1.一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于包括：真空舱（2）、烧蚀样品固定器（3）、层流等离子射道（4）、层流等离子发生器（5）、测温仪（6）、移动平台（9）和行车机构（10），所述真空舱（2）内部一侧设置有移动平台（9）和行车机构（10），所述移动平台（9）用于将被烧蚀的产品移动到样品固定器（3）上，所述移动平台（9）与行车机构（10）相连接，所述层流等离子射道（4）的入口与层流等离子发生器（5）相连，所述层流等离子射道（4）的出口与样品固定器（3）相连，所述真空舱（2）内设置有测温仪（6）。
2.根据权利要求1所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述基于层流等离子的高热烧蚀设备还包括：真空泵组（1）、工作气体舱（7）和水冷机组（8），所述真空泵组（1）设置在真空舱（2）的一侧与真空舱相连，所述工作气体舱（7）和水冷机组（8）设置在真空舱（2）的另一侧，所述工作气体舱（7）与真空舱（2）相连，所述水冷机组（8）与工作气体舱（7）相连。
3.根据权利要求2所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述真空泵组（1）由机械泵与罗茨泵组成，其最低的工作压力为50Pa。
4.根据权利要求2所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述工作气体舱（7）的最大送气量为200slpm。
5.根据权利要求2所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述工作气体舱（7）内的气体为：氩气或者氮气。
6.根据权利要求1所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述层流等离子发生器（5）的最大功率为200KW。
7.根据权利要求1所述一种基于层流等离子的高热烧蚀设备，其特征在于：所述测温仪（6）为双色红外测温仪。