离子发生器及静电消除器的制作方法

文档序号:18922485发布日期:2019-10-19 03:43阅读:491来源:国知局
离子发生器及静电消除器的制作方法

本实用新型涉及静电消除技术领域,特别涉及一种离子发生器及静电消除器。



背景技术:

为了防止静电放电(electrostatic discharge,简称ESD)引起的各种灾害,国际科技界已经实现了密封氮气的安全工艺,以无氧、低氧环境防止火灾、爆炸等恶性事故。但是,在氮气环境下如何实现静电消除器的继续运行,是科技界必须攻克的难点之一。

密封氮气安全工艺(又称氮气惰化安全工艺,有时简称氮封)已涉及许多工业过程,例如各种粉体制备,制药,石化工艺,化学合成,船舶油舱清洗,油罐油库清洗,烟花制造,火药制备等等。而这些领域内又往往需要各种静电消除设备。近年来,使用核辐射、紫外线、软X-射线、电晕放电离子发射等技术已经实现在氮气环境中来消除静电。

静电消除设备中的离子发生器能产生正、负电荷,若用于消电,这些正、负电荷需具有一定的迁移率,驱动到静电带电体(固定物体或静止物体)表面那些未达平衡的静电荷。控制这些气体中诞生的电荷载流子的产生,是实现静电消除的关键。

在高纯度氮气中实现电晕放电,已被人类知晓许多年。为了获得这种电晕放电的基本数据,必须努力提纯氮气,获得一定清洁度的气室,并防止漏气或除气。电晕放电中产生的负电荷载流子是自由电子,负电荷载流子的迁移率要高于同时产生的正电荷载流子。自由电子将吸附到氧或其它电负性气体杂质 (electronegative impurities)上。这些负电荷载流子的迁移率会直接影响如下因素:离子电流,火花放电条件,电荷迁移及其它因素,甚至能显著改变环境的成份。为了保证工业应用中静电消除的目的成功实现,静电消除设备中离子发生器必须在各种离子迁移率的情况下足够可控。

在各种消电技术中(电晕放电,核辐射,紫外线,X-射线),均需产生正离子和自由电子且成对出现。但是,这些离子发生器的离子平衡却不易控制,特别是在温度范围很宽的纯氮气中(温度范围:213K(即-60℃))~433K(即160℃) (注解:本文温度一律采用绝对温标K,而不是摄氏度,原因是涉及到的物理公式全部是绝对温标。下文亦同))。

针对使用现有技术中静电消除设备中的离子发生器存在离子平衡不易控制,无法实现在氮气环境中的静电消除的问题,本领域技术人员一直在寻找解决的方法。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种离子发生器及静电消除器,以解决使用现有技术中静电消除设备存在的问题。

为解决上述技术问题,本实用新型提供一种离子发生器,所述离子发生器包括:一基体和固定于所述基体上的至少一根电极针,所述基体上开设有至少一个容置穴,每个容置穴容置一电极针;其中,每个电极针的尾端固定于一容置穴中的基体上,每个电极针的尖端伸出所述容置穴并高于所述基体的表面。

可选的,在所述的离子发生器中,还包括设置于所述基体一侧的电压源连接端子,所述电压源连接端子通过导线与所有电极针的尾端连接。

可选的,在所述的离子发生器中,还包括设置于所述基体一侧的气流端口,所述气流端口与所述容置穴相连通,所述气流端口与所述电压源连接端子相对所述基体对称设置。

可选的,在所述的离子发生器中,所述容置穴呈漏斗状。

可选的,在所述的离子发生器中,所有电极针相互平行并垂直于所述基体表面,所有电极针均为钨针。

可选的,在所述的离子发生器中,所述电极针的直径范围为 0.20mm~0.30mm,相邻两电极针之间间距范围为57mm~58mm。

本实用新型还提供一种静电消除器,适用于氮气环境中的静电消除,所述静电消除器包括:

一电压源装置及与所述电压源装置分别连接的两个如上所述的离子发生器,两个离子发生器相对设置,且两个离子发生器上的电极针相互平行且电极针的尖端朝向相同。

可选的,在所述的静电消除器中,每个离子发生器的长度延伸方向相对水平方向向下偏斜角度范围为17°~20°。

可选的,在所述的静电消除器中,两个离子发生器的电压源连接端子位于同一侧,其中一个离子发生器的电压源连接端子与所述电压源装置的正极连接,以构成正电压离子发生器;另一个离子发生器的电压源连接端子与所述电压源装置的负极连接,以构成负电压离子发生器。

