谐振器以及配备有上述谐振器的滤波器以及双工器的制作方法

1.本申请中所公开的技术涉及一种弹性表面波(surface acoustic wave：saw)谐振器以及利用上述谐振器的滤波器以及双工器。


背景技术：

2.谐振器(弹性表面波谐振器)通常包括配置在信号线与信号线之间的串联谐振器以及配置在信号线与接地之间的并联谐振器。
3.图1是对适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性进行比较图示的示意图。在图1中，横轴代表频率(mhz)，纵轴(右侧)代表并联谐振器的实体部件的特性，而纵轴(左侧)代表配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性。
4.如图1所示，在适用现有技术的并联谐振器的特性a中，在半谐振点以上的频带(特定频带)生成的响应b发生劣化。因此，在利用上述并联谐振器的弹性表面波设备中，尤其是在如宽频带的滤波器以及双工器等设备中，因为通频带会与上述特定频带重叠，因此在如上所述的设备的上述特定频带中会有插入损耗(insertion loss)c发生劣化的问题存在。
5.先行技术文献
6.专利文献
7.(专利文献1)韩国公开专利第(10)-(20)17-0111269号((20)17.(10).12.)
8.专利内容
9.本发明的目的在于提供一种性能得到提升的谐振器(弹性表面波谐振器)。
10.本发明的技术课题并不限定于在上述内容中提及的技术课题，一般的技术人员将能够通过下述记载进一步明确理解未被提及的其他技术课题。
11.适用本发明之一态样的配备有叉指式换能器的谐振器，上述叉指式换能器，包括：1个主电极区域，在压电基板上利用基准间距以梳齿状形成且具有沿长度方向的单位长度；以及，一对第1电极区域，包括在上述压电基板上利用从上述基准间距增加第1值的第1增加间距以梳齿状形成且具有上述单位长度的一侧第1电极区域，以及在上述压电基板上利用从上述基准间距减少与上述第1值几乎相同的值的第1减小间距以梳齿状形成且具有上述单位长度的另一侧第1电极区域。
12.通过本发明，可以提供性能得到提升的谐振器(弹性表面波谐振器)，从而可以在搭载有如上所述的谐振器的滤波器以及双工器等的弹性表面波设备特性上减少插入损耗。
13.本发明的效果并不限定于在上述内容中提及的效果，一般的技术人员将能够通过下述记载进一步明确理解未被提及的其他效果。
附图说明
14.图1是对适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性进行比较图示的示意图。
15.图2是对配备有适用一实施形态的谐振器的弹性表面波设备(滤波器)1的构成的一实例进行图示的模式图。
16.图3是对图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的构成的一实例与使用现有技术的并联谐振器进行比较图示的模式图。
17.图4a是对适用图3中所图示的一实施形态的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性进行比较图示的示意图。
18.图4b是对适用图3中所图示的一实施形态的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
19.图5是对可以适用于图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器20的叉指式换能器(idt)中的间距的具体实例进行图示的示意图。
20.图6a是对配备有适用图5中所图示的实施形态1的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
21.图6b是对配备有适用图5中所图示的实施形态1的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
22.图7a是对配备有适用图5中所图示的实施形态2的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
23.图7b是对配备有适用图5中所图示的实施形态2的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗之后)进行比较图示的示意图。
24.图8a是对配备有适用图5中所图示的实施形态3的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
25.图8b是对配备有适用图5中所图示的实施形态3的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
