一种基于热传递的固晶加热治具的制作方法

文档序号:23842540发布日期:2021-02-03 21:32阅读:109来源:国知局
一种基于热传递的固晶加热治具的制作方法

[0001]
本实用新型涉及一种固晶治具,具体为一种基于热传递的固晶加热治具。


背景技术:

[0002]
传统的固晶过程中,需要在pcb板上进行点胶,使pcb板和晶圆紧密结合在一起,所谓点胶,是一种工艺,也称施胶、涂胶、灌胶、滴胶等,是把电子胶水、油或者其他液体涂抹、灌封、点滴到产品上,让产品起到黏贴、灌封、绝缘、固定、表面光滑等作用。然而,传统固晶点胶时,常会因为胶水量控制不均,导致胶水溢出沾染pcb板造成脏污,影响pcb板的使用功能甚至是废品率。


技术实现要素:

[0003]
针对上述情况,为克服现有技术的缺陷,本实用新型提供了一种固晶效率高,结构简单,运行稳定,无需在pcb板上点胶的基于热传递的固晶加热治具。
[0004]
本实用新型采取的技术方案如下:本实用新型一种基于热传递的固晶加热治具,包括工作台、固晶紧压机构、支撑板、滑杆、自热固晶移动体、固晶支撑板和负压泵,所述支撑板设于工作台上,所述滑杆设于支撑板上,所述支撑板设有四组,所述滑杆包括滑杆一和滑杆二,所述滑杆一和滑杆二两端分别设于两组支撑板之间,所述滑杆一和滑杆二平行设置,所述自热固晶移动体下端对称设有两组凸起块,所述凸起块上设有滑动通孔,所述自热固晶移动体通过滑动通孔滑动设于滑杆上,所述自热固晶移动体上表面开设有安装槽,所述自热固晶移动体为中空腔体,所述自热固晶移动体内设有升降驱动腔和自加热腔,所述自加热腔设于升降驱动腔上方,所述安装槽位于自加热腔上方,所述自加热腔内设有电加热丝,所述升降驱动腔内设有第一气缸,所述第一气缸自由端设有推动板,所述推动板上设有支撑柱,所述支撑柱上端设于贯穿升降驱动腔上壁延伸至升降驱动腔外,所述支撑柱位于安装槽侧边,所述固晶支撑板两侧设于支撑柱上,所述固晶支撑板中部高度大于固晶支撑板两侧高度,所述固晶支撑板上表面位于同一水平面上,且所述固晶支撑板中部下端卡合设于安装槽内,所述固晶支撑板为中空腔体结构,所述固晶支撑板上表面开设有负压吸附孔,所述负压泵设于工作台上,所述负压泵与固晶支撑板之间连接设有负压管,所述负压管设于固晶支撑板中空腔体内且与负压吸附孔连通,用于稳定吸附放置pcb板,所述固晶紧压机构设于工作台上。
[0005]
进一步地,所述固晶紧压机构包括支撑架、第二气缸和压板,所述支撑架设于工作台上表面,所述第二气缸设于支撑架上,所述压板设于第二气缸活动端,且所述压板长度和宽度均与固晶支撑板长度和宽度相等。
[0006]
进一步地,所述安装槽一侧的支撑柱至少设有两组,保证支撑柱对固晶支撑板的支撑稳定性。
[0007]
进一步地,所述电加热丝在自加热腔的腔体内均匀设有多组,保证安装槽表面温度均匀。
[0008]
进一步地,所述固晶支撑板为不锈钢板。
[0009]
进一步地,所述电加热丝为220v的恒温热电偶电加热丝。
[0010]
采用上述结构本实用新型取得的有益效果如下:本方案一种基于热传递的固晶加热治具通过在自热固晶移动体内设置电加热丝,通过热传递实现对放置于自热固晶移动体上的固晶支撑板的加热,从而使放置在固晶支撑板上的晶圆底部的daf胶融化,使晶圆与pcb板胶粘在一起,并通过固晶紧压机构与可以升降的固晶支撑板配合,实时对胶粘在一起的晶圆与pcb板进行固晶,提高了工作效率的同时解决了传统点胶胶水溢出沾染pcb板导致脏污的问题。
附图说明
[0011]
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
[0012]
图1为本实用新型一种基于热传递的固晶加热治具整体整体结构示意图;
[0013]
图2为本实用新型一种基于热传递的固晶加热治具自热固晶移动体的装置示意图;
[0014]
图3为本实用新型一种基于热传递的固晶加热治具固晶支撑板的装置示意图。
[0015]