可选的,在所述的静电消除器中,两个离子发生器之间间距范围为 28mm~29mm。

在本实用新型所提供的离子发生器及静电消除器中,所述静电消除器包括一电压源装置及与电压源装置分别连接的两个离子发生器,两个离子发生器相对设置,且两个离子发生器上的电极针相互平行且电极针的尖端朝向相同;离子发生器包括一基体和固定于基体上的至少一根电极针,基体上开设有至少一个容置穴,每个容置穴容置一电极针;每个电极针的尾端固定于一容置穴中的基体上,每个电极针的尖端伸出容置穴并高于基体的表面。基于本实用新型的具有针-穴结构(即电极针容置于容置穴中)的离子发生器构成的静电消除器,基于针-穴结构中电极针与容置穴之间的间隙更易于传送气流和离子流,从而可实现在氮气环境中稳定发生电晕放电。

另一方面,基于离子发生器上的气流端口,可以实现清洁干燥空气或氮气的吹射,以强制通风方式进行气流的分配,使得静电消除器内气体流动,加强电荷载流子的传送。

另一方面,由于每个离子发生器的长度延伸方向相对水平方向向下偏斜 17°~20°,可以有效引导气体流动和传递电荷载流子流通方向,使其朝向消电对象,提高了消电效率。

附图说明

图1是在空气中,正、负电压离子发生器离子发射时的典型I-V曲线示意图;

图2是在氮气中,正、负电压离子发生器离子发射时的典型I-V曲线示意图;

图3是电荷衰减时间与正、负电压离子发生器的离子电流的关系曲线示意图;

图4是本实用新型一实施例中静电消除器的前视图;

图5是图4的侧视图;

图6是采用本实用新型的离子发生器获得的电荷衰减曲线示意图;

图7是采用本实用新型的离子发生器获得的电荷衰减时间曲线示意图。

图4及图5中:1-离子发生器;10-基体;11-电极针;100-容置穴;12-电压源连接端子;13-气流端口;2-气体通道。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的离子发生器及静电消除器作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书,本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是,附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。需要说明的是,本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本实用新型的基本构想,遂图式中仅显示与本实用新型中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制,其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变,且其组件布局型态也可能更为复杂。

遍及说明书和权利要求书使用了表示特定系统组件的某些术语。如本领域的技术人员将理解的,不同公司可能用不同的名称来表示一组件。本文不期望在名称不同但功能相同的组件之间进行区分。在说明书和权利要求书中,术语“包括”和“包含”按开放式的方式使用,且因此应被解释为“包括,但不限于…”。

如本申请和权利要求书中所示,除非上下文明确提示例外情形,“一”、“一个”、“一种”和/或“该”等词并非特指单数,也可包括复数。一般说来,术语“包括”与“包含”仅提示包括已明确标识的步骤和元素,而这些步骤和元素不构成一个排它性的罗列,方法或者设备也可能包含其他的步骤或元素。

另外,以下说明内容的各个实施例分别具有一或多个技术特征,然此并不意味着使用本实用新型者必需同时实施任一实施例中的所有技术特征,或仅能分开实施不同实施例中的一部或全部技术特征。换句话说,在实施为可能的前提下,本领域技术人员可依据本实用新型的公开内容,并视设计规范或实作需求,选择性地实施任一实施例中部分或全部的技术特征,或者选择性地实施多个实施例中部分或全部的技术特征的组合,借此增加本实用新型实施时的弹性。

为使本实用新型的目的、特征更明显易懂,下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步的说明,然而,本实用新型可以用不同的形式实现,不应认为只是局限在所述的实施例。

本实用新型的离子发生器的设计过程如下:

在空气中与氮气中离子发生器的电晕放电形态对比试验的基础上,通过相应的离子平衡试验和衰减性能试验(这两项是静电消除器的基本要求,即便在氮气环境中,也不能降低),确定了具有针-穴结构(即电极针容置于容置穴中) 的离子发生器,进而确定了氮气环境中静电消除器的基本结构。

