本发明涉及一种元件安装装置。
背景技术：
以往，已知有如下的元件安装装置：在能够通过xy机器人而在xy平面上移动的安装头上安装有吸嘴，进行将从元件供给装置供给的元件吸附于吸嘴并向基板上的预定位置搬运而向该预定位置安装的元件安装动作。作为这种元件安装装置，已知有如下的装置：从接通电源之后至因马达等的热量引起的变形达到稳定状态为止，不进行实际生产而执行时效动作，在达到稳定状态之后，进行伴随着元件安装动作的实际生产，在该实际生产结束后使机器停止，在温度比稳定状态低的情况下，执行时效动作，在恢复至稳定状态之后进行下一次实际生产(参照专利文献1的图6)。根据该元件安装装置，被说明为能够通过自动时效动作来防止因机器停止等引起的温度变化而造成的装配精度下降，能够降低热修正的频率而提高生产率。
现有技术文献
专利文献1：日本特开2002-237700号公报
技术实现要素：
发明所要解决的课题
然而，由于从接通电源之后至因热量引起的变形达到稳定状态为止需一小时左右，因此在该期间不进行实际生产的专利文献1的元件安装装置并不能说生产率高。另外，由于从某次实际生产至下一次实际生产为止使机器停止，因此温度有时比稳定状态低。在该情况下，虽然已完成了下一次实际生产的准备，但需要通过时效动作来恢复至稳定状态，因此有时无法开始实际生产。由此，希望在优先考虑生产率的同时降低热修正的频率。
本发明鉴于这样的课题而作出，其主要目的在于，在优先考虑生产率的同时降低热修正的频率。
用于解决课题的技术方案
本发明的元件安装装置在能够通过xy机器人而在xy平面上移动的安装头上安装有吸嘴，进行将从元件供给装置供给的元件吸附于上述吸嘴并向基板上的预定位置搬运而向该预定位置安装的元件安装动作，
上述元件安装装置具备控制单元，在从接通电源而开始上述元件安装动作之后至因上述xy机器人的热量引起的位置偏差量达到稳定状态的期间，上述控制单元控制上述xy机器人，使得一边进行热修正一边反复进行上述元件安装动作；在达到稳定状态之后，上述控制单元控制上述xy机器人，使得一边利用刚达到上述稳定状态后的修正量进行稳定时修正一边反复进行上述元件安装动作，而不进行热修正；并且，上述控制单元控制上述xy机器人，使得在不进行上述元件安装动作的待机时间进行用于维持上述稳定状态的虚动作。
在该元件安装装置中，在从接通电源而开始元件安装动作之后至因xy机器人的热量引起的位置偏差量达到稳定状态的期间，一边进行热修正一边反复进行元件安装动作。也就是说，在直到达到稳定状态为止的期间也进行元件安装动作。另外，在达到稳定状态之后，一边利用刚达到稳定状态后的修正量来进行稳定时修正一边反复进行元件安装动作，而不进行热修正；并且，在不进行元件安装动作的待机时间进行用于维持稳定状态的虚动作。也就是说，在达到稳定状态之后，不进行热修正而进行元件安装动作，因此热修正的频率降低。另外，在待机时间通过虚动作来维持稳定状态，因此例如即使在基于一个生产作业的元件安装动作结束之后待机，只要完成基于下一次生产作业的元件安装动作的准备就能够不进行热修正而马上开始该生产作业。如上所述，根据本发明，能够在优先考虑生产率的同时降低热修正的频率。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述元件供给装置以可拆装的方式安装于上述元件安装装置，上述控制单元控制上述xy机器人，使得在操作人员对上述元件供给装置进行拆装时手不会伸入的区域内进行上述虚动作。在开始元件安装动作之后产生了需要补给元件供给装置的元件或者更换元件种类的情况下，操作人员拆装元件供给装置。此时，元件安装装置处于待机状态，xy机器人进行虚动作。由于该虚动作是在操作人员拆装元件供给装置时手不会伸入的区域内进行，因此操作人员能够安全地拆装元件供给装置。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，在上述元件安装装置中的供上述安装头移动的区域与上述元件供给装置之间设有分隔件，上述控制单元控制上述xy机器人，使得在比上述分隔件靠上述元件供给装置的内侧的位置进行上述虚动作。