包括声波谐振器的滤波器的制作方法

本申请要求于2019年5月14日在韩国知识产权局提交的第10-2019-0056273号韩国专利申请的优先权的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有的目的通过引用包含于此。

以下描述涉及一种包括声波谐振器的滤波器。

背景技术：

随着移动通信装置、化学和生物测试装置等近来快速发展，对用于这种装置的紧凑且轻质的滤波器、振荡器、谐振元件和声波谐振质量传感器的需求也在增长。

已知薄膜体声波谐振器(fbar)是用于实现这种紧凑且轻质的滤波器、振荡器、谐振元件和声波谐振质量传感器的装置。fbar的优点是可以以最低成本批量生产fbar，并且fbar可制造为具有非常小的尺寸。此外，fbar可被设计为提供具有高品质因数(q)值的滤波器，品质因数(q)值是滤波器的主要特性，并且fbar甚至可在数ghz的频带中使用。

通常，fbar形成为具有包括在其中第一电极、压电体和第二电极顺序堆叠在基板上的谐振部的结构。在fbar的操作中，首先，通过施加到第一电极和第二电极的电能在压电层中感应出电场，并且通过感应出的电场在压电层中产生压电现象，从而引起谐振部沿预定方向振动。结果，在与振动方向相同的方向上产生体声波，从而引起谐振。

技术实现要素：

提供本发明内容以按照简化的形式对所选择的构思进行介绍，并在下面的具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容既不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总的方面，一种滤波器包括：串联谐振器，设置在输入端子和输出端子之间；以及并联谐振器，设置在所述输入端子和所述输出端子之间的不同节点与地之间，其中，所述串联谐振器中的至少一个串联谐振器的谐振频率和反谐振频率分别位于所述并联谐振器的谐振频率和反谐振频率的参考频率范围内。

所述至少一个串联谐振器的所述谐振频率可位于所述并联谐振器的所述谐振频率与所述滤波器的下限频率之间。

所述至少一个串联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间的差可等于所述并联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间的差。

所述滤波器还可包括：微调电感器，并联连接到所述至少一个串联谐振器。

所述至少一个串联谐振器的所述反谐振频率可位于所述滤波器的通带之外。

所述至少一个串联谐振器的所述反谐振频率可高于所述串联谐振器中的其余串联谐振器的反谐振频率。

所述滤波器的下限频率可位于所述并联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间。所述滤波器的上限频率可位于所述串联谐振器中除了所述至少一个串联谐振器之外的另一串联谐振器的谐振频率和反谐振频率之间。

所述滤波器可具有4.4ghz至5.0ghz的通带。

所述至少一个串联谐振器可少于所述串联谐振器中的全部。

在另一总体方面，一种滤波器包括：串联谐振器，设置在输入端子和输出端子之间；以及并联谐振器，设置在所述输入端子和所述输出端子之间的不同节点与地之间，其中，所述并联谐振器中的至少一个并联谐振器的谐振频率和反谐振频率分别位于所述串联谐振器的谐振频率和反谐振频率的参考频率范围内。

所述至少一个并联谐振器的谐振频率可位于所述滤波器的中心频率和所述串联谐振器的所述谐振频率之间。

所述串联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间的差可等于所述至少一个并联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间的差。

所述滤波器还可包括：至少一个微调电感器，串联连接到所述至少一个并联谐振器。

所述至少一个并联谐振器的所述谐振频率可位于所述滤波器的通带之外。

所述至少一个并联谐振器的所述谐振频率可低于所述串联谐振器的所述谐振频率。

所述滤波器的下限频率可位于所述并联谐振器中除了所述至少一个并联谐振器之外的另一并联谐振器的谐振频率和反谐振频率之间。所述滤波器的上限频率可位于所述串联谐振器的所述谐振频率和所述反谐振频率之间。