具体的,请参考图1和图2,图1是在空气中,正、负电压离子发生器离子发射时的典型I-V曲线示意图;图2是在氮气中,正、负电压离子发生器离子发射时的典型I-V曲线示意图。如图1、图2所示,在空气中、氮气中,使用相同电极结构,同时进行正、负高压电晕离子发射试验,分别描绘出相应的电流-电压曲线,即I-V曲线。在图1和图2中曲线上所记载的数据中,电流取时间平均值,经对曲线分析可知离子发生器研发所需的如下结果:

1)对于正、负电压离子发生器,在空气中正电晕放电的起始电压大约为 3.7kV;负电晕放电的起始电压大约在3kV;在氮气中,正、负电晕放电的起始电压差不多是相同的,大约在4.2kV。

2)对于正电压离子发生器,在空气中和在氮气中所形成的I-V曲线几乎相同(具体参考图1、图2中的竖坐标刻度的差异)。

3)对于负电压离子发生器,当空气环境被氮气环境取代时,观测到了负极性电晕电流大显异状,且有显著增强之势,最大电晕电流甚至达到了175μA,是空气环境中的六、七倍。

4)对于在氮气中的I-V曲线,即便在高氮气气流级别,电流随电压单调地增加,但仍维持稳定。

综上,负极性电晕电流的显著增强是可以预计的,其原因在于:在最简单的模型中,请参考公式(1),离子发生器的电流密度J正比于载流子迁移率μ,载流子电荷浓度ρ,和电场强度E,而本实验过程中负电荷载流子的迁移率在氮气中是增加的,因此判断负极性电晕电流会显著增强。

J=ρ·μ·E (1)

在典型的空气环境与氮气环境中,只要静电消除器达到稳态运行,电晕放电的特点就是足够稳定的、可控的。由于本实施例中载流子迁移率μ和载流子电荷浓度ρ随着温度和气体成分而变化。电压源装置和控制系统必须允许负电荷载流子电流的增强,特别是当载流子迁移率和浓度发生改变时。

基于上述对比试验的基础上,通过多次试验,以及相应的离子平衡试验和衰减性能试验,确定了本实用新型中适用于氮气环境中的静电消除器的结构。请参考图4及图5,图4是本实施例中静电消除器的前视图;图5是图4的侧视图。如图4及图5所示,本实用新型的静电消除器包括:一电压源装置(图中未画)及与所述电压源装置分别连接的两个离子发生器1,两个离子发生器1相对设置,且两个离子发生器1上的电极针11相互平行且电极针11的尖端朝向相同,两个离子发生器1之间共同围成气体通道2。其中,每个离子发生器1包括:一基体10和固定于所述基体10上的至少一根电极针11,所述基体10上开设有至少一个容置穴100,每个容置穴100容置一电极针11;其中,每个电极针11的尾端固定于一容置穴100中的基体10上,每个电极针11的尖端伸出所述容置穴100并高于所述基体10的表面(即构成针-穴结构)。进一步地,所述基体10表面具有绝缘层,所述绝缘层是由高度绝缘的玻璃纤维制成并做成装配式结构,此时,所述电极针11的针尖高于绝缘层表面。基于针-穴结构中电极针 11与容置穴100之间的间隙,更易于传送气流和离子流,从而可实现在氮气环境中稳定发生电晕放电。

进一步地,所述离子发生器1还包括设置于所述基体10一侧的电压源连接端子12和设置于所述基体10另一侧的气流端口13,所述电压源连接端子12通过导线与所有电极针11的尾端连接;所述气流端口13与所述容置穴100相连通,所述气流端口13与所述电压源连接端子12相对所述基体10对称设置。离子发生器1基于其上的气流端口13可以就进行强制通风以分配其气流。为了便于对离子发生器1的气流量控制,在气流端口13可设置监测仪器和流量控制仪器,以随时根据监控数据进行气流量控制。

如图5所示,两个离子发生器1的电压源连接端子12位于同一侧,其中一个离子发生器1的电压源连接端子12与所述电压源装置的正极连接,以构成正电压离子发生器;另一个离子发生器1的电压源连接端子12与所述电压源装置的负极连接,以构成负电压离子发生器,负电压离子发生器进行。两个离子发生器1之间间距范围为28mm~29mm,优选为28.5mm。本实施例中,优选的,图5中位于上方的离子发生器1由所述电压源装置的正高压供电,位于下方的离子发生器1由所述电压源装置的负高压供电,本实施例中将上方的离子发生器上的所有电极针11统称为上针排,将下方的离子发生器1上的所有电极针11 统称为下针排。

