技术总结
本实用新型提供了一种晶片成膜用加热盘的加热管定位装置，属于加热盘技术领域。该晶片成膜用加热盘的加热管定位装置包括加热盘和定位组件。所述加热盘包括加热管和基座，所述加热管固定安装于所述基座，所述定位组件包括弧形杆、移动杆、固定筒和夹块，所述移动杆固定连接于所述弧形杆两端，所述移动杆和所述弧形杆转动连接于所述基座，所述固定筒套接固定于所述移动杆外表面，所述夹块固定连接于所述固定筒，所述加热管位于所述夹块和所述基座之间。该晶片成膜用加热盘的加热管定位装置通过转动弧形杆，驱动夹块对加热管的固定，有效避免加热盘加工安装工艺复杂造成的成本提高的问题，便于拆卸安装，方便操作。方便操作。方便操作。
技术研发人员：张彬彬 庞井成
受保护的技术使用者：天津维普泰克科技发展有限公司
技术研发日：2020.11.19
技术公布日：2021/7/15