26.图9a是对配备有适用图5中所图示的实施形态4的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
27.图9b是对配备有适用图5中所图示的实施形态4的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
28.图10a是对配备有适用图5中所图示的实施形态5的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
29.图10b是对配备有适用图5中所图示的实施形态5的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
30.图11a是对配备有适用图5中所图示的实施形态6的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。
31.图11b是对配备有适用图5中所图示的实施形态6的并联谐振器的弹性表面波设备
的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
32.图12是对适用于图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的间距的具体实例进行图示的模式图。
33.图13是对适用于图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的间距的另一具体实例进行图示的模式图。
34.【符号说明】
35.1：弹性表面波设备
36.5、10：压电基板
37.20：谐振器
38.6、30：叉指式换能器(idt)
39.7a、7b、40a、40b：反射器。
具体实施方式
40.接下来，将参阅附图对本发明的多种实施形态进行说明。同时，在附图中为相同的构成要素分配了相同的参考编号。而且，需要注意的是，在附图中显示的构成要素可能会为了说明的便利而在其他附图中进行省略。此外，需要注意的是，附图可能并没有按照准确的比例尺进行图示。
41.除非另有明确的定义，否则在本说明书中所使用的所有术语(包括技术以及科学性术语)的含义与具有本发明所属技术领域之一般知识的人员所普遍理解的含义相同。此外，除非另有明确的定义，否则不应对通常所使用的已在词典中做出定义的术语进行过于理想化或夸张的解释。本说明书中所使用的术语只是用于对实施例进行说明，并不是为了对本发明做出限制。在本说明书中，除非另有明确的提及，否则单数型语句还包含复数型含义。
42.在本说明书中所使用的“包含(comprises)”和/或“包括(comprising)”并不排除所提及的构成要素、步骤和/或动作之外的一个以上的其他构成要素、步骤和/或动作存在或被追加的可能性。
43.1.配备有适用一实施例的谐振器的设备的构成
44.图2是对配备有适用本发明之一实施例的谐振器的弹性表面波设备(滤波器)1的构成的一实例进行图示的模式图。
45.如图2所示，弹性表面波设备1可以包括形成于压电基板10上的至少1个谐振器20。具体来讲，弹性表面波设备1可以包括如6个谐振器20a～20f。各个谐振器20可以包括配置在信号线与信号线之间的串联谐振器和/或配置在信号线与接地之间的并联谐振器。在图2所图示的实例中，例如谐振器20a是配置在信号线与接地之间的并联谐振器，谐振器20b是配置在信号线与信号线之间的串联谐振器。
46.此外，在图2中以弹性表面波设备1是滤波器(带通滤波器)的情况为例进行了图示，但是弹性表面波设备1也可以是双工器。
47.2.谐振器20的构成
48.接下来，将参阅图3对配置在信号线与接地之间的并联谐振器的构成的一实例进
行说明。
49.图3是对图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的构成的一实例与使用现有技术的并联谐振器进行比较图示的模式图。
50.在图3的左上侧，对适用现有技术的并联谐振器的上侧面进行了图示，而在左下侧，对包含于上述并联谐振器中的叉指式换能器(inter digital transducer：idt)(以下称之为“叉指式换能器(idt)”)的间距进行了图示。此外，在图3的右上侧，对适用本发明之一实施例的串联谐振器的上侧面进行了图示，而在右下侧，对包含于上述串联谐振器中的叉指式换能器(idt)的间距进行了图示。
51.首先，适用现有技术的并联谐振器如图3的左上侧所示，包括：1个叉指式换能器(idt)6，在压电基板5上沿长度(较长的)方向d延伸形成；1个反射器(reflector)7a，在压电基板5上以与叉指式换能器(idt)6的一端6a相向并与上述一端6a相隔一定距离的方式形成；以及，1个反射器(reflector)7b，在压电基板5上以与叉指式换能器(idt)6的另一端6b相向并与上述另一端6b相隔一定距离的方式形成。如图5的左下侧所示，叉指式换能器(idt)6沿长度方向d的间距相同(1.385[μm])。
