一种晶圆生产时用微环境控制系统的制作方法

本实用新型涉及晶圆生产技术相关领域，具体是一种晶圆生产时用微环境控制系统。

背景技术：

晶圆指制造半导体晶体管或集成电路的衬底(也叫基片)，由于是晶体材料，其形状为圆形，所以称为晶圆，衬底材料有硅、锗、gaas、inp、gan等，由于硅最为常用，如果没有特别指明晶体材料，通常指硅晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品，晶圆生产，近年来由于半导体科技的快速发达，使得晶圆的尺寸由早期的5寸、6寸、8寸及至目前的12寸，而相对于该晶圆尺寸的增加亦即代表着晶片产能的提高及成本的降低，而随着不同的晶圆尺寸的发展时代，相对的便会具有用来制作该时代晶圆的生产设备，晶圆生产时用微环境控制系统需要通过相应的装置进行配合使用，因此，晶圆生产时用微环境控制显得尤为重要。

当进行使用时，由于晶圆生产需要使用相应的控制装置进行配合，在长期工作后，内部壳体势必会产生热量，以往内部虽安装散热扇，但结构体与其配合散热效果一般，难以在侧端形成便于引导热量排出的配合结构，且气流调节导向效果一般。

技术实现要素：

(一)解决的技术问题

因此，为了解决上述不足，本实用新型在此提供一种晶圆生产时用微环境控制系统。

(二)技术方案

本实用新型是这样实现的，构造一种晶圆生产时用微环境控制系统，该装置包括内置显示屏、左抓把、面板、按键、开关钮、控制座、右抓把、顶嵌口、散热机构和拧动圈，所述内置显示屏紧固安装于控制座上，所述左抓把、右抓把锁固安装于控制座左右侧端，所述面板嵌入安装有按键，所述按键位于开关钮左侧，所述顶嵌口预制设于控制座上，所述拧动圈装设于控制座左侧面上，所述散热机构嵌入安装于控制座内，所述散热机构包括外壳、内散热口、大散热硅胶、大导热片、转动柱、出风口、小导热片、小散热硅胶和调节组件，所述外壳右侧预制设有内散热口，所述内散热口与控制座内部相贯通，所述大散热硅胶左侧面粘接安装于大导热片上，所述大导热片通过转动柱转动安装于外壳内，所述出风口预制设于外壳左侧面上，所述小导热片上粘接安装有小散热硅胶，所述调节组件右侧面与大导热片相贴合。

优选的，所述调节组件包括螺纹杆、内螺纹座和垫片，所述螺纹杆左侧与拧动圈相焊接，所述螺纹杆与内螺纹座螺纹连接，所述螺纹杆右侧紧固安装有垫片，所述垫片位于控制座内部。

优选的，所述控制座包括控制座主体、第一定板、第二定板、防滑内板和抓把口，所述控制座主体内插接固定有第一定板，所述第二定板与第一定板结构相同，所述第二定板上贴合安装有防滑内板，所述抓把口与控制座主体为一体化结构，所述抓把口上紧固有左抓把。

优选的，所述转动柱为圆柱体结构，所述大散热硅胶的厚度大于五毫米。

优选的，所述大散热硅胶呈z字形安装设置，所述小散热硅胶呈z字形安装设置。

优选的，所述螺纹杆与控制座螺纹连接。

优选的，所述内散热口为长方形开口，所述出风口为长方形开口。

优选的，所述外壳上从上至下依次安装设有大导热片、小导热片，所述调节组件与外壳的安装夹角为九十度。

优选的，所述右抓把为塑料制成，绝缘性好、质量轻。

优选的，所述转动柱为不锈钢制成，防锈性强。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆生产时用微环境控制系统，具备以下有益效果：

优点1：本实用新型所述一种晶圆生产时用微环境控制系统，通过优化设置了散热机构，在控制座内部侧端加设配合散热的整体结构，大散热硅胶、小散热硅胶本体具有高效散热的作用，大导热片、小导热片形成相应的导流通道，在侧端形成便于引导热量排出的配合结构，使用效果好。

优点2：本实用新型所述一种晶圆生产时用微环境控制系统，通过优化设置了调节组件，简易的螺纹杆在控制座侧端，能够通过拧动拧动圈带动螺纹杆推动大导热片，使其绕转动柱转动调节，气流调节导向效果好。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是本实用新型控制座结构示意图；

图3是本实用新型散热机构结构示意图；

图4是本实用新型侧视图；

图5是本实用新型图3中a处的局部放大图。

其中：内置显示屏-1、左抓把-2、面板-3、按键-4、开关钮-5、控制座-6、右抓把-7、顶嵌口-8、散热机构-9、拧动圈-10、外壳-901、内散热口-902、大散热硅胶-903、大导热片-904、转动柱-905、出风口-906、小导热片-907、小散热硅胶-908、调节组件-909、螺纹杆-9091、内螺纹座-9092、垫片-9093、控制座主体-601、第一定板-602、第二定板-603、防滑内板-604、抓把口-605。

