放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器的制作方法

文档序号:12198501阅读:来源:国知局

技术特征:

1.放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,包括:上半部分和下半部分;所述上半部分,包括:调节螺丝、螺母、通孔玻璃板、O型圈和高压电极,所述调节螺丝垂直安装在高压电极上,O型圈、通孔玻璃板、螺母依次穿过调节螺丝置于高压电极上;所述下半部分,包括紧密相连的反应器和接地电极。

2.根据权利要求1所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述调节螺丝和高压电极为一体式结构。

3.根据权利要求1所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述O型圈为硅胶O型圈,置于高压电极和通孔玻璃板之间。

4.根据权利要求1所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述反应器为石英反应器,所述石英反应器两侧为石英支管,底部为平板结构,顶部为敞口结构,石英反应器边缘为磨砂表面。

5.根据权利要求4所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述通孔玻璃板置于带有磨砂表面的石英反应器上。

6.根据权利要求1或2所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述高压电极为不锈钢材质。

7.根据权利要求1或2所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述高压电极为均匀沉积了一层氧化铝介质的不锈钢。

8.根据权利要求5所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,通孔玻璃板上设有圆孔,位于中心处,其孔径大小与调节螺丝直径相同。

9.根据权利要求5所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,所述高压电极与石英反应器底部之间形成等离子体区。

10.根据权利要求1所述放电间隙可调的封闭式介质阻挡放电平板反应器,其特征在于,通过调整硅胶O型圈厚度及螺母松紧实现放电间隙的调节。

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