[0052]
此外，适用本发明之一实施例的并联谐振器20，可以包括：1个叉指式换能器(idt)30，在压电基板10上沿长度方向d延伸形成并构成梳齿状电极；1个反射器(reflector)40a，在压电基板10上以与叉指式换能器(idt)30的一端30a相向并与上述一端30a相隔一定距离的方式形成；以及，1个反射器(reflector)40b，在压电基板10上以与叉指式换能器(idt)30的另一端30b相向并与上述另一端30b相隔一定距离的方式形成。
[0053]
在本实施例中，叉指式换能器(idt)30如图3的右上侧所示，可以包括沿长度方向d配置的3个区域即i、ii以及iii。区域i、ii以及ii1分别构成以梳齿状形成的电极。区域i包括(形成)叉指式换能器(idt)30的一端30a，区域iii包括叉指式换能器(idt)30的另一端30b，而区域ii配置在区域i与区域iii之间。区域i、ii以及iii可以分别具有沿长度方向d的单位长度。其中，单位长度是通过将从叉指式换能器30的一端30a开始到另一端30b为止的沿长度方向d的长度3等分而获得的长度。
[0054]
如图3的右下侧所示，区域ii是利用基准间距(例如约1.385[μm])以梳齿状形成且具有沿长度方向d的单位长度的1个电极区域(主电极区域)。区域ii沿长度方向d的基准间距相同(例如约1.385[μm])。
[0055]
区域iii是利用从基准间距增加第1值(例如约0.013[μm])的第1增加间距以梳齿状形成且具有沿长度方向d的单位长度的1个电极区域(一侧第1电极区域)。区域iii沿长度方向d的第1增加间距相同(例如约1.398[μm])。
[0056]
区域i是利用从基准间距减少与第1值(例如约0.013[μm])几乎相同的值的第1减少间距以梳齿状形成且具有沿长度方向d的单位长度的1个电极区域(另一侧第1电极区域)。区域i沿长度方向d的第1减少间距相同(例如约1.372[μm])。
[0057]
如上所述，适用本发明之一实施例的并联谐振器，可以利用配备有包括具有基准间距的主电极区域(区域ii)、具有从基准间距增加第1值的第1增加间距的一侧第1电极区域(区域iii)以及具有从基准间距减少与第1值几乎相同的值的第1减少间距的另一侧第1电极区域(区域i)的一对第1电极区域的叉指式换能器30替代从叉指式换能器(idt)的一端开始到另一端为止沿长度方向d具有相同间距的叉指式换能器(idt)。
[0058]
接下来，将参阅图4a以及图4b对可以通过采用如上所述构成的叉指式换能器(idt)30而达成的效果进行说明。图4a是对适用图3中所图示的一实施例的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性进行比较图示的示意图。图4b是对适用图3中所图示的一实施例的并联谐振器的实体部件的特性与配备有上述并联谐振器的弹性表面波设备(滤波器)的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0059]
在表面弹性波元件滤波器(saw filter)的损耗(loss)中，包括：i)因为电极以及布线的单纯电阻而导致的损耗(loss)；ii)因为封入到谐振器内部的表面弹性波元件(saw)的整体能量的泄漏而导致的损耗(loss)；以及，iii)因为阻抗匹配(impedance matching)的差异而导致的损耗(loss)等；在此，将从上述损耗(loss)中减去第3个损耗(loss)之外(假定在所有频带中的阻抗为50ω)的状态定义为错配损耗(miss-matching loss)。
[0060]
在图4a以及图4b中，横轴代表频率([mhz])，纵轴(左侧)代表并联谐振器20的实体部件的特性([db])，而纵轴(右侧)代表配备有上述并联谐振器20的弹性表面波设备的特性([db])。
[0061]
如图4a以及图4b所示，在适用一实施例的并联谐振器20的实体部件20的特性(在图中是以虚线表示)中发生劣化的响应的频带100a，偏移到了比在适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性(在图中是以实线表示)中发生劣化的响应的频带10a更高的频带上。因此，在适用一实施例的并联谐振器20的实体部件的特性中，可以对在适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性中发生劣化的频带10a中发生劣化的(至少一部分)现象进行抑制。
[0062]