较佳的,所述电压源装置为DC电压源,按时间平均的发射电流使用SIMCO TI800数字安培表加以测量,用高压线引至上、下针排。这种电流由直流和脉冲电流组成,他们产生的载流子贡献到气流中,吹向目标靶。优选的,所述电压源装置选用SIMCO的IBC-20,每个极性都有电流控制,出于安全目的,最大的输出限制到几十微安。

本实施例中,请参考图5,所述容置穴100呈漏斗状,容置穴100与电极针 11之间存在间隙;优选的,电极针11的数量为四根,所有电极针11相互平行并垂直于所述基体10表面;优选的,所述电极针11采用钨丝制造而成(即钨针)。所述电极针11的直径范围为0.20mm~0.30mm,相邻两电极针11之间间距 L范围为57mm~58mm,优选的间距为57.5mm。

较佳的,每个离子发生器的长度延伸方向相对水平方向向下偏斜角度范围为17°~20°,优选的,本实施例中向下偏斜角度为18°,从而引导气体流动和传递电荷载流子朝向消电对象发射,提高消电效率。

为了较好理解本实用新型,下面以氮气喷射和电压源装置极性反转时的气流喷射分别进行试验分析。

1)在氮气环境中进行氮气的正常喷射时,当温度预计会降到露点以下时,氮气通常引入到消电空间。

氮气首先在本实用新型的离子发生器引入。典型的喷射流量速率为7.1升/ 分钟,在离子发生器前1.25cm处能产生最大气流流速为5.1m/s。这种气体速度是在离子发生器关闭时测量的,并不包括由电晕放电所驱动的气流。

该试验表明,氮气喷射无论是环绕正电压离子发生器,还是负电压离子发生器,都会使电流增加。无论消电空间内有没有外部气流,均发现这种现象。在发射电压不变情况下,这种氮气的影响请参见表1。表1中,到达正电压离子发生器的针排(即同一电压离子发生器上所有电极针的总称,后文中还将图5 中位于上方基体10上的所有电极针统称为上针排)的体积流量标为Qa,到达负电压离子发生器的针排(后文中还将图5中位于下方基体10上的所有电极针统称为下针排)的体积流量标为Qb。注意:正电压离子发生器的针排电压,有外部气流与无外部气流情况下,电压是有差别的。

尽管对正电压离子发生器的针排喷射少量氮气(每个离子发生器为 Qa=0.241升/分钟),空气中仍然实现了电流增强。当处理室内的空气循环时,为了提高电流,需要更高的氮气喷射流量(每个离子发生器需要流量2.41升/分钟)。这就表明:电流增强是受离子发生器附近的气体影响的。

表1:氮气喷射对离子发生器的离子电流的影响

2)电压源装置极性反转时的气流喷射,即:电压大小未改变,但电压源装置的正极和负极与两个离子发生器的电压连接端连接颠倒一下(若原来构成静电消除器中上部的离子发生器的电压连接端与电压源装置的正极连接,则此时,其与电压源装置的负极连接)。试验过程中,每一个离子发生器均维持喷射流量 7.11升/分的氮气。实验结果请参考表2,表2显示的情况是只有一个风扇来循环空气。尽管电压源装置极性反转使到达下部的离子发生器的正极性电流更大,但此时上部的离子发生器仍能控制离子平衡(这是消除器的核心指标)。这种发现证实,在实际设计离子发生器时,需要控制载流子的产生与离子气流的混合。要单独控制正极性载流子或负极性载流子的产生是困难的,因为是针对针的电极排列。但是,离子平衡可以在某些条件下借助离子发生器的电压调节来实现。其方法与实行一对正、负电极的DC偏压来实现离子平衡的方法很相似。

表2:离子发生器极性反转的影响

针对氮气环境中的电荷衰减的试验过程如下:

