1.一种薄膜体声波谐振器,包括基片及形成在所述基片上的空气隙、覆盖在所述空气隙上方的压电三明治结构,所述压电三明治结构包括依次堆叠的第一电极、压电层、第二电极;其中,所述压电层为压电单晶,所述第一电极介于所述压电单晶的第一表面与所述基片之间,所述第二电极位于所述压电单晶的第二表面。
2.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器,其特征在于:所述压电单晶与所述基片之间还包括键合层。
3.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器,其特征在于:所述压电单晶包括压电石英、钽酸锂、铌酸锂或四硼酸锂。
4.根据权利要求1所述的薄膜体声波谐振器,其特征在于:还包括形成在所述压电单晶的第二表面的互连层。
5.根据权利要求4所述的薄膜体声波谐振器,其特征在于:所述互连层将所述第一电极引出至所述压电单晶的第二表面。
6.一种滤波器,包括权利要求1-5任一项所述的薄膜体声波谐振器。