1.一种谐波能量回收电路，用于回收至少部分射频电源输出的谐波能量，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述变压器的所述第一绕组具有漏感，所述谐波抑制单元的电抗属性呈容性；
3.根据权利要求2所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述谐波抑制单元至少包括谐振电容，所述谐振电容与所述第一绕组串联或并联，所述变压器的所述第一绕组与所述谐波抑制单元的所述谐振电容发生串联谐振或并联谐振。
4.根据权利要求1所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述变压器的所述第一绕组不具有漏感，所述谐波抑制单元包括谐振电容与谐振电感，所述谐振电容与所述第一绕组串联，所述谐振电感与所述谐振电容串联或并联；
5.根据权利要求1所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述能量回收单元还包括电压变换模块，所述电压变换模块至少与所述整流模块连接，所述电压变换模块用于在处于工作状态时，对所述直流电压进行变换后输出至所述储能模块；和/或，所述电压变换模块用于在处于工作状态时，将所述直流电压逆变为交流电压，并输出至所述射频电源的输出端。
6.根据权利要求5所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述电压变换模块包括输入开关，在所述输入开关以一定的占空比交替导通或断开时，所述电压变换模块处于工作状态，通过所述输入开关接收整流后的所述直流电压；在所述输入开关持续断开时，所述电压变换模块处于不工作状态，不接收整流后的所述直流电压。
7.根据权利要求6所述的谐波能量回收电路，其特征在于，在所述电压变换模块处于所述工作状态，且所述输入开关的占空比减小时，所述变压器的所述第二绕组一侧的等效电阻值增大，以使得所述第一绕组一侧的等效电阻值增大，从而拓宽所述射频电源的输出频带；在所述电压变换模块处于所述工作状态，所述输入开关的占空比增大时，所述变压器的所述第二绕组一侧的等效电阻值减小，以使得所述第一绕组一侧的等效电阻值减小，从而收窄所述射频电源的输出频带。
8.根据权利要求7所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述谐波能量回收电路还包括控制单元，所述控制单元至少用于控制所述输入开关以一定的占空比交替导通或断开，以使得所述电压变换模块处于所述工作状态，控制所述输入开关持续断开，以使得所述电压变换模块处于所述不工作状态，并控制调节所述电压变换模块在处于所述工作状态时所述输入开关的占空比，从而拓宽或收窄所述射频电源的输出频带。
9.根据权利要求1所述的谐波能量回收电路，其特征在于，所述谐波抑制单元的数量包括至少两个，每个所述谐波抑制单元均与所述射频电源的输出端连接，所述变压器的数量包括至少两个，所述整流模块的数量包括至少两个，每个所述变压器均包括所述第一绕组和所述第二绕组，每个所述变压器的所述第一绕组与对应的所述谐波抑制单元连接，每个所述变压器的所述第二绕组与对应的所述整流模块连接，每个所述整流模块均与所述储能模块连接；
10.一种射频电源设备，其特征在于，包括权利要求1-9任一项所述的谐波能量回收电路以及射频电源，所述谐波能量回收电路用于回收至少部分所述射频电源输出的谐波能量。