体声波滤波器装置及其制造方法与流程

技术特征：

技术总结
本发明提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；腔体形成层，设置在所述基板上，以形成腔体；下电极，设置在所述腔体上；压电层，设置在所述下电极上；上电极，设置在所述压电层上；及温度补偿层，设置在所述下电极的下面并且设置在所述腔体中。

技术研发人员：李文喆;李在昌;林昶贤;李泰勋;李泰京;金泰润
受保护的技术使用者：三星电机株式会社
技术研发日：2017.06.15
技术公布日：2018.02.23