具体实施方式

下面将结合附图1-5对本实用新型进行详细说明，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参考图1、图2和图4，本实用新型通过改进在此提供一种晶圆生产时用微环境控制系统，包括内置显示屏1、左抓把2、面板3、按键4、开关钮5、控制座6、右抓把7、顶嵌口8(图2)、散热机构9(图2)和拧动圈10(图4)，内置显示屏1紧固安装于控制座6上，左抓把2、右抓把7锁固安装于控制座6左右侧端(侧面)，面板3嵌入安装有按键4，按键4位于开关钮5左侧，顶嵌口8预制设于控制座6上，拧动圈10装设于控制座6左侧面上，散热机构9嵌入安装于控制座6内。

请参考图3，散热机构9包括外壳901、内散热口902、大散热硅胶903、大导热片904、转动柱905、出风口906、小导热片907、小散热硅胶908和调节组件909。外壳901右侧预制设有内散热口902，内散热口902与控制座6内部相贯通，大散热硅胶903左侧面粘接安装于大导热片904上。大导热片904通过转动柱905转动安装于外壳901内，便于调节板体的倾斜朝向。出风口906预制设于外壳901左侧面上。小导热片907上粘接安装有小散热硅胶908。调节组件909右侧面与大导热片904相贴合，便于利用垫片9093顶动调节。

如图3所示，大散热硅胶903和大导热片904的结构共同有一段结构朝向出风口906，同样的，小导热片907和小散热硅胶908共同有一段结构朝向出风口906，以便达到更好的导热散热效果。

如图3所示，大散热硅胶903和大导热片904的结构大部分朝向内散热口902，同样的，小导热片907和小散热硅胶908大部分结构朝向内散热口902，以便达到更好的导热散热效果。

结合上述两个方面可知，大散热硅胶903、大导热片904、小导热片907和小散热硅胶908设置在出风口906和内散热口902之间。

请参考图5，进一步的，所述调节组件909包括螺纹杆9091、内螺纹座9092和垫片9093，所述螺纹杆9091左侧与拧动圈10相焊接，所述螺纹杆9091与内螺纹座9092螺纹连接，所述螺纹杆9091右侧紧固安装有垫片9093，所述垫片9093位于控制座6内部。

请参考图4，进一步的，所述控制座6包括控制座主体601、第一定板602、第二定板603、防滑内板604和抓把口605，所述控制座主体601内插接固定有第一定板602，所述第二定板603与第一定板602结构相同，所述第二定板603上贴合安装有防滑内板604，所述抓把口605与控制座主体601为一体化结构，所述抓把口605上紧固有左抓把2。其中，防滑内板604表面粗糙，起到相应的防滑作用。

进一步的，如图3所示，所述转动柱905为圆柱体结构，所述大散热硅胶903的厚度大于五毫米，便于配合在内部形成相应的散热体系。

进一步的，如图3所示，所述大散热硅胶903呈z字形安装设置，所述小散热硅胶908呈z字形安装设置，配合增强散热面积。

进一步的，结合参考图2、图3和图5所述螺纹杆9091与控制座6螺纹连接，配合调节效果好。

进一步的，本实施例中，所述内散热口902为长方形开口，所述出风口906为长方形开口。

进一步的，请参考图3，所述外壳901上从上至下依次安装设有大导热片904、小导热片907，所述调节组件909与外壳901的安装夹角为九十度。

进一步的，所述右抓把7为塑料制成，绝缘性好、质量轻。

进一步的，所述转动柱905为不锈钢制成，防锈性强。

本实用新型通过改进提供一种晶圆生产时用微环境控制系统，工作原理如下；

第一，组合安装时，在控制座主体601(图2)左侧内部设置散热机构9(图2)，在第一定板602、第二定板603嵌入主板以及相应的散热扇(未示出)，散热扇导风散热应朝向增设的散热机构9一侧，使得在散热扇工作时，将控制座主体601内部的热量向左送出；

第二，热量经内散热口902进入外壳901内部，此时，大散热硅胶903、小散热硅胶908具有高效散热的作用，其中，大导热片904能够通过拧动拧动圈10，使得螺纹杆9091与外壳901、内螺纹座9092配合实现在控制座主体601上递进位移，进而推动大导热片904绕转动柱905实现位置的调节，从而实现更好的散热调节；

第三，热量经大导热片904、小导热片907向左送出，最后经出风口906排出；

第四，在控制使用时，按下面板3上按键4、开关钮5进行操作，同时内置显示屏1能够显示相应地操作信息反馈，右抓把7、左抓把2便于进行安装时对控制座6整体地固定。

本实用新型通过改进提供一种晶圆生产时用微环境控制系统，通过优化设置了散热机构9，在控制座6内部侧端加设配合散热的整体结构，大散热硅胶903、小散热硅胶908本体具有高效散热的作用，大导热片904、小导热片907形成相应的导流通道，在侧端形成便于引导热量排出的配合结构，使用效果好；通过优化设置了调节组件909，简易的螺纹杆9091在控制座6侧端，能够通过拧动拧动圈10带动螺纹杆9091推动大导热片904，使其绕转动柱905转动调节，气流调节导向效果好。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点,并且本实用新型使用到的标准零件均可以从市场上购买,异形件根据说明书的和附图的记载均可以进行订制,各个零件的具体连接方式均采用现有技术中成熟的螺栓铆钉、焊接等常规手段，机械、零件和设备均采用现有技术中,常规的型号,加上电路连接采用现有技术中常规的连接方式,在此不再详述。

对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。