电热板及其制备方法以及含有电热板的真空烘箱与流程

本发明涉及电热技术，尤其适用于微波器件在激光焊接之前的加热除气处理，特指一种电热板及其制备方法以及含有电热板的真空烘箱。

背景技术：

随着各类激光发生器向大功率、轻便化和经济化的发展，激光焊接由于能源高度集中和热影响区小，符合优质、低耗、高效、清洁、热影响区窄、接头变形小、操作灵活等技术发展方向，并且激光束具有可以在大气中焊接的优点，既可以对大型构件作深熔焊，又可以进行微形件精密焊接，其应用前景非常广阔。特别是应用于微组装领域，在密闭的或具备保护气氛的环境下，将厚膜或薄膜集成电路封装到盖板与壳体的密闭容器中，起到在恶劣环境中保护电路的作用，使电路具备抗辐射、耐高压、稳定性好等性能。由于激光焊接具备焊接性能好、稳定、加工灵活等优点，在微组装的密封焊接方面有替代传统的大电流接触式的平行缝焊的趋势。

广泛应用于雷达的微波器件的封装通常采用激光焊接，在激光焊接之前需要将器件放在真空烘箱内进行加热除气处理，通过热辐射将电热板上的热量传递到器件上，同时设置真空泵对真空烘箱抽真空，从而达到对器件加热除气的目的。因此，简单洁净、加热均匀性良好的电加热板在真空烘箱中起关键作用。

目前，真空烘箱的加热板通常采用专利文献cn103954117a中公开的结构形式，能够满足一般情况下均匀性要求不高的场合，但是本申请的发明人通过大量的分析、试验和计算发现，其对于真空烘箱加热均匀性要求较高的场合无法满足，因为：导热绝缘板受热之后会发生翘曲，两端的位置由于外壳弯折角度（图示中为直角，实际加工时外壳弯折处会不可避免地形成圆角）的影响，导热绝缘板无法与电阻丝紧密贴合，导致电热板表面的温度均匀性不高，且随着使用时间的增加，这种现象越明显。此外，该技术方案中，电阻丝采用螺旋结构缠绕于绕丝板上，绕丝板两端部电阻丝的有效长度与中部存在细微差别，一定程度上会影响电热板表面温度均匀性；电阻丝产生的热量最终需要经过外壳和盖板散发出去，但是盖板与外壳重合的位置（图中电热板上侧左右两端）厚度较厚，一定程度上也会影响电热板的温度均匀性。随着技术水平的不断进步，焊接工件越来越精密，目前真空烘箱的加热方式已不能满足要求。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、紧凑，表面温度均匀性好的电热板。

进一步地，本发明提供一种上述电热板的制备方法。

进一步地，本发明提供一种含有上述电热板的真空烘箱。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种电热板，包括电热组件，所述电热组件包括上绝缘压板、下绝缘压板及电阻丝，所述电阻丝夹设于所述上绝缘压板和所述下绝缘压板之间，电热板还包括导热板，所述导热板内设有空腔，所述电热组件设于所述空腔内且与空腔内壁紧贴。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述上绝缘压板和所述下绝缘压板之间设有均布槽，所述电阻丝设于所述均布槽内。

所述电阻丝的横截面为圆形，所述均布槽包括两个半圆槽，两个半圆槽分设于所述上绝缘压板和所述下绝缘压板上。

所述均布槽呈s形布置。

所述电阻丝在引线位置设有陶瓷电极。

所述空腔的腔壁各处等厚。

一种上述的均匀电热板的制备方法，包括以下步骤：

步骤一：将电阻丝夹紧于上绝缘压板和下绝缘压板之间；

步骤二：将导热材料均匀浇筑在上绝缘压板和下绝缘压板周边形成所述导热板。

一种真空烘箱，包括箱体，所述箱体上设有真空泵，所述箱体内设有多层上述的均匀电热板。

与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的电热板，采用导热板将电阻丝产生的热量导出，由于导热板内设置有空腔，上绝缘压板、下绝缘压板与空腔内壁紧密贴合，电阻丝设于上绝缘压板、下绝缘压板之间，结构简单、紧凑，使用过程中可使上绝缘压板、下绝缘压板整体与电阻丝始终保持紧密贴合，避免上绝缘压板、下绝缘压板受热发生翘曲，保证电热板表面温度的均匀性。