如此一来，由于虚动作是在比分隔件靠元件供给装置的内侧的位置进行的，因此操作人员能够安全地拆装元件供给装置。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，在进行上述热修正时，上述控制单元测定上述位置偏差量，根据上述位置偏差量的大小而算出上述xy机器人的位置修正量，并利用上述位置修正量来修正上述xy机器人的位置。另外，也可以是，上述控制单元基于上述位置偏差量相对于时间的变化量或者该变化量的推移来判断上述位置偏差量是否已达到稳定状态。如此一来，能够准确地判定热变形量饱和而达到稳定状态。
附图说明
图1是元件安装装置10的立体图。
图2是表示元件安装装置10的电连接的说明图。
图3是表示时间与位置偏差量的关系的曲线图。
图4是生产作业处理流程的流程图。
图5是待机期间的处理流程的流程图。
具体实施方式
以下，参照附图来说明本发明的优选的实施方式。图1是元件安装装置10的立体图，图2是表示元件安装装置10的电连接的说明图。另外，在本实施方式中，左右方向(x轴)、前后方向(y轴)及上下方向(z轴)如图1所示。
如图1所示，元件安装装置10具备：基板输送装置12、安装头18、吸嘴28、标记相机34、零件相机36、执行各种控制的安装控制器38(参照图2)及带盘单元50。在元件安装装置10上以能够开闭的方式安装有覆盖整体的罩57。
基板输送装置12通过分别安装于左右一对支撑板14、14的输送机传送带16、16(在图1中仅示出一方)而将基板s从左向右输送。另外，基板输送装置12通过配置于基板s的下方的支撑销17从下方抬起基板s并对支撑板14、14的顶部进行按压，由此固定基板s，并通过使支撑销17下降而解除基板s的固定。
安装头18在下表面具有吸嘴28。另外，安装头18以可拆装的方式安装于x轴滑动件20的前表面。x轴滑动件20以能够滑动的方式安装于设于y轴滑动件24的前表面的沿着左右方向延伸的上下一对导轨22、22。y轴滑动件24与螺合于y轴滚珠丝杠25的螺母23一体化，以能够滑动的方式安装于沿着前后方向延伸的左右一对导轨26、26。y轴滚珠丝杠25的一端安装于y轴马达24a，另一端成为自由端。y轴滑动件24通过这样的滚珠丝杠机构而沿着导轨26、26滑动。即，当y轴马达24a旋转时，y轴滚珠丝杠25旋转，随之螺母23与y轴滑动件24一起沿着导轨26、26滑动。虽未图示，但是x轴滑动件20与y轴滑动件24相同地，通过具备x轴马达20a(参照图2)的滚珠丝杠机构而沿着导轨22、22滑动。安装头18伴随着x轴滑动件20沿着左右方向移动而沿着左右方向移动，伴随着y轴滑动件24沿着前后方向移动而沿着前后方向移动。
吸嘴28利用压力在吸嘴前端吸附元件或者使吸附于吸嘴前端的元件分离。通过压力调整装置28a(参照图2)来调整吸嘴28的压力。该吸嘴28通过内置于安装头18的z轴马达30和沿着z轴延伸的滚珠丝杠32来调整高度。
标记相机34以使拍摄方向成为与基板s相对的方向的方式设置于安装头18的下表面，能够与安装头18一起沿着xy方向移动。该标记相机34拍摄设于基板s的未图示的基板定位用的基板标记或者拍摄配置于元件安装装置10的预定位置(在此为零件相机36旁边)的基准标记40。基准标记40设于在元件安装装置10的xy坐标中预先决定的坐标处，该高度被设定为与基板s同等程度的高度。该基准标记40设于即使x轴滑动件20、y轴滑动件24发热也不受该热量的影响或者几乎不受该热量的影响的位置。
零件相机36以拍摄方向朝上的方式设置于带盘单元50与基板输送装置12之间且左右方向上的长度的大致中央。该零件相机36拍摄被通过该零件相机36的上方的吸嘴28所吸附的元件。
