弹性波滤波器的制作方法

1.本发明涉及具备分割谐振器的弹性波滤波器。


背景技术：

2.以往，已知通过将多个弹性波谐振子串联连接从而构成谐振子组的技术，即，将弹性波谐振子分割为相互串联连接的多个分割谐振子的技术(例如，专利文献1)。通过这样分割弹性波谐振子，从而能够使每单位面积的消耗功率降低，弹性波滤波器的耐功率性提高。
3.在先技术文献
4.专利文献
5.专利文献1：日本特开2001-156588号公报


技术实现要素：

6.发明要解决的课题
7.然而，在将弹性波谐振子分割为串联连接的3个以上的分割谐振子的情况下，在3个以上的分割谐振子中会存在配置为被其他分割谐振子夹着的分割谐振子。而且，由于该分割谐振子和夹着该分割谐振子的相邻的分割谐振子的相互作用，弹性波滤波器的温度变得容易上升，其结果是，存在弹性波滤波器的耐功率性下降这样的问题。
8.因此，本发明的目的在于，提供一种能够使耐功率性有效地提高的弹性波滤波器。
9.用于解决课题的手段
10.本发明的一个方式涉及的弹性波滤波器具备相互串联连接的至少3个分割谐振器，所述至少3个分割谐振器分别具有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极，并在与弹性波的传播方向交叉的方向上排列，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，所述至少3个分割谐振器之中的相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的idt电极的弹性波传播方向上的中央错开。
11.发明效果
12.根据本发明，能够提供一种能使耐功率性有效地提高的弹性波滤波器。
附图说明
13.图1是实施方式涉及的滤波器的电路结构图。
14.图2是示出实施方式涉及的分割谐振器组的布局的一例的俯视图。
15.图3是比较例涉及的滤波器的电路结构图。
16.图4是示出比较例涉及的分割谐振器组的布局例的俯视图。
17.图5a是示出形成比较例涉及的滤波器的压电基板的温度分布的图。
18.图5b是示出形成实施方式涉及的滤波器的压电基板的温度分布的图。
19.图6是示出实施方式涉及的滤波器以及比较例涉及的滤波器的耐功率性的曲线图。
20.图7a是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。
21.图7b是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。
22.图7c是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。
23.图7d是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。
24.图7e是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。
具体实施方式
25.以下，使用附图对本发明的实施方式详细地进行说明。另外，以下说明的实施方式均示出总括性或具体的例子。在以下的实施方式中示出的数值、形状、材料、构成要素、构成要素的配置以及连接方式等为一例，其主旨并不在于限定本发明。关于以下的实施方式中的构成要素之中未记载于独立权利要求的构成要素，作为任意的构成要素而进行说明。此外，在各图中，对实质上相同的结构标注相同的附图标记，有时省略或简化重复的说明。此外，在以下的实施方式中，所谓“连接”，不仅包含直接连接的情况，还包含经由其他元件等电连接的情况。
26.(实施方式)
27.使用图1对实施方式涉及的弹性波滤波器的结构进行说明。
28.图1是实施方式涉及的滤波器10的电路结构图。在图1中，还图示了与滤波器10连接的天线ant、电感器l2以及l3。天线ant是收发高频信号的、例如遵循lte(long term evolution，长期演进)等通信标准的应对多频段的天线。电感器l2是用于取得滤波器10和天线ant的阻抗匹配的匹配电路，电感器l3是用于取得滤波器10和与端子20连接的电路(例如，放大电路、开关或者rfic(radio frequency integrated circuit，射频集成电路)等)的阻抗匹配的匹配电路。
29.滤波器10是包含弹性波谐振子的弹性波滤波器。构成滤波器10的各弹性波谐振子也可以是声表面波谐振子、以及使用了baw(bulk acoustic wave，体声波)的弹性波谐振子的任一者。另外，在声表面波中，例如，也包含表面波、洛夫波(love wave)、漏泄波、瑞利波、边界波、漏泄saw、伪saw、板波。
30.滤波器10具备串联臂谐振子11、12、13、14及15、并联臂谐振子16、17、18及19、以及电感器l1。串联臂谐振子11、12、13、14及15、以及并联臂谐振子16、17、18及19形成滤波器10的通带。电感器l1是用于对滤波器10的通带进行调整的元件。另外，滤波器10也可以不具备电感器l1。此外，滤波器10为了使通带为希望的通带也可以具备其他阻抗元件(电感器或者电容器等)。