其中，在适用一实施例的并联谐振器20的实体部件的特性上发生劣化的频带100a，比配备有上述并联谐振器20的弹性表面波设备(滤波器)1的通频带更高。即，是弹性表面波设备1的衰减频带。因此，在配备有上述并联谐振器20的弹性表面波设备1的特性(在图中是以实线表示)上的插入损耗100b，可以与配备有适用现有技术的并联谐振器的弹性表面波设备的特性(在图中是以虚线表示)的插入损耗10b相比得到抑制。
[0063]
图3中所图示的各个区域使用的间距，只是单纯的一实例。接下来，将参阅图5对具体的间距的选择方法进行说明。图5是对可以适用于图2中所例示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器20的叉指式换能器(idt)中的间距的具体实例进行图示的示意图。
[0064]
首先，3个区域i～iii中的1个区域将成为主电极区域。剩余的2个区域中的一侧区域将成为一侧第1电极区域，而另一侧区域将成为另一侧第1电极区域。一侧第1电极区域以及另一侧第1电极区域将构成一对第1电极区域。
[0065]
主电极区域具有基准间距。一侧第1电极区域具有从基准间距增加第1值的第1增加间距，而另一侧第1电极区域具有从基准间距减少与第1值几乎相同的值的第1减少间距。
[0066]
通过遵守如上所述的规则，可以构成如图5所示的6个实施形态。
[0067]
首先，在实施形态1中，如图3所示，区域ii将成为具有基准间距的主电极区域，区域iii将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域i将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0068]
在实施形态2中，区域ii将成为具有基准间距的主电极区域，区域i将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域iii将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0069]
在实施形态3中，区域i将成为具有基准间距的主电极区域，区域ii将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域iii将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0070]
在实施形态4中，区域i将成为具有基准间距的主电极区域，区域iii将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域ii将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0071]
在实施形态5中，区域iii将成为具有基准间距的主电极区域，区域ii将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域i将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0072]
在实施形态6中，区域iii将成为具有基准间距的主电极区域，区域i将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，而区域ii将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域。
[0073]
在采用实施形态2～6的任一个的情况下，与在上述内容中结合实施形态1(图3)进行的说明相同，并联谐振器20的实体部件的特性上发生劣化的响应的频带，也将偏移到比在适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性中发生劣化的响应的频带更高的频带上。因此，在适用各实施形态的并联谐振器20的实体部件的特性中，可以对在适用现有技术的并联谐振器的实体部件的特性中发生劣化的频带10a中发生劣化的(至少一部分)现象进行抑制。
[0074]
其结果，在配备有适用各实施形态的并联谐振器20的弹性表面波特性上的插入损耗，可以与配备有适用现有技术的并联谐振器的弹性表面波设备的插入损耗相比(至少一部分)得到抑制。接下来，将参阅图6a～图11b对如上所述的效果进行说明。
[0075]
图6a是对配备有适用图5中所图示的实施形态1的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图6b是对配备有适用图5中所图示的实施形态1的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0076]