如图2所示，安装控制器38构成为以cpu38a为中心的微处理器，具备存储处理程序的rom38b、存储各种数据的hdd38c及被用作作业区域的ram38d等。另外，安装控制器38与鼠标或键盘等输入装置38e、液晶显示器等显示装置38f连接。该安装控制器38与内置于供料器56的供料器控制器58或管理计算机80以能够进行双向通信的方式连接。另外，安装控制器38被连接为能够向基板输送装置12和x轴马达20a、y轴马达24a、z轴马达30、吸嘴28的压力调整装置28a、标记相机34、零件相机36输出控制信号。另外，安装控制器38被连接为能够从标记相机34、零件相机36接收图像。例如，安装控制器38对由标记相机34拍摄的基板s的图像进行处理而识别未图示的基板标记的位置，从而识别出基板s的位置，或者对由标记相机34拍摄的基准标记40的图像进行处理而识别基准标记40的位置，从而算出位置坐标的偏差。另外，安装控制器38基于由零件相机36拍摄的图像，判断在吸嘴28是否吸附有元件和判定该元件的形状、大小、吸附位置等。
如图1所示，带盘单元50具备设备托盘52和供料器56。设备托盘52在上表面具有多个插槽54。插槽54是能够供供料器56插入的槽。供料器56对卷绕有带的带盘60以能够旋转的方式进行保持。在带上，以沿着带的长度方向排列的方式形成有未图示的多个凹部。在各凹部中收纳有元件。上述元件由覆盖带的表面的未图示的膜保护。在供料器56中规定了元件吸附位置。元件吸附位置是吸嘴28吸附元件的设计上确定的位置。每当带被供料器56向后方输送了预定量时，收纳于带的元件被依次向元件吸附位置配置。到达元件吸附位置的元件成为被剥离了膜的状态，而被吸嘴28吸附。
如图2所示，管理计算机80具备计算机主体82、输入设备84及显示器86，能够输入来自由操作人员操作的输入设备84的信号，且能够向显示器86输出各种图像。在计算机主体82的存储器中存储有生产作业数据。在产作业数据决定在元件安装装置10中将何种元件以何种顺序向基板s安装及制造多少块这样安装的基板s等。
接下来，说明元件安装装置10的安装控制器38基于生产作业向基板s安装元件的动作(元件安装动作)。首先，安装控制器38使安装头18的吸嘴28吸附从带盘单元50的供料器56供给的元件。具体而言，安装控制器38控制x轴滑动件20的x轴马达20a及y轴滑动件24的y轴马达24a，使安装头18的吸嘴28向所期望的元件的元件吸附位置的正上方移动。接下来，安装控制器38控制z轴马达30及吸嘴28的压力调整装置28a，使吸嘴28下降，并且向该吸嘴28供给负压。由此，在吸嘴28的前端部吸附所期望的元件。然后，安装控制器38使吸嘴28上升，控制x轴滑动件20及y轴滑动件24，使在前端吸附有元件的吸嘴28向基板s上的预定位置的上方移动。并且，安装控制器38使吸嘴28在该预定位置下降，并控制压力调整装置28a以向该吸嘴28供给大气压。由此，吸附于吸嘴28的元件分离而被安装于基板s上的预定位置。对于待向基板s安装的其他元件，也相同地向基板s上安装，在全部元件的安装完成之后，将基板s向下游侧送出。
这样的元件安装装置10当从电源断开的状态(装置温度下降完毕的状态)起接通电源而开始第一次生产作业的元件安装动作时，伴随着x轴滑动件20、y轴滑动件24在xy方向上反复移动而发热。y轴滚珠丝杠25的一端安装于y轴马达24a，另一端成为自由端，因此当因热量而成为高温时在y轴方向上伸长。在这一点上未图示x轴滚珠丝杠也相同。并且，在元件安装动作开始之后不久的期间(例如40分钟或50分钟)，温度缓缓地升高，因此各滚珠丝杠也随之缓缓地变长。将这样的状态称作升温状态。在升温状态下，一边进行热修正一边进行元件安装动作。热修正为在元件安装动作的中途通过标记相机34拍摄基准标记40，基于根据该拍摄图像获得的基准标记40的坐标位置，算出xy方向上的位置偏差量，基于该位置偏差量求出修正量，并通过该修正量来修正定位坐标。该热修正需要数十秒钟。当升温状态结束时，温度几乎恒定，因此各滚珠丝杠的长度也几乎恒定。将这样的状态称为稳定状态。在稳定状态下，位置偏差量几乎恒定。因此，不进行热修正而通过刚达到稳定状态后的修正量(稳定时修正量)来修正定位坐标即可。