所述滤波器可具有400mhz至800mhz的带宽。

所述至少一个并联谐振器可少于所述并联谐振器中的全部。

通过以下具体实施方式、附图和权利要求，其它特征和方面将是显而易见的。

附图说明

图1是示出根据实施例的滤波器的电路图。

图2是根据实施例的包括体声波谐振器的滤波器的电路图。

图3a示出了图2的滤波器具有200mhz的带宽的示例中的频率响应。

图3b是图2的滤波器具有200mhz的带宽的示例中的史密斯圆图。

图4a示出了图2的滤波器具有600mhz的带宽的示例中的频率响应。

图4b是图2的滤波器具有600mhz的带宽的示例中的史密斯圆图。

图5a和图5b是根据实施例的滤波器的电路图。

图6a是示出根据实施例的具有与滤波器中的其它串联谐振器的频率特性不同的频率特性的串联谐振器的频率响应的曲线图。

图6b是示出根据图5a的实施例的滤波器的频率响应的曲线图。

图7a和图7b是根据实施例的滤波器的电路图。

图8a是示出根据实施例的具有与滤波器中的其它并联谐振器的频率特性不同的频率特性的并联谐振器的频率响应的曲线图。

图8b是示出根据图7a的实施例的滤波器的频率响应的曲线图。

图9是根据实施例的滤波器的电路图。

图10示出了根据实施例的仿真数据。

在所有的附图和具体实施方式中，相同的附图标记指示相同的元件。附图可不按照比例绘制，为了清楚、说明及便利起见，可夸大附图中的元件的相对尺寸、比例和描绘。

具体实施方式

提供以下具体实施方式以帮助读者获得对在此描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而，在理解本申请的公开内容后，在此描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如，在此描述的操作顺序仅仅是示例，并不局限于在此阐述的顺序，而是除了必须以特定顺序发生的操作之外，可做出在理解本申请的公开内容后将是显而易见的改变。此外，为了提高清楚性和简洁性，可省略对于本领域已知的特征的描述。

在此描述的特征可以以不同的形式实施，并且将不被解释为局限于在此描述的示例。更确切的说，已经提供在此描述的示例仅仅为示出在理解本申请的公开内容后将是显而易见的实现在此描述的方法、设备和/或系统的很多可行的方式中的一些可行方式。

在此，应注意的是，关于示例或实施例的术语“可”的使用(例如，关于示例或实施例可包括或实现什么)意味着存在包括或实现这样的特征的至少一个示例或实施例，而所有示例和实施例不限于此。

在整个说明书中，当诸如层、区域或基板的元件被描述为“位于”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时，该元件可直接“位于”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件，或者可存在介于它们之间的一个或更多个其它元件。相比之下，当元件被描述为“直接位于”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时，可能不存在介于它们之间的其它元件。

如在此使用的，术语“和/或”包括相关所列项中的任意一个和任意两个或更多个的任意组合。

尽管可在此使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各种构件、组件、区域、层或部分，但是这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语的限制。更确切地说，这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分区分开。因此，在不脱离示例的教导的情况下，在此描述的示例中所称的第一构件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分也可被称为第二构件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。

为了便于描述，在此可使用诸如“上方”、“上面”、“下方”和“下面”的空间相对术语来描述附图中所示的一个元件与另一元件的关系。除了附图中描绘的方位，这种空间相对术语旨在还包括装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的装置被翻转，则描述为相对于另一元件位于“上方”或“上面”的元件随后将相对于所述另一元件位于“下方”或“下面”。因此，术语“上方”根据装置的空间方位而包括上方和下方两种方位。装置还可以以其它方式定位(例如，旋转90度或在其它方位)，并且相应地解释在此使用的空间相对术语。

在此使用的术语仅用于描述各种示例且不用于限制本公开。除非上下文另外清楚地指出，否则单数形式也意图包括复数形式。术语“包含”、“包括”和“具有”列举存在所陈述的特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合，但是不排除存在或添加一个或更多个其它特征、数量、操作、构件、元件和/或它们的组合。

