1.一种用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，包括：
阳极头，所述阳极头内部设有冷却腔；
与所述阳极头连接的阳极连接杆，所述阳极连接杆内沿所述阳极连接杆的延伸方向设置有冷却介质流道，所述冷却介质流道包括分别与所述冷却腔连通的冷却介质入口流道和冷却介质出口流道。
2.根据权利要求1所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述阳极连接杆由第一圆管和围设在所述第一圆管周围的第二圆管连接而成，所述第一圆管围合成所述冷却介质入口流道，所述第二圆管和所述第一圆管围合成所述冷却介质出口流道。
3.根据权利要求2所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述第一圆管的直径为5-10mm，所述第二圆管的直径为15-25mm。
4.根据权利要求2所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述阳极头内的冷却腔的内壁为圆弧形。
5.根据权利要求4所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述圆弧形的半径为10-15mm。
6.根据权利要求2-5任一项所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述第一圆管与所述冷却腔连通的一端伸入所述冷却腔内，另一端为所述冷却介质流道的入口。
7.根据权利要求6所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述第一圆管伸入所述冷却腔内的长度大于0mm小于等于10mm。
8.根据权利要求1所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
还包括与所述阳极连接杆绝缘连接的安装座，所述安装座与所述阳极连接杆通过环绕在所述阳极连接杆外侧的绝缘管绝缘连接。
9.根据权利要求8所述的用于等离子生成装置的阳极，其特征在于，
所述绝缘管通过远离所述阳极头的一端与所述阳极连接杆连接，且所述绝缘管远离所述阳极头的端部为波纹管段或螺纹管段。
10.一种等离子生成装置，其特征在于，包括：
如权利要求1-9任一项所述的用于等离子生成装置的阳极；
真空腔体；所述用于等离子生成装置的阳极的阳极头伸入所述真空腔体内，通过所述阳极连接杆与所述真空腔体的腔壁连接。