本发明公开的电热板的制备方法，采用导热材料均匀浇筑在上绝缘压板、下绝缘压板周边形成导热板的方式，操作方便，能够保证导热板内部与上绝缘压板、下绝缘压板紧密贴合，进而保证上绝缘压板、下绝缘压板与电阻丝紧密贴合，制备得到的电热板表面温度均匀性良好。

本发明公开的真空烘箱，含有上述电热板，因而同样具备上述优点。

附图说明

图1是本发明的电热板的结构示意图。

图2是本发明的电热板的局部放大结构示意图。

图3是本发明中的电阻丝的结构示意图。

图4是本发明的真空烘箱的结构示意图。

图中各标号表示：1、导热板；11、空腔；2、上绝缘压板；3、下绝缘压板；4、电阻丝；5、均布槽；51、半圆槽；6、箱体；7、真空泵。

具体实施方式

以下结合说明书附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。

实施例一

如图1、图2和图3所示，本实施例的电热板，包括电热组件，电热组件包括上绝缘压板2、下绝缘压板3及电阻丝4，电阻丝4夹设于上绝缘压板2和下绝缘压板3之间，电热板还包括导热板1，导热板1内设有空腔11，电热组件设于空腔11内且与空腔11内壁紧贴。其中，上绝缘压板2、下绝缘压板3可采用云母板，电阻丝4可采用铬镍合金，导热板1的材质优选采用铝，具有良好的导热性能，且易于加工成可浇筑的液态。

本发明的电热板，采用导热板1将电阻丝4产生的热量导出，由于导热板1内设置有空腔11，上绝缘压板2、下绝缘压板3与空腔11侧壁紧密贴合，电阻丝4设于上绝缘压板2、下绝缘压板3之间，结构简单、紧凑，使用过程中可使上绝缘压板2、下绝缘压板3整体与电阻丝4始终保持紧密贴合，避免上绝缘压板2、下绝缘压板2受热发生翘曲，保证电热板表面温度的均匀性。

实施例二

上述电热板的制备方法，包括以下步骤：

步骤一：将电阻丝4夹紧于上绝缘压板2和下绝缘压板3之间；

步骤二：将导热材料均匀浇筑在上绝缘压板2和下绝缘压板3周边形成导热板1。

作为进一步优选的技术方案，上绝缘压板2和下绝缘压板3之间设有均布槽5，电阻丝4设于均布槽5内。相比现有的采用电阻丝4缠绕于绕丝板上的结构，本发明无需设置绕丝板，且可保证上绝缘压板2、下绝缘压板3各处电阻丝4有效长度一致，上绝缘压板2、下绝缘压板3除了均布槽5之外的各部分均紧密贴合，可避免两者之间产生细微的温差。

本实施例中，电阻丝4的横截面为圆形，均布槽5包括两个半圆槽51，两个半圆槽51分设于上绝缘压板2和下绝缘压板3上。两个半圆槽51分别在上绝缘压板2和下绝缘压板3上呈相同的s型布置。电阻丝4布置的越紧密，则电热板表面温度的均匀性越好。

在制备时，可先将电阻丝4布置在下绝缘压板3上的半圆槽51内，然后将上绝缘压板2与下绝缘压板3对位准确之后压下，最后再进行浇筑。

本实施例中，电阻丝4在引线位置设有陶瓷电极（图中未示出），便于浇筑时引出电阻丝4。

本实施例中，空腔11的腔壁各处等厚，有利于保证电热板表面温度的均匀性。

实施例三

如图4所示，本实施例的真空烘箱，包括箱体6，箱体6上设有真空泵7，箱体6内设有多层上述的电热板。

使用时，将待烘烤工件放入箱体6内，烘箱门关闭，真空泵7开启，开始对烘箱抽真空操作，电热板开始通电加热，当烘箱内到达设定温度后，保持设定温度至设定时间，烘烤结束，待烘箱内温度降至常温，真空泵7停止工作，往箱体6内充入惰性气体，开启真空烘箱门，取出工件。

本发明公开的真空烘箱，含有上述电热板，因而同样具备上述优点，可在工件进行激光焊接之前，进行良好的加热除气处理，保证后续的焊接质量。

虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。