由于制造技术和/或公差，可能发生附图中所示的形状的变化。因此，在此描述的示例不限于附图中所示的特定形状，而是包括在制造期间发生的形状的变化。

在此描述的示例的特征可按照在理解本申请的公开内容后将是显而易见的各种方式进行组合。此外，尽管在此描述的示例具有各种构造，但是在理解本申请的公开内容后将是显而易见的其它构造是可行的。

图1是示出根据实施例的滤波器10的示例性电路图。

参照图1，滤波器10可包括串联部件11a、11b、11c和11d，以及设置在串联部件11a、11b、11c和11d与地之间的并联部件12a、12b和12c。如图1中所示，滤波器10可具有梯型滤波器结构或格型滤波器结构。

串联部件11a、11b、11c和11d可串联布置在输入端子rfin和输出端子rfout之间，输入信号输入到输入端子rfin，从输出端子rfout输出输出信号。并联部件12a、12b和12c可设置在输入端子rfin和输出端子rfout之间的不同节点和地之间。并联部件12a、12b和12c可设置在串联部件11a、11b、11c和11d之间的节点和地之间。根据实施例，并联部件可设置在输入端子rfin和地之间，或者设置在输出端子rfout和地之间。

在图1中，滤波器示出为具有四个串联部件11a、11b、11c和11d，以及三个并联部件12a、12b和12c，但串联部件11a、11b、11c和11d的数量以及并联部件12a、12b和12c的数量可改变。串联部件11a、11b、11c和11d中的每个以及并联部件12a、12b和12c中的每个可包括至少一个体声波谐振器。

与传统的长期演进(lte)通信相比，第五代(5g)通信预期以更大量的数据和更快的数据传输速率有效地将更多装置彼此连接。5g移动通信正朝着使用对应于毫米波(mmwave)的24250mhz至52600mhz的频带以及对应于sub-6ghz的450mhz至6000mhz的频带的方向发展。

由于根据与传统4g通信的频带接近度的技术的相似性，因此预期sub-6ghz频带将在许多国家商业化。n77频带(3300mhz至4200mhz)、n78频带(3300mhz至3800mhz)和n79频带(4400mhz至5000mhz)中的每个被定义为sub-6ghz的操作频带中的一个，并且n77频带(3300mhz至4200mhz)、n78频带(3300mhz至3800mhz)和n79频带(4400mhz至5000mhz)由于具有宽的带宽的优势而预期将用作主频带。

然而，在具有优异衰减特性的体声波谐振器中，由于谐振频率和反谐振频率之间的间隔窄(例如，200mhz)，因此难以形成600mhz或更高的宽的通带。因此，可能难以将这种体声波谐振器应用于需要宽带频率特性的5g通信。

图2是包括体声波谐振器的滤波器100的电路图。

参照图2，滤波器100可包括设置在输入端子rfin和输出端子rfout之间的串联谐振器se，以及设置在串联谐振器se和地之间的并联谐振器sh。

图3a示出了在图2的滤波器100具有200mhz的带宽的示例中的频率响应。图3b是在图2的滤波器100具有200mhz的带宽的示例中的史密斯圆图。另外，图4a示出了在图2的滤波器100具有600mhz的带宽的示例中的频率响应。图4b是在图2的滤波器具有600mhz的带宽的示例中的史密斯圆图。

参照图3a和图4a，第一曲线(曲线1)示出了串联谐振器se的频率响应(z，阻抗)，第二曲线(曲线2)示出了并联谐振器sh的频率响应(z，阻抗)，并且第三曲线(曲线3)和第四曲线(曲线4)分别示出了包括串联谐振器se和并联谐振器sh的滤波器100的插入损耗和回波损耗。

