技术总结
本发明公开了一种具有保护功能的MOCVD加热器源，包括MOCVD加热器源本体、底座、支撑腿、底板、第一电动推杆、连接框、滚轴、滚筒、垫板、第二电动推杆、顶壳、通孔、导流板、气泵、注气管、喷嘴、排气壳、固定架、抽风机和排气管。该种具有保护功能的MOCVD加热器源结构简单、设计新颖，便于工作者调节连接框的位置，进而便于移动MOCVD加热器源，方便工作者移动MOCVD加热器源，满足工作者的使用需求，便于使用，通过设置的冷却机构的作用下，便于通过气泵加速加热丝表面的空气流动，便于将加热丝表面的热量气体导出，提高加热丝表面的散热效果，便于加热丝降温，便于使用。
技术研发人员：石启磊;陈淼淼;刘同武
受保护的技术使用者：江苏实为半导体科技有限公司
技术研发日：2019.11.14
技术公布日：2020.02.18