并且，当第一次生产作业结束时，操作人员进行第二次生产作业的准备、即换产调整。换产调整是指在开始生产作业之前将该生产作业所使用的供料器56等向元件安装装置10安装或者通过自动处理变更基板输送装置12的输送机宽度的作业。在进行换产调整的期间，当使x轴滑动件20和y轴滑动件24停止时，则它们的温度缓缓降低。因此，在本实施方式中，即使在换产调整中，也进行用于维持稳定状态的虚动作。即，虽然不进行元件安装，但是通过使x轴滑动件20和y轴滑动件24在xy方向上反复移动来维持稳定状态。如此一来，在第二次生产作业之后，从一开始就达到稳定状态，因此能够不进行热修正而以稳定时修正量修正定位坐标来进行元件安装动作。图3的粗线表示本实施方式的时间与位置偏差量之间的关系，虚线表示不进行虚动作的情况(参考方式)下的时间与位置偏差量之间的关系。在参考方式中，在第二次生产作业中也有升温状态，因此需要一边进行热修正一边进行元件安装动作。
接下来，以下参照图4及图5的流程图来说明元件安装装置10的生产作业处理流程及待机期间的处理流程。上述流程的程序储存在安装控制器38的rom38b中。
安装控制器38的cpu38a在输入了新的生产作业的开始指令时开始生产作业处理流程。首先，cpu38a判定当前是否为稳定状态(步骤s110)。是否为稳定状态是通过稳定状态标志是开启还是关闭来判断的。稳定状态标志在后述的步骤s200中被设定为开启，当元件安装装置10的电源断开时稳定状态标志自动地变成关闭。在使第一次生产作业开始的最初尚未达到稳定状态，因此在步骤s110中作出否定判定。
接下来，cpu38a测定位置偏差量(步骤s120)。例如，cpu38a使x轴马达20a及y轴马达24a旋转预先决定的基准旋转量。基准旋转量例如被设定为当x轴及y轴的滚珠丝杠机构达到预定温度(例如20℃)时使标记相机34的中心来到基准标记40的正上方。当x轴及y轴的滚珠丝杠机构高于预定温度时，滚珠丝杠伸长，因此当以基准旋转量使各马达旋转时，标记相机34的中心偏离基准标记40的正上方。根据标记相机34的拍摄图像来算出此时的x方向与y方向上的位置偏差量。
接下来，cpu38a算出修正量(步骤s130)。在此，cpu38a以消除此次测定出的位置偏差量的方式算出修正量。
接下来，cpu38a算出此次测定出的位置偏差量的变化量(步骤s140)。在此，cpu38a将此次的位置偏差量与上一次的位置偏差量之差作为位置偏差量的变化量算出。另外，在该流程刚开始之后，不存在上一次的位置偏差量，因此视之为零。在本实施方式中，如后所述，测定位置偏差量的时机是按照预定周期产生的。因此，能够将位置偏差量的变化量视为位置偏差量相对于时间的变化的比例。
接下来，cpu38a判定位置偏差量的变化量是否处于预定的狭小范围内(步骤s150)。预定的狭小范围是能够将x轴及y轴的各滚珠丝杠的长度视为几乎恒定的范围，事先通过经验来决定。例如，预定的狭小范围被设定为±数μm。
在使第一次生产作业开始的最初，在步骤s150中作出否定判定。当在步骤s150中作出否定判定时，cpu38a基于在步骤s140中算出的修正量来修正元件吸附位置或基板s上的元件安装位置的定位坐标值(步骤s160)。接着，cpu38a控制元件安装装置10的各马达20a、24a、30，以基于修正后的定位坐标值进行元件安装动作，并且cpu38a与供料器控制器58进行通信(步骤s170)。然后，在吸嘴28从供料器56吸附元件并将其向基板s安装完成之后，cpu38a判定此次的生产作业是否结束(步骤s180)，若未结束，则判定位置偏差量测定时机是否已到来(步骤s190)。位置偏差量测定时机是按照预定周期(例如数分钟)到来的。若在步骤s190中位置偏差量测定时机未到来，则cpu38a进行步骤s160之后的处理。
另一方面，若在步骤s190中位置偏差量测定时机已到来，则cpu38a进行步骤s120之后的处理。从开始第一次生产作业直到经过一定程度的时间(例如数十分钟)为止，元件安装装置10的各部分的温度缓缓上升，因此位置偏差量的变化量超出狭小范围，在步骤s150中作出否定判定而进行步骤s160～s190的处理。