串联谐振器se的频率响应具有谐振频率fr_se和反谐振频率fa_se，而并联谐振器sh的频率响应具有谐振频率fr_sh和反谐振频率fa_sh。串联谐振器se的反谐振频率fa_se和并联谐振器sh的谐振频率fr_sh形成在滤波器的通带之外。串联谐振器se的谐振频率fr_se和并联谐振器sh的反谐振频率fa_sh形成在滤波器的通带内。在这种情况下，下限频率fl位于并联谐振器sh的谐振频率fr_sh和反谐振频率fa_sh之间，并且上限频率fh位于串联谐振器se的谐振频率fr_se和反谐振频率fa_se之间。

参照图3a，滤波器100的通带的下限频率fl约为4.8ghz，滤波器100的中心频率fm约为4.9ghz，并且滤波器100的上限频率fh约为5.0ghz。参照图4a，滤波器100的通带的下限频率fl约为4.4ghz，滤波器100的中心频率fm约为4.7ghz，并且滤波器100的上限频率fh约为5.0ghz。

在图3b和图4b中示出的史密斯圆图中，穿过圆心的中线的下部用作电容器分量，并且上部用作电感分量。

参照图3b，串联谐振器se和并联谐振器sh的下限频率fl形成在彼此对称的方向上并且彼此抵消，同时串联谐振器se和并联谐振器sh的上限频率fh形成在彼此对称的方向上并且彼此抵消。另外，中心频率fm位于圆心附近。作为示例，由于中心频率fm位于圆心附近，因此中心频率fm可提供15db或更大的回波损耗。

参照图4b，串联谐振器se和并联谐振器sh的下限频率fl形成在彼此对称的方向上并且彼此抵消，并且串联谐振器se和并联谐振器sh的上限频率fh形成在彼此对称的方向上并且彼此抵消。然而，中心频率fm与圆心分开预定距离并且位于圆的下部。作为示例，由于中心频率fm与圆心分开预定距离并且位于圆的下部，因此中心频率fm可能不提供足够的回波损耗。因此，参照图4a，中心频率fm附近的带通特性可能劣化。因此，有必要改善劣化的带通特性。

在图4b中，中心频率fm位于圆的用作电容器分量的下部。因此，当将电感分量提供给中心频率fm时，可改善滤波器的回波损耗的特性。在体声波谐振器中，在谐振频率和反谐振频率之间提供电感分量。因此，当在体声波谐振器的谐振频率和反谐振频率之间提供电感分量时，可设计使用体声波谐振器的宽带滤波器。

图5a和图5b分别是根据实施例的滤波器200和300的电路图。滤波器200可具有400mhz至800mhz的带宽。作为示例，滤波器200和300可具有600mhz的带宽，4.4ghz的上限频率和5.0ghz的下限频率。

参照图5a，滤波器200可包括串联谐振器se1至se4和并联谐振器sh1至sh4。串联谐振器se1至se4对应于包括在图1的不同串联部件中的配置，多个并联谐振器sh1至sh4对应于包括在图1的滤波器10的不同并联部件中的配置，并且串联谐振器se1至se4和并联谐振器sh1至sh4中的每个可以是体声波谐振器。串联谐振器se1至se4中的每个的固有谐振频率和固有反谐振频率之间的差可等于并联谐振器sh1至sh4中的每个的固有谐振频率和固有反谐振频率之间的差。

串联谐振器se1至se4可设置在输入端子rfin和输出端子rfout之间。作为示例，第一串联谐振器se1、第二串联谐振器se2、第三串联谐振器se3和第四串联谐振器se4彼此串联连接。

并联谐振器sh1至sh4可设置在输入端子rfin和输出端子rfout之间的不同节点与地之间。作为示例，第一并联谐振器sh1可设置在第一串联谐振器se1和第二串联谐振器se2之间的节点与地之间，第二并联谐振器sh2可设置在第二串联谐振器se2和第三串联谐振器se3之间的节点与地之间，第三并联谐振器sh3可设置在第三串联谐振器se3和第四串联谐振器se4之间的节点与地之间，并且第四并联谐振器sh4可设置在第四串联谐振器se4和输出端子rfout之间的节点与地之间。