31.串联臂谐振子11、12、13、14以及15在将天线ant和端子20连结的路径上相互串联连接。并联臂谐振子16连接在串联臂谐振子11与串联臂谐振子12之间的上述路径上的节点、和接地之間。并联臂谐振子17连接在串联臂谐振子12与串联臂谐振子13之间的上述路径上的节点、和接地之间。并联臂谐振子18连接在串联臂谐振子13与串联臂谐振子14之间的上述路径上的节点、和接地之间。并联臂谐振子19连接在串联臂谐振子14与串联臂谐振子15之间的上述路径上的节点、和接地之间。
32.根据滤波器10的上述结构，在串联臂路径配置有由弹性波谐振子构成的串联臂谐振子11、12、13、14以及15，且在并联臂路径配置有由弹性波谐振子构成的并联臂谐振子16、
17、18以及19，因此能够实现具有低损耗的通带且从通带到阻带中的过渡带陡峭的梯型的弹性波滤波器。
33.串联臂谐振子11、12、13、14及15、以及并联臂谐振子16、17、18及19分别是由相互串联连接的多个分割谐振器构成的分割谐振器组。所谓分割谐振器组，是指构成分割谐振器组的串联连接的相邻的分割谐振器之间的连接节点除了该相邻的分割谐振器以外未进行连接的弹性波谐振子。例如，在相邻的分割谐振器之间未连接其他元件，此外，相邻的分割谐振器之间的连接节点未连接于接地等。通过这样分割弹性波谐振子，从而能够使每单位面积的消耗功率降低，滤波器10的耐功率性提高。
34.然而，在将弹性波谐振子分割为串联连接的3个以上的分割谐振子的情况下，在3个以上的分割谐振子中会存在配置为被其他分割谐振子夹着的分割谐振子。而且，由于该分割谐振子和夹着该分割谐振子的相邻的分割谐振子的相互作用，弹性波滤波器的温度变得容易上升，其结果是，存在弹性波滤波器的耐功率性下降这样的问题。
35.以下，着眼于为了解决这样的问题而应用了本发明的串联臂谐振子11来进行说明。
36.滤波器10具备相互串联连接的至少3个分割谐振器作为串联臂谐振子11。在此，至少3个分割谐振器为相互串联连接的分割谐振器sa、sb、sc以及sd。将至少3个分割谐振器之中的相邻的2个分割谐振器称为第1分割谐振器以及第2分割谐振器。在此，第1分割谐振器由相互并联连接的至少2个分割谐振子构成。换言之，第1分割谐振器被并联分割为2个分割谐振子。例如，若着眼于分割谐振器sa以及sb，则分割谐振器sb成为第1分割谐振器，分割谐振器sa成为第2分割谐振器。例如，若着眼于分割谐振器sb以及sc，则分割谐振器sb成为第1分割谐振器，分割谐振器sc成为第2分割谐振器。例如，若着眼于分割谐振器sc以及sd，则分割谐振器sd成为第1分割谐振器，分割谐振器sc成为第2分割谐振器。
37.此时，构成第1分割谐振器的分割谐振子的数量和构成第2分割谐振器的分割谐振子的数量不同。例如，第1分割谐振器由至少2个分割谐振子构成，第2分割谐振器由1个分割谐振子构成。具体地，构成作为第2分割谐振器的分割谐振器sa的分割谐振子的数量为1个，构成作为第1分割谐振器的分割谐振器sb的分割谐振子的数量为2个，构成作为第2分割谐振器的分割谐振器sc的分割谐振子的数量为1个，构成作为第1分割谐振器的分割谐振器sd的分割谐振子的数量为2个。
38.即，分割谐振器sa由1个分割谐振子构成，将该1个分割谐振子称为分割谐振器sa。分割谐振器sb由相互并联连接的分割谐振子pb1以及pb2构成，将分割谐振子pb1以及pb2的集合称为分割谐振器sb。分割谐振器sc由1个分割谐振子构成，将该1个分割谐振子称为分割谐振器sc。分割谐振器sd由相互并联连接的分割谐振子pd1以及pd2构成，将分割谐振子pd1以及pd2的集合称为分割谐振器sd。
39.其次，使用图2对串联臂谐振子11的布局进行说明。
40.图2是示出实施方式涉及的分割谐振器组(串联臂谐振子11)的布局的一例的俯视图。例如，至少3个分割谐振器(具体为构成串联臂谐振子11的分割谐振器sa、sb、sc以及sd)分别具有idt(interdigital transducer，叉指换能器)电极，并在与弹性波的传播方向交叉的方向上排列。在图2中，用方形表示idt电极，并省略了反射器等的图示。
41.弹性波的传播方向是图2的纸面左右方向，与弹性波的传播方向交叉的方向例如
为与弹性波的传播方向正交的方向，是图2的纸面上下方向。另外，与弹性波的传播方向交叉的方向也可以不是与弹性波的传播方向正交的方向，还可以从图2的纸面上下方向偏离。
42.第1分割谐振器(分割谐振器sb以及sd)中的至少2个分割谐振子(对于分割谐振器sb而言为分割谐振子pb1以及pb2，对于分割谐振器sd而言为分割谐振子pd1以及pd2)在弹性波的传播方向上排列。例如，分割谐振子pb1及pb2、以及分割谐振子pd1及pd2在与分割谐振器sa、sb、sc以及sd排列的方向(图2的纸面上下方向)正交的方向(图2的纸面左右方向)上排列。
