RF滤波器装置的制作方法

文档序号:24126303发布日期:2021-03-02 13:44阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种rf滤波器装置,包括:-谐振器结构和另一电路,其中-所述谐振器结构包括有源结构和声镜,-所述有源结构包括底部电极、顶部电极、以及在所述底部电极与所述顶部电极之间的压电材料,-所述声镜被布置在所述有源结构和所述另一电路之间。2.根据前述权利要求所述的装置,其中所述声镜建立电磁屏蔽。3.根据前述权利要求所述的装置,其中所述声镜是导电的、并且被连接到接地电位。4.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中,-所述声镜包括第一声阻抗的一个或多个层、以及第二声阻抗的一个或多个层,所述第二声阻抗大于所述第一声阻抗,并且-所述第一声阻抗的所述层和所述第二声阻抗的所述层包括金属。5.根据前述权利要求所述的装置,其中选自所述第一声阻抗和所述第二声阻抗的声阻抗的所述层的材料具有al的电导率、或更高的电导率。6.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中,-选自所述第一声阻抗和所述第二声阻抗的声阻抗的所述层的材料包括以下项或由以下项组成:al、诸如alcu的al合金、cu或诸如cunb的cu合金、sio2或sioc,并且-相应的另一声阻抗的所述层的材料包括以下项或由以下项组成:w、au、pt、aln、ta2o5。7.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中所述另一电路包括:-无源电路元件、阻抗元件、电容元件、电阻元件、lc电路、lcr电路,和/或-有源电路元件、开关、rf开关、逻辑电路,和/或-另一谐振器、另一电声谐振器和/或rf滤波器。8.根据前述权利要求中的一项所述的装置,-还包括附加声镜,其中-所述有源结构被布置在所述声镜与所述附加声镜之间。9.根据前述权利要求所述的装置,-还包括附加电路,其中-所述附加声镜被布置在所述有源结构与所述附加电路元件之间。10.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中所述谐振器结构和所述另一电路被单片集成。11.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中所述谐振器结构和所述另一电路建立带通滤波器或带阻滤波器。12.根据前述权利要求中的一项所述的装置,其中所述谐振器结构和所述另一电路被布置在载体上。13.根据前述权利要求中的一项所述的装置是软件可配置的rf滤波器。
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