在滤波器200中提供的串联谐振器se1至se4中的一部分(例如，至少一个)可具有第一频率特性，而串联谐振器se1至se4中的另一部分可具有与第一频率特性不同的频率特性。并联谐振器sh1至sh4可具有第二频率特性。在下文中，为了便于解释，假设第一串联谐振器se1、第二串联谐振器se2和第四串联谐振器se4具有第一频率特性，而第三串联谐振器se3具有不同于第一频率特性的第三频率特性。

术语“频率特性”可被理解为涉及谐振频率和反谐振频率的术语。作为示例，具有第一频率特性的谐振器可具有第一谐振频率和第一反谐振频率，具有第二频率特性的谐振器可具有第二谐振频率和第二反谐振频率，并且具有第三频率特性的谐振器可具有第三谐振频率和第三反谐振频率。

图6a是示出根据实施例的具有与滤波器中的其它串联谐振器se1、se2和se4的频率特性不同的频率特性的第三串联谐振器se3的频率响应的曲线图。

参照图6a，第一曲线(曲线1)示出了具有第一频率特性的第一串联谐振器se1、第二串联谐振器se2和第四串联谐振器se4的频率响应(z，阻抗)，第二曲线(曲线2)示出了具有第二频率特性的并联谐振器sh1至sh4的频率响应(z，阻抗)，第三曲线(曲线3)示出了具有第三频率特性的第三串联谐振器se3的频率响应(z，阻抗)，并且第四曲线(曲线4)示出了包括串联谐振器se1至se4(其中第三串联谐振器se3具有不同频率特性)和并联谐振器sh1至sh4的滤波器的频率响应(s参数)。

参照图6a，具有第三频率特性的第三串联谐振器se3的频率特性可与具有第二频率特性的并联谐振器sh1至sh4的频率特性类似。作为示例，第三串联谐振器se3的谐振频率和反谐振频率可分别位于并联谐振器sh1至sh4的谐振频率和反谐振频率的参考频率范围内。

作为示例，第三串联谐振器se3的谐振频率和反谐振频率可分别比具有第二频率特性的并联谐振器sh1到sh4的谐振频率和反谐振频率高0mhz到102mhz。

当并联谐振器sh1至sh4的谐振频率是4298mhz时，第三串联谐振器se3的谐振频率可以是4298mhz至4400mhz，优选地是4343mhz。第三串联谐振器se3的谐振频率可位于4298mhz(对应于多个并联谐振器sh1至sh4的谐振频率)与4400mhz(对应于包括串联谐振器se1至se4和并联谐振器sh1至sh4的滤波器的下限频率)之间。

参照图5a的滤波器200，微调电感器lse并联连接到具有第三频率特性的第三串联谐振器se3。作为微调电感器lse并联连接到第三串联谐振器se3的结果，与不包括微调电感器lse的示例相比，第三串联谐振器se3的反谐振频率向右移动，并且高于第一串联谐振器se1、第二串联谐振器se2和第四串联谐振器se4的反谐振频率。随着连接到串联谐振器的微调电感器的电感减小，串联谐振器的反谐振频率向右移动。

图6b是示出根据实施例的图5a的滤波器200的频率响应的曲线图。即，图6b是示出与图6a代表的滤波器相比当微调电感器连接到串联谐振器se3时的频率响应的变化的曲线图。

比较图6a与图6b，当微调电感器lse并联连接到所述第三串联谐振器se3时，所述第三串联谐振器se3的反谐振频率向右移动(如图6b所示)，因此反谐振频率位于通带之外，高于所述通带的上限频率。所述第三串联谐振器se3的所述反谐振频率高于并联谐振器sh1至sh4的反谐振频率。

根据实施例，由于所述第三串联谐振器se3的反谐振频率位于所述通带的上限频率之上，并且所述第三串联谐振器se3的谐振频率位于通带的下限频率的相同水平或所述通带的下限频率以下，因而向所述通带提供电感分量，因此可提供足够的回波损耗。所述微调电感器lse利用所述第三串联谐振器se3的固有电容形成附加衰减带，从而进一步改善衰减特性。