请参考图3,其为是电荷衰减时间与正、负电压离子发生器的离子电流的关系曲线示意图。本试验是在离子平衡条件下完成的,在电荷衰减测试之前和之后进行20秒的悬浮试验。在这些试验中,上部离子发生器是正极性。

离子平衡条件首先由接地的靶子或模拟带电板(简称CPM)所决定;其次由监测电压所决定(当它悬浮、未接地,再到稳定状态的条件所决定)。CDT(电荷衰减时间,charge-decay-time,简称CDT)是指,悬浮靶子(电容为85pF) 或CPM的电压从1000V降到100V所需时间(国内外技术标准均如是规定)。

电荷衰减也可在离子发生器关闭时来观测。当温度高于330K(57℃)以上时,随着温度升高而指数减少。低于330K时,接近1000s的固定衰减时间是其极限,这取决于消电空间外部测试系统内的泄漏。

一般情况下,电荷衰减时间反比于离子发生器的离子电流,具体请参考公式(2):

CDT=α·I—β (2)

公式(2)中,CDT为电荷衰减时间;I为带电平板(charged plate)对面的相反极性的离子发生器的离子电流;α,β为回归常数。

表3给出了电荷衰减时间与发射电流、空气环境的关系数据,这些数据明显给出了下面四方面的信息:正、负电压极性时的电荷衰减,温度的影响,在发射极喷射氮气的影响,电荷衰减与发射电流的关系。这样获得的每一数据对于针-穴结构的静电消除器中针针排列的离子发生器的设计均有重要意义。

表3数据表明,电荷衰减时间与离子电流有微弱依赖性。这就提醒人们思考:为了延长离子发生器的寿命,人们不能依靠减少离子电流而牺牲消电器的性能。但是,倘若人们想避免火花放电,也就只能用更高的离子发射电流才能获得更大的稳定性。

在离子电流稳定不变时,依靠增加温度来减少电荷衰减时间,很大程度上是由于常压下较低的气体密度所引起。风扇定律(Fanlaws)表明:对于理想气体,一个风扇吹向下游的气体速度取决于气体密度(V∽ρ-1/2),当然气体密度又反比于绝对温度(ρ∽T-1)。由于电荷衰减时间呈现出由3个运转的风扇的气体流动所驱动,那么,到达靶子的驱动电流应该遵循V∽T1/2.在离子平衡条件下,负极性离子发生器的离子电流为-20μA,则电荷衰减时间与温度的关系有一个修正系数,为:

CDT+(T)=18.073—0.8242T1/2,修正系数=0.9911

CDT-(T)=18.106—0.8246T1/2,修正系数=0.9984

当温度高于室温时,2个附加的风扇就运转,以改善气体循环,使温度均匀分布。就离子平衡条件而言,当风扇开启时,正极性、负极性的电荷衰减时间将减少。看来,在气流速率增加条件下,传递的气流较离子迁移占优势,带动电荷向着模拟带电板CPM的靶子流去。尽管离子迁移率对温度的依赖关系强于气体密度对温度的依赖关系,但仍是后者控制着电荷衰减。电荷衰减时间独立于电压极性揭示出:气流输送电荷的重要意义,而对载流子迁移率则意义不大。

表3:电荷衰减时间与发射电流、空气环境的关系数据

*N2-吹向电离器的氮气流流量(Qa,Qb),升/分钟。风扇:产生循环气流的风扇数目

这里,由于物理公式中温度使用绝对温度,所以表3中使用绝对温标,图5、图6亦然。

电荷衰减时间不但随气体循环的增加而缩短,而且,衰减时间与离子电流的关系还更强烈。这可以比较表3中的修正系数在1个和3个风扇运转时的影响清楚看到这一点。在高温下这种效应最小。

没有空气流动和氮气喷射时,正极性和负极性下的电荷衰减时间分别为173 和226秒。离子发生器的离子电流分别为-16.10和+15.15μA。吹向离子发生器的每一边氮气流量为7.1升/分(大约5m/s)能使正、负极性下的电荷衰减时间减到30.2和35.2秒。这时离子电流为-17.35和16.45μA。氮气喷射能改善放电环境且能把离子吹向靶子。正如实际应用中离子喷嘴和离子枪那样。将氮气喷向具有针-穴结构的离子发生器区域将对离子性能有所影响(特别是消电空间内有空气流动时)。