图7a是对配备有适用图5中所图示的实施形态2的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图7b是对配备有适用图5中所图示的实施形态2的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0077]
图8a是对配备有适用图5中所图示的实施形态3的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图8b是对配备有适用图5中所图示的实施形态3的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0078]
图9a是对配备有适用图5中所图示的实施形态4的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图9b是对配备有适用图5中所图示的实施形态4的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0079]
图10a是对配备有适用图5中所图示的实施形态5的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图10b是
对配备有适用图5中所图示的实施形态5的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0080]
图11a是对配备有适用图5中所图示的实施形态6的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性进行比较图示的示意图。图11b是对配备有适用图5中所图示的实施形态6的并联谐振器的弹性表面波设备的特性与配备有适用现有技术的弹性表面波设备的特性(减去错配损耗(miss-matching loss)之后)进行比较图示的示意图。
[0081]
在图6a～图11b中，实线代表配备有适用各实施形态的并联谐振器的弹性表面波设备的特性，而虚线代表配备有适用现有技术的并联谐振器的弹性表面波设备的特性。
[0082]
如图所示，配备有适用各实施形态的并联谐振器的弹性表面波设备的通频带中的高频带一侧的插入损耗，与配备有适用现有技术的并联谐振器的弹性表面波设备的通频带中的高频带一侧的插入损耗相比得到了抑制。虽然在不同的实施形态中，插入损耗的改善程度以及频带有所不同，但是在所有的实施形态中都至少有一部分插入损耗得到了抑制。
[0083]
4.扩展例
[0084]
在参阅图3进行说明的实施形态中，对通过沿长度方向d将从叉指式换能器(idt)30的一端30a开始到另一端30b为止的长度3等分而获得的叉指式换能器(idt)30中包括区域i、ii以及iii等3个区域(具有几乎相同的单位长度的3个区域)的情况进行了说明。但是，本申请中所公开的技术也同样可以适用于通过如沿长度方向d将从叉指式换能器(idt)30的一端30a开始到另一端30b为止的长度5等分(7等分或9等分)而获得包括5个区域(7个区域或9个区域)的叉指式换能器(idt)30的情况。即，本申请中所公开的技术也同样可以适用于通过如沿长度方向d将从叉指式换能器(idt)30的一端30a开始到另一端30b为止的长度奇数等分而获得包括奇数个区域(具有几乎相同的单位长度的奇数个区域)的叉指式换能器(idt)30的情况。
[0085]
在如上所述的情况下，各个区域所具有的间距将按照如下所述的规则决定。
[0086]
(1)奇数个区域中的某1个区域将成为主电极区域。剩余的区域中的某2个任意区域将成为一对第1电极区域。此外，剩余的区域中的某2个任意区域将成为一对第2电极区域。进而，剩余的区域中的某2个任意区域将成为一对第3电极区域。此外，剩余的任意区域将成为第4电极区域。如上所述的处理将重复至没有剩余的区域存在。
[0087]
(2)主电极区域具有基准间距。基准间距d可以通过公式d＝λ
÷
2决定。其中，λ是在压电基板10中传播的表面弹性波的波长，将根据构成压电基板10的材料以及加载电压v决定。
[0088]
(3)一对第1电极区域中的一侧第1电极区域，具有从基准间距增加第1值(适当决定)的第1增加间距。此外，一对第1电极区域中的另一侧第1电极区域，具有从基准间距减少与第1值几乎相同的值的第1减少间距。此时，与第1值几乎相同的值，是在第1值的80％～120％的范围之内，较佳地是在第1值的90％～110％的范围之内，更较佳地是与第1值完全相同的值。
[0089]
(4)一对第2电极区域中的一侧第2电极区域，具有从基准间距增加第2值(适当决定)的第2增加间距。此外，一对第2电极区域中的另一侧第2电极区域，具有从基准间距减少
与第2值几乎相同的值的第2减少间距。此时，第2值是与第1值不同的值，是大于或小于第1值的值。此时，与第2值几乎相同的值，是在第2值的80％～120％的范围之内，较佳地是在第2值的90％～110％的范围之内，更较佳地是与第2值完全相同的值。