在上述图5a的实施例中，描述了第三串联谐振器se3具有第三频率特性，并且微调电感器lse并联连接到第三串联谐振器se3。然而，可改变具有第三频率特性并且与微调电感器lse并联连接的串联谐振器的数量。作为示例，参照图5b的滤波器300，除了具有第三频率特性的第三串联谐振器se3，第二串联谐振器se2也可具有第三频率特性，并且另一微调电感器lse并联连接到第二串联谐振器se2。

图7a和图7b是根据实施例的滤波器400和500的电路图。根据图7a和图7b的实施例的滤波器400和500类似于根据图5a和图5b的实施例的滤波器200和300。因此，将省略多余的描述，并且将主要描述滤波器400和500中存在的差异。

参照图7a的滤波器400，串联谐振器se1至se4可具有第一频率特性。并联谐振器sh1至sh4中的一部分(例如，一个或更多个)可具有第二频率特性，而并联谐振器sh1至sh4中的另一部分可具有与第二频率特性不同的频率特性。在下文中，为了便于说明，假设第一并联谐振器sh1、第二并联谐振器sh2和第四并联谐振器sh4具有第二频率特性，而第三并联谐振器sh3具有与第二频率特性不同的第四频率特性。

图8a是示出根据实施例的具有与滤波器中的其它并联谐振器sh1、sh2和sh4的频率特性不同的频率特性的第三并联谐振器sh3的频率响应的曲线图。

第一曲线(曲线1)示出了具有第一频率特性的串联谐振器se1至se4的频率响应，第二曲线(曲线2)示出了具有第二频率特性的第一并联谐振器sh1、第二并联谐振器sh2和第四并联谐振器sh4的频率响应(z，阻抗)，第三曲线(曲线3)示出了具有第四频率特性的第三并联谐振器sh3的频率响应(z，阻抗)，并且第四曲线(曲线4)示出了包括串联谐振器se1至se4和并联谐振器sh1至sh4(其中第三并联谐振器sh3具有不同频率特性)的滤波器的频率响应(s参数)。

参照图8a，具有第四频率特性的第三并联谐振器sh3的频率特性可与具有第一频率特性的串联谐振器se1至se4的频率特性类似。作为示例，第三并联谐振器sh3的谐振频率和反谐振频率可分别位于串联谐振器se1至se4的谐振频率和反谐振频率的参考频率范围内。

作为示例，第三并联谐振器sh3的谐振频率和反谐振频率可分别比串联谐振器se1至se4的谐振频率和反谐振频率低0mhz至269mhz。

当串联谐振器se1至se4的谐振频率是4969mhz时，第三并联谐振器sh3的谐振频率可以是4700mhz至4969mhz，优选地是4805mhz。第三并联谐振器sh3的谐振频率可位于4700mhz(对应于包括串联谐振器se1至se4和并联谐振器sh1至sh4的滤波器的中心频率)和4969mhz(对应于串联谐振器se1至se4的谐振频率)之间。

参照图7a的滤波器400，微调电感器lsh串联连接到具有第四频率特性的第三并联谐振器sh3。微调电感器lsh串联连接到第三并联谐振器sh3，因此与不包括微调电感器lsh的示例相比，第三并联谐振器sh3的谐振频率向左移动。随着连接到并联谐振器的微调电感器的电感增大，并联谐振器的谐振频率向左移动。

图8b是示出根据实施例的图7a的滤波器400的频率响应的曲线图。即，图8b是示出与图8a代表的滤波器相比当微调电感器连接到并联谐振器sh3时的频率响应的变化的曲线图。

比较图8a与图8b，当微调电感器lsh串联连接到第三并联谐振器sh3时，第三并联谐振器sh3的谐振频率向左移动(如图8b中所示)，因此第三并联谐振器sh3的谐振频率位于通带之外，低于通带的下限频率。第三并联谐振器sh3的谐振频率低于串联谐振器se1至se4的谐振频率。

