弹性波器件的制作方法

技术特征：

技术总结
提供一种TCF良好，能够提高谐振器的Q、阻抗比的弹性波器件。该弹性波器件包括：含有70质量％以上的二氧化硅(SiO2)的基板11、由设置于基板11之上的LiTaO3晶体或LiNbO3晶体形成的压电薄膜12以及被设置为与压电薄膜12相接的叉指状电极13。

技术研发人员：门田道雄;田中秀治
受保护的技术使用者：国立大学法人东北大学
技术研发日：2017.11.15
技术公布日：2019.08.09