技术总结
本实用新型公开了一种气体冷却装置，包括：壳体，壳体内设置有气流通道，壳体上设置有冷却介质入口和冷却介质出口；冷却管道，设于气流通道内，并与冷却介质入口和冷却介质出口连通，冷却管道用于流通冷却介质，冷却介质能冷却气流通道内的气流；冷却管道在气流通道的截面内弯折形成管网单元，管网单元为若干个，若干个管网单元沿气流通道的气流方向间隔设置，且相邻的管网单元在气流通道的截面上的投影不重叠，以使相邻的管网单元错位设置。本实用新型提供一种能提升散热效率且体积较小的气体冷却装置。气体冷却装置。气体冷却装置。
技术研发人员：胡小林 赵峰
受保护的技术使用者：上海微电子装备(集团)股份有限公司
技术研发日：2020.07.31
技术公布日：2021/2/20