43.分割谐振器sb以及sd也可以被并联分割，使得idt电极的部分的面积变得与未被并联分割时相同。例如，也可以使得，在分割谐振器sb未被并联分割的情况下，分割谐振器sb的idt电极的部分的面积变得与分割谐振器sa的idt电极的部分的面积相同。而且，也可以使得，在分割谐振器sb被并联分割了的情况下，分割谐振子pb1的idt电极的部分的面积与分割谐振子pb2的idt电极的部分的面积之和变得与分割谐振器sa的idt电极的部分的面积相同。即，能够将第1分割谐振器并联分割，使得面积不变大。在该情况下，能够不改变电容地使耐功率性提高。另外，所谓面积与未被并联分割时相同，还包含与未被并联分割时相比面积稍微变大如下的量的情况，即，与被并联分割的分割谐振子间的间隔、以及设置在被并联分割的分割谐振子间的反射器相应的量。
44.在图2中，在由各idt电极激励的弹性波的振幅最大点标注了十字形标记。各idt电极的振幅最大点成为各idt电极的弹性波的传播方向上的中央。原因在于，idt电极的两端成为弹性波的振动的波节，两端的振动的波节和波节的中央成为弹性波的振动的波腹。另外，由idt电极激励的弹性波的振幅最大点能够换言之为idt电极的弹性波的传播方向上的中央。
45.如图2所示，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，分割谐振器sa、sb、sc以及sd之中的在与弹性波的传播方向交叉的方向上相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的idt电极所激励的弹性波的振幅最大点错开。例如，作为相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器，若着眼于分割谐振器sb以及sa，则从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由分割谐振器sb的idt电极激励的弹性波的振幅最大点(具体为由分割谐振子pb1的idt电极激励的弹性波的振幅最大点以及由分割谐振子pb2的idt电极激励的弹性波的振幅最大点)、和由分割谐振器sa的idt电极激励的弹性波的振幅最大点错开。例如，作为相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器，若着眼于分割谐振器sb以及sc，则从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由分割谐振器sb的idt电极激励的弹性波的振幅最大点(具体为由分割谐振子pb1的idt电极激励的弹性波的振幅最大点以及由分割谐振子pb2的idt电极激励的弹性波的振幅最大点)、和由分割谐振器sc的idt电极激励的弹性波的振幅最大点错开。例如，作为相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器，若着眼于分割谐振器sd以及sc，则从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由分割谐振器sd的idt电极激励的弹性波的振幅最大点(具体为由分割谐振子pd1的idt电极激励的弹性波的振幅最大点以及由分割谐振子pd2的idt电极激励的弹性波的振幅最大点)、和由分割谐振器sc的idt电极激励的弹性波的振幅最大点错开。
46.由此，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的振幅最大点变得远离，即，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器变得不易相互作用，能够抑制温度局部地上升。一边与比较例进行比较，一边说明通过从与弹性波的传播方向正交的方向观察由相邻的第1分
割谐振器和第2分割谐振器各自的idt电极激励的弹性波的振幅最大点错开从而能够抑制何种程度的温度上升、耐功率性提高何种程度。
47.图3是比较例涉及的滤波器10a的电路结构图。
48.比较例涉及的滤波器10a与实施方式涉及的滤波器10的不同点在于，取代串联臂谐振子11而具备串联臂谐振子11a。其他方面与实施方式涉及的滤波器10中的结构相同，因此省略说明。
49.串联臂谐振子11a是由相互串联连接的多个分割谐振器构成的分割谐振器组。在此，串联臂谐振子11a具备相互串联连接的分割谐振器saa、sba、sca以及sda。
50.图4是示出比较例涉及的分割谐振器组(串联臂谐振子11a)的布局例的俯视图。构成串联臂谐振子11a的分割谐振器saa、sba、sca以及sda分别具有idt电极，并在与弹性波的传播方向正交的方向上排列。在图4中，用方形表示idt电极，并省略了反射器等的图示。
51.弹性波的传播方向是图4的纸面左右方向，与弹性波的传播方向正交的方向是图4的纸面上下方向。
52.在图4中，在由各idt电极激励的弹性波的振幅最大点标注了十字形标记。各idt电极的振幅最大点成为各idt电极的弹性波的传播方向上的中央。如图3以及图4所示，在比较例中，串联臂谐振子11a不具备被并联分割的分割谐振器，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由分割谐振器saa、sba、sca以及sda各自的idt电极激励的弹性波的振幅最大点重叠。
53.图5a是示出形成比较例涉及的滤波器10a的压电基板的温度分布的图。例如，滤波器10a由压电基板形成，在图5a中，示出滤波器10a中的串联臂谐振子11a周边的压电基板的温度分布。
