谐振器以及谐振装置的制作方法

文档序号:19636167发布日期:2020-01-07 12:02阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种谐振器,具备:

振动部,具有多个振动臂以及基部,其中,上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3根以上的振动臂,且至少2根振动臂以不同的相位进行面外弯曲,上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端;

保持部,设置于上述振动部的周围的至少一部分;

保持臂,设置于上述振动部与上述保持部之间,一端与上述基部连接,另一端与上述保持部连接;以及

多个孔,形成于上述振动部,

上述多个孔分别形成于上述基部中的上述多个振动臂中的任意彼此相邻的振动臂之间的区域。

2.根据权利要求1所述的谐振器,其中,

上述多个孔形成于上述基部中的比上述后端更接近上述前端的区域。

3.根据权利要求1或2所述的谐振器,其中,

上述多个孔形成于上述基部中的相互以反相振动的彼此相邻的振动臂之间的区域。

4.一种谐振器,具备:

振动部,具有多个振动臂以及基部,其中,上述多个振动臂为分别具有固定端和开放端的3根以上的振动臂,且至少2根振动臂以不同的相位进行面外弯曲,上述基部具有与上述多个振动臂的固定端连接的前端、和与该前端对置的后端;

保持部,设置于上述振动部的周围的至少一部分;

保持臂,设置于上述振动部与上述保持部之间,一端与上述基部连接,另一端与上述保持部连接;以及

多个孔,形成于上述振动部,

上述多个孔分别形成于上述多个振动臂中的任意振动臂中的比上述开放端更接近上述固定端的区域。

5.根据权利要求4所述的谐振器,其中,

上述多个孔分别形成于上述多个振动臂所排列的方向上的该振动臂的中央附近。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的谐振器,其中,

上述多个孔为具有沿着上述多个振动臂中的每个振动臂所延伸的方向的长轴的形状。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的谐振器,其中,

上述多个孔分别形成于上述振动部中的相对于通过上述多个振动臂所排列的方向的中心的中心轴相互对称的位置。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的谐振器,其中,

上述多个孔为贯通孔。

9.根据权利要求1~7中任一项所述的谐振器,其中,

上述多个孔为凹部。

10.一种谐振装置,具备:

权利要求1~7中任一项所述的谐振器;

上盖和下盖,将上述谐振器夹在中间而相互对置地设置;以及

外部电极。

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