在气体流速较低时(3.7m/s),电荷衰减时间在有氮气对着电离器喷射时与没有喷射时的比率,近似于空气中载流子迁移率的比值(μ+/μ-=0.7).这就启示人们:在氮气中的电晕放电产生的负电荷载流子(自由电子)会吸引到对电极的氧原子上。气体速率增加到8m/s时,电荷衰减时间近似达到1。这种观测结果,结合电压源装置极性反转时的发现,能够证明:在更高气体速度和温度下,气体流动引起的电荷传送,与离子迁移相比,是占优势的。降低温度基本上靠氮气蒸发,即液氮蒸发。气化的氮气也预先引入到消电空间内,其制冷能够消除结露和结冰。一般来说,消电空间在氮气制冷期间是保持正压力(例如设计一个小门,周期性的打开它以便在消电空间试验时取出或放入试验器件)。这种操作时空气被带进消电空间。氮气中自由电子的优势效应发生在消电空间中的氧气少于1%时。

请参考图6,其为采用本实用新型的离子发生器获得的电荷衰减曲线示意图。如图6所示,横坐标表示温度,纵坐标表示正、负电压离子发生器发射离子时的电荷衰减时间的比率CDT+/CDT-,此时残留电压低于-20V,总的发射电流约20μA,负电压离子发生器的离子电流为-20μA,CDT+/CDT-的逐步下降在低温时伴随着离子的不平衡。

请参考图7,其为采用本实用新型的离子发生器获得的电荷衰减时间曲线示意图。如图7所示,电荷衰减时间作为温度的函数,此时,每个针排的电流为 20μA,负电压离子发生器的离子电流为-20μA,20秒的悬浮试验能够多次完成,即便在最低温度下,典型的残余电压能够维持在0周围的-20V以内。本试验表明:电荷衰减时间随着电流的增加而减少。

基于图7中数据表明,负电压离子发生器的离子电流(即自由电子电流,也称负电荷载流子)是由电压源驱动的优势电流,而且是正、负离子电流读数的基本读数。自由电子载流子在低温时的贡献也占优势,可以推断出在温度上升时也是优于气体流动的贡献。但是,较高温度时观测到的电荷衰减时间也与较低温度下正靶子电压下的电荷衰减时间相一致,这表明,到达正压靶子的负电荷载流子数目与下列两种情况(即低温氮气中和高温空气中)相一致。到达负压靶载流子数目大约是这个数目的三分之一。离子发生器连续产生一个正离子(即正电荷载流子)浓度,该浓度大于自由电子(即负电荷载流子)浓度,并随着温度降低而增加。但是,这种正离子浓度远小于室温下和温度提升过程中所产生的浓度。图7中曲线示出,当环境由空气转换成氮气时,正离子电流的90%被“夹断”。所测的正电压离子发生器的离子电流很明显被自由电子电流所压倒,而且维持产生正离子是不可控的。那么,要想在变化的离子迁移率环境中达到离子平衡,离子发生器的隔断就是一个必须步骤。

综上,在本实用新型所提供的离子发生器及静电消除器中,所述静电消除器包括一电压源装置及与电压源装置分别连接的两个离子发生器,两个离子发生器相对设置,且两个离子发生器上的电极针相互平行且电极针的尖端朝向相同;离子发生器包括一基体和固定于基体上的至少一根电极针,基体上开设有至少一个容置穴,每个容置穴容置一电极针;每个电极针的尾端固定于一容置穴中的基体上,每个电极针的尖端伸出容置穴并高于基体的表面。基于本实用新型的具有针-穴结构(即电极针容置于容置穴中)的离子发生器构成的静电消除器,基于针-穴结构中电极针与容置穴之间的间隙更易于传送气流和离子流,从而可实现在氮气环境中稳定发生电晕放电。

另一方面,基于离子发生器上的气流端口,可以实现清洁干燥空气或氮气的吹射,以强制通风方式进行气流的分配,使得静电消除器内气体流动,加强电荷载流子的传送。

另一方面,由于每个离子发生器的长度延伸方向相对水平方向向下偏斜 17°~20°,可以有效引导气体流动和传递电荷载流子流通方向,使其朝向消电对象,提高了消电效率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述,并非对本实用新型范围的任何限定,本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰,均属于权利要求书的保护范围。

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