其中,1、工作台,2、固晶紧压机构,3、支撑板,4、滑杆,5、自热固晶移动体,6、固晶支撑板,7、负压泵,8、凸起块,9、滑动通孔,10、安装槽,11、升降驱动腔,12、自加热腔,13、电加热丝,14、第一气缸,15、推动板,16、支撑柱,17、负压吸附孔,18、负压管,19、支撑架,20、第二气缸,21、压板。
具体实施方式
[0016]
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例;基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
[0017]
需要说明的是,下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向,词语“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0018]
如图1~3所示,本实用新型一种基于热传递的固晶加热治具,包括工作台1、固晶紧压机构2、支撑板3、滑杆4、自热固晶移动体5、固晶支撑板6和负压泵7,支撑板3设于工作台1上,滑杆4设于支撑板3上,支撑板3设有四组,滑杆4包括滑杆一和滑杆二,滑杆一和滑杆二两端分别设于两组支撑板3之间,滑杆一和滑杆二平行设置,自热固晶移动体5下端对称设有两组凸起块8,凸起块8上设有滑动通孔9,自热固晶移动体5通过滑动通孔9滑动设于滑杆4上,自热固晶移动体5上表面开设有安装槽10,自热固晶移动体5为中空腔体,自热固晶移动体5内设有升降驱动腔11和自加热腔12,自加热腔12设于升降驱动腔11上方,安装槽10位于自加热腔12上方,自加热腔12内设有电加热丝13,升降驱动腔11内设有第一气缸14,第一气缸14自由端设有推动板15,推动板15上设有支撑柱16,支撑柱16上端设于贯穿升降驱动腔11上壁延伸至升降驱动腔11外,支撑柱16位于安装槽10侧边,固晶支撑板6两侧设于支撑柱16上,固晶支撑板6中部高度大于固晶支撑板6两侧高度,固晶支撑板6上表面位于同一
水平面上,且固晶支撑板6中部下端卡合设于安装槽10内,固晶支撑板6为中空腔体结构,固晶支撑板6上表面开设有负压吸附孔17,负压泵7设于工作台1上,负压泵7与固晶支撑板6之间连接设有负压管18,负压管18设于固晶支撑板6中空腔体内且与负压吸附孔17连通,用于稳定吸附放置pcb板,固晶紧压机构2设于工作台1上。
[0019]
其中,固晶紧压机构2包括支撑架19、第二气缸20和压板21,支撑架19设于工作台1上表面,第二气缸20设于支撑架19上,压板21设于第二气缸20活动端,压板21长度和宽度均与固晶支撑板6长度和宽度相等。安装槽10一侧的支撑柱16至少设有两组,保证支撑柱16对固晶支撑板6的支撑稳定性。电加热丝13在自加热腔12的腔体内均匀设有多组,保证安装槽10表面温度均匀。固晶支撑板6为不锈钢板。电加热丝13为220v的恒温热电偶电加热丝。
[0020]
具体使用时,初始状态下,固晶支撑板6位于自热固晶移动体5上端的安装槽10内,将pcb板放置在固晶支撑板6上,并在负压泵7的作用下,紧密贴合在固晶支撑板6表面,控制电加热丝13开始工作,电加热丝13对自热固晶移动体5进行加热,在热传递的作用下待固晶支撑板6表面温度上升至80℃时保持恒温,然后通过机械手将底部有daf胶的圆晶放置在pcb板上,daf胶轻度融化并具有粘性,从而使晶圆与pcb板更紧密的集合,然后,沿着滑杆4移动自热固晶移动体5,将自热固晶移动体5移动至固晶紧压机构2正下方,依次启动第一气缸14和第二气缸20,第一气缸14推动固晶支撑板6上升,固晶支撑板6底部从安装槽10内移出,第二气缸20驱动压板21下降,对固晶支撑板6上的晶圆与pcb板进行挤压,完成固晶。
[0021]
要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
[0022]
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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