[0090]
(5)一对第3电极区域中的一侧第3电极区域，具有从基准间距增加第3值(适当决定)的第3增加间距。此外，一对第3电极区域中的另一侧第3电极区域，具有从基准间距减少与第3值几乎相同的值的第3减少间距。此时，第3值是与第1值以及第2值不同的值，是大于或小于第1值以及第2值的值。此时，与第3值几乎相同的值，是在第3值的80％～120％的范围之内，较佳地是在第3值的90％～110％的范围之内，更较佳地是与第3值完全相同的值。
[0091]
(6)一对第4电极区域中的一侧第4电极区域，具有从基准间距增加第4值(适当决定)的第4增加间距。此外，一对第4电极区域中的另一侧第4电极区域，具有从基准间距减少与第4值几乎相同的值的第4减少间距。此时，第4值是与第1值～第3值不同的值，是大于或小于第1值～第3值的值。此时，与第4值几乎相同的值，是在第4值的80％～120％的范围之内，较佳地是在第4值的90％～110％的范围之内，更较佳地是与第4值完全相同的值。
[0092]
(7)进而，在有一对第5电极区域等存在的情况下，一对第5电极区域所具有的间距也可以按照与如上所述的一对第2电极区域～一对第4电极区域相同的方式决定。
[0093]
接下来，将对在如上所述的扩展例中叉指式换能器(idt)30包括如区域i～区域v等5个区域的情况下决定间距的方法进行说明。
[0094]
图12是对适用于图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的间距的具体实例进行图示的模式图。图13是对适用于图2中所图示的弹性表面波设备1中所使用的并联谐振器的间距的另一具体实例进行图示的模式图。
[0095]
在图12以及图13中，通过沿长度方向d将从叉指式换能器(idt)30的一端30a开始到另一端30b为止的长度5等分，叉指式换能器(idt)30将包括区域i、ii、iii、iv以及v等5个区域。
[0096]
参阅图12，区域iii将成为具有基准间距的主电极区域，区域iv将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，区域ii将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域，区域v将成为具有第2增加间距的一侧第2电极区域，而区域i将成为具有第2减少间距的另一侧第2电极区域。
[0097]
第1增加间距p1是从基准间距p0增加第1值的值。第1减少间距p-1
是从基准间距p0减少第1值的值。此外，第2增加间距p2是从基准间距p0增加第2值的值。第2减少间距p-2
是从基准间距p0减少第2值的值。
[0098]
相对于此，参阅图13，区域ii将成为具有基准间距的主电极区域，区域iv将成为具有第1增加间距的一侧第1电极区域，区域v将成为具有第1减少间距的另一侧第1电极区域，区域i将成为具有第2增加间距的一侧第2电极区域，而区域iii将成为具有第2减少间距的另一侧第2电极区域。
[0099]
各个间距可以按照与图12中所图示的实例相同的方法决定。具体来讲，第1增加间距p1是从基准间距p0增加第1值的值。第1减少间距p-1
是从基准间距p0减少第1值的值。此外，第2增加间距p2是从基准间距p0增加第2值的值。第2减少间距p-2
是从基准间距p0减少第2值的值。
[0100]
5.与压电基板10以及并联谐振器20相关的实施例
[0101]
在上述多个实施形态中，作为压电基板10以及并联谐振器20采用的如下所述的构成。此外，如下所述的构成只是单纯的一实例，可以根据所需要的条件对如下所述的构成进行适当的变更。
[0102]
(a)压电基板10
[0103]
基板材料：litao3；
[0104]
切角：42度；
[0105]
(2)并联谐振器20
[0106]
叉指式换能器(idt)的材料：alcu；
[0107]
叉指式换能器(idt)的厚度：275[nm]；
[0108]
基准间距：1.385[μm].
[0109]
第1值：0.013[μm](通过从基准间距增加或减少本第1值而获得第1增加间距或第1减少间距)；
[0110]
反射器的间距：1.385[μm]；
[0111]
孔径[λ]：17；
[0112]
各个叉指式换能器(idt)的插指对数量：58.5；
[0113]
叉指式换能器(idt)以及反射器的负荷(duty)：0.52；
[0114]
在上述内容中结合附图对本发明的实施例进行了说明，但是具有本发明所属技术领域之一般知识的人员应能够理解，本发明可以在不对其技术思想或必要特征进行变更的情况下以其他具体的形态实施。但是，在上述内容中记述的实施例在所有方面应理解为示例性目的而非限定。