液体中等离子体发生装置和液体处理装置的制作方法

文档序号:19689532发布日期:2020-01-14 19:00阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种液体中等离子体发生装置,其特征在于,具备:

框体,其在内部空间保持液体;

气体供给管,其在所述内部空间内具有开口并从该开口向所述液体中排出气体;

第一电极,其从所述气体供给管内经由所述开口向所述内部空间突出,且该突出部位具有导体部被电介质覆盖的结构;

第二电极,其围绕所述第一电极的所述突出部位设置,且具有通过电介质与所述液体隔离的导体部;以及

电压施加部,其向所述第一电极和所述第二电极之间施加电压,

所述突出部位和所述第二电极之间的空间是供从所述开口排出的所述气体流通的流路。

2.根据权利要求1所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述开口向上开设,所述突出部位从所述开口向上突出,所述第二电极的所述导体部从侧方围绕所述突出部位。

3.根据权利要求2所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

俯视观察时,所述突出部位位于所述开口的内部,所述第二电极围绕在所述开口的周围。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

侧视观察时,所述突出部位与所述第二电极至少一部分彼此重叠。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述第一电极是沿着所述气体供给管的管轴延伸的棒状体,该棒状体的侧面与所述气体供给管的内侧面之间的空间成为所述气体的流路。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述框体具有由电介质形成的筒状体,所述气体供给管在所述筒状体的内部与所述筒状体同轴地设置,在所述筒状体的内侧面与所述气体供给管之间的空间保持所述液体。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述框体具有由电介质形成的筒状体,所述第二电极设置于所述筒状体的外周面。

8.根据权利要求6或7所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述第二电极的所述导体部是围绕所述筒状体的外周面的环状的导体。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

所述第一电极、所述气体供给管、所述筒状体以及所述第二电极相对于铅垂轴同轴地设置。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的液体中等离子体发生装置,其特征在于,

在所述框体设置有:导入口,其在比所述突出部位靠下方将所述液体导入所述内部空间;以及送出口,其在比所述突出部位靠上方将所述液体向外部送出。

11.一种液体处理装置,其生成含有活性种的处理液,

所述液体处理装置的特征在于,具备:

权利要求10所述的液体中等离子体发生装置;

向所述导入口供给所述液体的液体供给部;以及

将从所述送出口送出的所述液体作为所述处理液贮存的贮存部。

12.根据权利要求11所述的液体处理装置,其特征在于,

所述液体供给部将贮存于所述贮存部的所述液体供给至所述导入口。

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