

6、获取用户需要输出的目标功率，将所述目标功率作为目标输出功率，并查询所述目标输出功率对应的射频频率，得到目标输出频率；

7、通过所述频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数，得到目标比例系数，并根据所述目标比例系数对所述射频电源的输出功率进行调整，使得所述射频电源的实际输出功率等于所述目标输出功率。

8、可选地，所述计算相互对应的所述预计输出功率和所述实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数，包括：

9、基于预设顺序将多个所述预计输出功率进行排序，得到预计功率队列；

10、根据所述预设顺序依次计算所述预计功率队列中预计输出功率与预计输出功率对应的实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数。

11、可选地，所述根据多个所述比例系数和多个所述射频频率构建频率比例函数，包括：

12、分别将多个所述比例系数和多个所述射频频率一一对应，构建比例频率组；

13、将所述射频频率从小到大排列，构建射频频率队列；

14、计算所述射频频率队列中相邻射频频率的频率差，以及根据所述比例频率组获取所述频率差对应的相邻比例系数的比例差；

15、通过互相对应的所述比例差和所述频率差的比值，得到函数梯度值，并基于所述函数梯度值构建所述频率比例函数。

16、可选地，所述通过所述射频电源的功率感应器获取所述射频电源的多个实际输出功率之前，所述方法还包括：

17、获取预设的标准信号源，并通过所述标准信号源为所述功率感应器供能，收集所述功率感应器的感应功率；

18、根据所述感应功率调整所述功率感应器的校准参数，得到校准功率感应器。

19、可选地，所述频率比例函数的数学表达式为：

20、其中，k为函数梯度，x为n点的频率，y为n点比例系数，为n-1点的频率，为n-1点的比例系数。

21、可选地，所述根据多个所述比例系数和多个所述射频频率构建频率比例函数之后，所述方法还包括：

22、获取第一频率至第二频率的段落，得到频率段落；

23、获取所述频率段落中所有的频率，并查询所述频率段落的对应多个输出功率；

24、通过所述频率比例函数获取所述频率段落中所有对应的比例系数，得到对应比例系数；

25、基于所有对应的所述比例系数对多个对应的所述输出功率进行调整，得到所述频率段落的功率输出为同一目标功率。

26、可选地，所述根据所述目标比例系数对所述射频电源的输出功率进行调整，使得所述射频电源的实际输出功率等于所述目标输出功率，包括：

27、将所述目标比例系数和所述目标输出功率相乘，得到调整输出功率；

28、基于所述调整输出功率，通过所述射频电源的功率校正模块调整所述射频电源的输出功率，直至输出功率等于所述目标输出功率。

29、为了解决上述问题，本发明还提供一种射频电源在不同频率下的校准装置，所述装置包括：

30、功率获取模块，用于获取输入射频电源的多个预计输出功率，并通过所述射频电源的功率感应器获取所述射频电源的多个实际输出功率，其中，多个所述预计输出功率和多个所述实际输出功率一一对应；

31、比例计算模块，用于计算相互对应的所述预计输出功率和所述实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数；

32、频率查询模块，用于获取多个所述预计输出功率的射频频率，并根据多个所述比例系数和多个所述射频频率构建频率比例函数；获取用户需要输出的目标功率，将所述目标功率作为目标输出功率，并查询所述目标输出功率对应的射频频率，得到目标输出频率；

33、功率调整模块，用于通过所述频率比例函数查询所述目标输出频率对应的比例系数，得到目标比例系数，并根据所述目标比例系数对所述射频电源的输出功率进行调整，使得所述射频电源的实际输出功率等于所述目标输出功率。

34、为了解决上述问题，本发明还提供一种电子设备，所述电子设备包括：

35、至少一个处理器；以及，

36、与所述至少一个处理器通信连接的存储器；其中，

37、所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序，所述计算机程序被所述至少一个处理器执行，以使所述至少一个处理器能够执行如上所述的射频电源在不同频率下的校准方法。

38、为了解决上述问题，本发明还提供一种计算机可读存储介质，包括存储数据区和存储程序区，存储数据区存储创建的数据，存储程序区存储有计算机程序；其中，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述的射频电源在不同频率下的校准方法。

39、本发明实施例首先获取输入射频电源的多个预计输出功率，并通过射频电源的功率感应器获取射频电源的多个实际输出功率；计算相互对应的预计输出功率和实际输出功率之间的比值，得到多个比例系数；获取多个预计输出功率的射频频率，并根据多个比例系数和多个射频频率构建频率比例函数，实现比例函数的构建；获取用户需要输出的目标功率，将目标功率作为目标输出功率，并查询目标输出功率对应的射频频率，得到目标输出频率；通过频率比例函数查询目标输出频率对应的比例系数，得到目标比例系数，并根据目标比例系数对射频电源的输出功率进行调整，使得射频电源的实际输出功率等于目标输出功率。因此本发明提出的射频电源在不同频率下的校准方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质，通过预计输出功率和实际输出功率的比值得到比例系数，并凭借比例系数构建频率比例函数，在接收目标用户的目标功率时，根据频率比例函数对功率进行调整，使得射频电源的输出功率等与目标功率，提升射频电源的稳定性。