1.一种基于Mason模型的FBAR滤波器优化方法，其特征在于，其包括以下步骤：
（1）构建原理图：根据Mason模型在ADS原理图中新增对应的电子元件和连线，构成电路图；
（2）修改元件参数值：选择压电层和电极层材料，根据所选材料的物理参数更新原理图中的元件参数值；
（3）定义各膜层的几何参数：根据工作频率设定压电层厚度、电极层厚度和谐振面积；
（4）添加端口：上、下电极层的其中一个声学端口与压电层的声学端口级联，另一个声学端口接地，压电层的电学端口定义为Port1、port2；
（5）封装成库文件：应用ADS软件的Symbol功能，将步骤（2）-步骤（4）制作的电路模型封装为二端口元件，简化滤波器设计电路；
（6）新建仿真电路原理图：在ADS同一个Cell文件中新建原理图，调用步骤（5）封装的库文件，连线完成滤波器电路图；
（7）添加仿真元件：在电路原理图中添加信号源Term1，Term2，分别接地，以及S参数仿真工具S-PARAMETERS，设定仿真起始频率、终止频率及步长；
（8）提取初步仿真结果：利用S参数控件仿真，Plot Trace中添加dB（S（2,1））作为仿真结果显示；
（9）添加目标和优化控件：应用ADS软件自带的目标值(GOAL)和优化功能(Optimize)两大控件对滤波器S参数进行优化，设定三个目标值，设定并联谐振器上电极、串联谐振面积、并联谐振面积为优化变量；
（10）开始自动优化，直到传输曲线达到目标值，或已优化到该滤波器结构的理论最优值；
（11）确定优化后的FBAR各膜层的几何参数和滤波器结构。
2.根据权利要求1所述的基于Mason模型的FBAR滤波器优化方法，其特征在于，步骤（2）所述根据所选材料的物理参数更新原理图中的元件参数值，具体为：压电层的声速、声阻抗、机电耦合系数、夹持介电常数、衰减因子和电极层的声速、声阻抗、衰减因子；所述的选择压电层和电极层材料，其中压电层是具有压电效应的薄膜材料，包括AlN、ZnO和PZT。
3.根据权利要求1所述的基于Mason模型的FBAR滤波器优化方法，其特征在于，步骤（6）所述新建仿真电路原理图，具体为：调用步骤（5）封装的库文件包括若干个串联FBAR谐振器和并联FBAR谐振器，并以一定的拓扑结构进行电学级联。
4.根据权利要求1所述的基于Mason模型的FBAR滤波器优化方法，其特征在于，步骤（9）所述添加目标和优化控件，具体为：应用ADS软件自带的目标值(GOAL)和优化功能(Optimize)两大控件对滤波器S参数进行优化，设定三个目标值，设定并联谐振器上电极、串联谐振面积、并联谐振面积为优化变量。
5.根据权利要求1所述的基于Mason模型的FBAR滤波器优化方法，其特征在于，步骤（11）所述优化后的FBAR各膜层的几何参数和滤波器结构，具体为：经软件自动取点计算和调谐预先设定的优化次数后，在S21优化达到目标的条件下，更新各参数优化值，包括并联谐振器上电极、串联谐振面积、并联谐振面积，无法达到目标或优化方差很大的情况下，修改目标值或者更换滤波器拓扑结构重复步骤（9）-步骤（11）直到满足指标，最终完成滤波器的设计和优化。