根据实施例，由于第三并联谐振器sh3的谐振频率位于通带的下限频率以下，并且第三并联谐振器sh3的反谐振频率位于通带的上限频率的相同水平或高于通带的上限频率，因而电感分量被提供给通带，从而可提供足够的回波损耗。微调电感器lsh与第三并联谐振器sh3的固有电容形成附加衰减带，从而进一步改善衰减特性。

在上述图7a的实施例中，描述了第三并联谐振器sh3具有第四频率特性，并且微调电感器lsh串联连接到第三并联谐振器sh3。然而，可改变具有第四频率特性并且与微调电感器lsh串联连接的并联谐振器的数量。作为示例，参照图7b的滤波器500，除了具有第四频率特性的第三并联谐振器sh3，第二并联谐振器sh2也可具有第四频率特性，并且另一微调电感器lsh串联连接到第二并联谐振器sh2。

图9是根据实施例的滤波器600的电路图。

滤波器600对应于根据图5a的实施例的滤波器200和根据图7a的实施例的滤波器400的组合，因此，将省略对滤波器600的详细描述。

滤波器600使用具有第三频率特性并且与微调电感器lse并联连接的第三串联谐振器se3和具有第四频率特性并且与微调电感器lsh串联连接的第三并联谐振器sh3，向通带提供电感分量，从而进一步改善了回波损耗特性。

图10示出了根据实施例的仿真数据。

在图10中，第一曲线(曲线1)示出了串联谐振器具有第一频率特性并且并联谐振器具有第二频率特性的比较示例的频率响应，第二曲线(曲线2)示出了根据图5a的实施例的滤波器或根据图7a的实施例的滤波器的频率响应，第三曲线(曲线3)示出了根据图9的实施例的滤波器的频率响应，并且第四曲线(曲线图4)示出了在图9的实施例中第三串联谐振器se3的谐振频率为4343mhz并且第三并联谐振器sh3的谐振频率为4805mhz的示例中的频率响应。

参照第一曲线(曲线1)，可确认由于谐振频率和反谐振频率之间的频率间隔窄(例如，大约200mhz)的谐振器的特性而发生过度的插入损耗。参照第二曲线(曲线2)，与第一曲线(曲线1)相比，由于具有第三频率特性并且与微调电感器lse并联连接的第三串联谐振器se3或者具有第四频率特性并且与微调电感器lsh串联连接的第三并联谐振器sh3，因此第二曲线(曲线2)可确保足够的回波损耗。

另外，参照第三曲线(曲线3)，通过使用具有第三频率特性并且与微调电感器lse并联连接的第三串联谐振器se3和具有第四频率特性并且与微调电感器lsh串联连接的第三并联谐振器sh3，可更有效地改善插入损耗。参照第四曲线(曲线4)，通过使用优化的第三串联谐振器se3的谐振频率和第三并联谐振器sh3的谐振频率有效地改善大约4.4ghz至5.0ghz的通带中的插入损耗特性和回波损耗特性，可改善带通特性。

如上所述，根据在此公开的实施例，滤波器可改善通带中的插入损耗特性和回波损耗特性以实现宽带特性。

虽然本公开包括具体示例，但在理解本申请的公开内容之后将明显的是，在不脱离权利要求及其等同物的精神及范围的情况下，可对这些示例做出形式和细节上的各种改变。在此描述的示例将仅被理解为描述性意义，而非出于限制的目的。在每个示例中的特征或方面的描述将被理解为可适用于其它示例中的相似的特征或方面。如果按照不同的顺序执行描述的技术，和/或如果按照不同的方式组合描述的系统、架构、装置或电路中的组件和/或通过其它组件或它们的等同物替换或增补描述的系统、架构、装置或电路中的组件，则可获得合适的结果。因此，本公开的范围并不由具体实施方式限定，而是由权利要求及其等同物限定，在权利要求及其等同物的范围之内的全部变型将被解释为包括在本公开中。