但是，从开始第一次的生产作业起经过一定程度的时间后，元件安装装置10的各部分的温度上升完毕而几乎恒定，因此位置偏差量的变化量处于狭小范围内，在步骤s150中作出肯定判定。当在步骤s150中作出肯定判定时，cpu38a将稳定状态标志设定为开启(步骤s200)，将此前刚算出的修正量作为稳定时修正量保存于ram38d(步骤s210)。接着，cpu38a基于稳定时修正量来修正元件吸附位置和基板s上的元件安装位置的定位坐标值(步骤s220)。接着，cpu38a控制元件安装装置10的各马达20a、24a、30，以基于修正后的定位坐标值进行元件安装动作，并且cpu38a与供料器控制器58进行通信(步骤s230)。然后，在吸嘴28从供料器56吸附元件并将其向基板s安装完成之后，cpu38a判定此次生产作业是否结束(步骤s240)。若此次生产作业未结束，则cpu38a返回步骤s220。即，在达到稳定状态之后，不进行热修正(步骤s120、s130)。并且，若在步骤s240或者步骤s180中此次生产作业结束，则cpu38a使生产作业处理流程结束。
当一个生产作业结束时，cpu38a判断为转移至待机时间，从rom38b读出待机时间中的处理流程并执行。另外，在待机期间，操作人员准备下一次生产作业而进行换产调整。cpu38a在开始待机期间的处理流程时，首先，判定元件安装装置10是否为稳定状态(步骤s310)，若不是稳定状态，则直接结束该流程。另一方面，若在步骤s310中为稳定状态，则cpu38a执行虚动作(步骤s320)。即，虽然不进行元件安装，但是通过使x轴滑动件20和y轴滑动件24在xy方向上反复移动来维持稳定状态。该虚动作在操作人员对供料器56进行拆装时手不会伸入的区域内、即比罩57的前表面57a靠内侧的区域内进行。接着，cpu38a判定是否输入了新的生产作业开始指令(步骤s330)，若未输入，则返回步骤s320，继续进行虚动作。另一方面，若在步骤s330中输入了新的生产作业开始指令，则cpu38a使虚动作结束(步骤s340)，并使该流程结束。与此同时，cpu38a再次开始生产作业处理流程。
cpu38a在再次开始生产作业处理流程时，首先，判定是否为稳定状态(步骤s110)。由于在开始第二次生产作业的情况下，在此前的待机时间执行虚动作，因此维持了稳定状态。因此，cpu38a在步骤s110中作出肯定判定而跳向步骤s220。并且，cpu38a直到在步骤s240中判断为第二次生产作业结束为止不进行热修正，而基于稳定时修正量修正定位坐标值(步骤s220)，执行元件安装动作(步骤s230)。
在此，明确本实施方式中的构成要素与本发明的构成要素的对应关系。本实施方式的x轴滑动件20及y轴滑动件24相当于本发明的xy机器人，带盘单元50的供料器56相当于元件供给装置，安装控制器38相当于控制单元。另外，罩57的前表面57a相当于分隔件。
以上，根据进行了说明的本实施方式的元件安装装置10，从接通电源而开始元件安装动作之后至因x轴滑动件20和y轴滑动件24的热量引起的位置偏差量达到稳定状态为止的期间，一边进行热修正一边反复进行元件安装动作。也就是说，在直到达到稳定状态为止的期间也进行元件安装动作。另外，在达到稳定状态之后，一边利用刚达到稳定状态后的修正量进行稳定时修正一边反复进行元件安装动作，而不进行热修正；并且，在不进行元件安装动作的待机时间进行用于维持稳定状态的虚动作。也就是说，在达到稳定状态之后，进行元件安装动作而不进行热修正，因此热修正的频率降低。另外，在待机时间通过虚动作维持稳定状态，因此例如即使基于一次生产作业的元件安装动作结束之后进行待机，只要完成了基于下一次生产作业的元件安装动作的准备就能够不进行热修正而马上开始该生产作业。
另外，虚动作在操作人员对供料器56进行拆装时手不会伸入的区域内、即在上述实施方式中比罩57的前表面57a靠内侧的位置进行，因此操作人员能够安全地进行供料器56的拆装。
此外，在进行热修正时，测定因x轴及y轴的滚珠丝杠机构的热变形引起的位置偏差量，因此热修正所需的时间变长，所以降低热修正的频率的意义较高。
此外，基于位置偏差量的变化量来判断位置偏差量是否已达到稳定状态，因此能够高精度地判断位置偏差量是否已达到稳定状态。
另外，本发明不限于上述实施方式，只要属于本发明的技术的范围，就能够通过各种方式进行实施，这是不言而喻的。
例如，在上述实施方式中，考虑x轴及y轴的各滚珠丝杠因热量而伸缩地进行热修正，但是也可以考虑设于安装头18的下表面的吸嘴28与标记相机34之间的距离因热量而伸缩地进行热修正。吸嘴28与标记相机34之间的距离能够通过利用由零件相机36拍摄它们而得到的图像来测定。另外，也可以考虑z轴的滚珠丝杠32因热量而伸缩地进行热修正。在该情况下，例如，也可以将能够从横向拍摄吸嘴28的照相机安装于安装头18，通过利用由该照相机拍摄吸嘴28而得到的图像来测定z轴方向上的位置偏差量。无论如何，在达到稳定状态之后，一边利用刚达到稳定状态后的修正量进行稳定时修正，一边反复进行元件安装动作，而不进行热修正。
在上述实施方式中，在步骤s150中，通过位置偏差量的变化量是否处于预定的狭小范围内来判定是否为稳定状态，但是判定方法不限定于此。例如，也可以基于位置偏差量的变化量的推移来判定是否为稳定状态。具体而言，也可以通过上一次的位置偏差量的变化量与这次的位置偏差量的变化量之差是否为预定的微小差以下来判定是否为稳定状态。
在上述实施方式中，作为待机时间而例示了进行换产调整的时间，但是待机时间不限定于此。例如，在一个生产作业的执行期间，有时元件安装装置10会产生某种故障，例如由于元件用尽而发生等待补给，从而使元件安装动作中断，也可以将该中断的时间设为待机时间。或者，也可以将进行基板s的更换的时间设为待机时间。
在上述实施方式中，安装控制器38也可以在覆盖元件安装装置10整体的罩57开放时不执行待机期间的处理流程。如此一来，当罩57开放时不进行虚动作。
在上述实施方式中，作为安装头18例示了具有一个吸嘴28的结构，但是不特别限定于此，也可以使用具有多个吸嘴的安装头(例如沿着圆周具备多个吸嘴的旋转头)。
在上述实施方式中，作为x轴滑动件20和y轴滑动件24例示了具备滚珠丝杠机构的结构，但是不特别限定于此，例如也可以取代滚珠丝杠机构而使用具备线性马达的结构。
在上述实施方式中，热修正为根据在元件安装动作的中途通过标记相机34拍摄的基准标记40的图像计算xy方向上的位置偏差量，并基于该位置偏差量求出修正量，但是不特别限定于此。例如，也可以在安装头18的下表面的预定位置设置基准标记，在元件安装动作的中途通过零件相机36拍摄该基准标记，基于从该拍摄图像得到的基准标记的坐标位置来算出xy方向上的位置偏差量，并基于该位置偏差量求出修正量，通过该修正量修正定位坐标。如此一来，由于还将安装头18的基于热量的伸缩考虑在内，因此与上述实施方式相比能够更加准确地测定热变形的大小。
在上述实施方式中，在稳定状态时进行虚动作，但是也可以在升温状态下也进行虚动作。如此一来，能够更早地移向稳定状态，能够减少热修正处理次数。
工业上的有用性
本发明能够应用于例如向基板安装尺寸不同的各种电子元件的元件安装装置。
附图标记说明
10、元件安装装置；12、基板输送装置；14、支撑板；16、输送机传送带；18、安装头；20、x轴滑动件；20a、x轴马达；22、导轨；23、螺母；24、y轴滑动件；24a、y轴马达；25、y轴滚珠丝杠；26、导轨；28、吸嘴；28a、压力调整装置；30、z轴马达；32、滚珠丝杠；34、标记相机；36、零件相机；38、安装控制器；38a、cpu；38b、rom；38c、hdd；38d、ram；38e、输入装置；38f、显示装置；40、基准标记；50、带盘单元；52、设备托盘；54、插槽；56、供料器；57、罩；57a、前表面；58、供料器控制器；60、带盘；62、带；80、管理计算机；82、计算机主体；84、输入设备；86、显示器。