54.从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由构成串联臂谐振子11a的分割谐振器saa、sba、sca以及sda各自的idt电极激励的弹性波的振幅最大点重叠，因此串联臂谐振子11a周边的温度变高，形成滤波器10a的压电基板在图5a所示的部分处的最大温度成为148℃。
55.图5b是示出形成实施方式涉及的滤波器10的压电基板的温度分布的图。例如，滤波器10由压电基板形成，在图5b中，示出滤波器10中的串联臂谐振子11周边的压电基板的温度分布。
56.从与弹性波的传播方向正交的方向观察，构成串联臂谐振子11的分割谐振器sa、sb、sc以及sd之中的相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的idt电极所激励的弹性波的振幅最大点错开，因此串联臂谐振子11周边的温度变低，形成滤波器10的压电基板在图5b所示的部分处的最大温度成为121℃。
57.像这样，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的振幅最大点变得远离，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器变得不易相互作用，能够抑制温度局部地上升。
58.图6是示出实施方式涉及的滤波器10以及比较例涉及的滤波器10a的耐功率性的曲线图。横轴示出输入到各滤波器的输入功率，纵轴示出相对于输入功率而输出的输出功率。示出了输出功率越大则耐功率性越高。
59.在实施方式涉及的滤波器10中，由于振幅最大点被分散，因此可抑制温度局部地上升，可抑制插入损耗的劣化以及频率偏移。由此，如图6所示，可改善输出功率，与比较例
涉及的滤波器10a的耐功率性相比，实施方式涉及的滤波器10的耐功率性提高。此外，如上所述，被并联分割了的分割谐振器(第1分割谐振器)能够在维持idt电极部分的面积的情况下进行并联分割，因此能够在抑制滤波器10的大型化的同时，使耐功率性有效地提高。
60.如以上说明的那样，滤波器10具备相互串联连接的至少3个分割谐振器，至少3个分割谐振器分别具有idt电极，并在与弹性波的传播方向交叉的方向上排列，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，至少3个分割谐振器之中的相邻的第1分割谐振器(例如，分割谐振器sb)和第2分割谐振器(例如，分割谐振器sa)各自的idt电极的弹性波传播方向上的中央错开。
61.对于各分割谐振器，idt电极的弹性波传播方向上的中央(即，由idt电极激励的弹性波的振幅最大点)的激励强，容易发热。若从与弹性波的传播方向正交的方向观察这样的振幅最大点重叠，则相邻的分割谐振器各自的振幅最大点会位于靠近的位置，由于相邻的分割谐振器的相互作用，温度容易局部地上升，弹性波滤波器的耐功率性下降。与之相对，根据本方式，对于在与弹性波的传播方向交叉的方向上相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，idt电极的弹性波传播方向上的中央(即，由idt电极激励的弹性波的振幅最大点)错开。因此，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的振幅最大点变得远离，相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器变得不易相互作用，能够抑制温度局部地上升。因此，能够使耐功率性有效地提高。
62.此外，也可以设为，第1分割谐振器由相互并联连接的至少2个分割谐振子构成，第1分割谐振器中的至少2个分割谐振子在弹性波的传播方向上排列。
63.像这样，通过将第1分割谐振器并联分割为至少2个分割谐振子，由此从与弹性波的传播方向正交的方向观察，能够将第1分割谐振器的振幅最大点从第1分割谐振器的中央(至少2个分割谐振子的集合的中央)向被分割后的至少2个分割谐振子各自的中央错开。换言之，能够将第1分割谐振器的振幅最大点从至少2个分割谐振子的集合的中央向该集合的两端侧分散。由此，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，能够将相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的振幅最大点错开。
64.此外，也可以设为，构成第1分割谐振器的分割谐振子的数量和构成第2分割谐振器的分割谐振子的数量不同。例如，也可以设为，第2分割谐振器由1个分割谐振子构成。
65.像这样，通过使构成第1分割谐振器的分割谐振子的数量和构成第2分割谐振器的分割谐振子的数量不同，由此从与弹性波的传播方向正交的方向观察，第1分割谐振器中的分割谐振子的振幅最大点和第2分割谐振器中的分割谐振子的振幅最大点变得容易错开。例如，通过第1分割谐振器由至少2个分割谐振子构成，第2分割谐振器由1个分割谐振子构成，由此第1分割谐振器中的振幅最大点从第1分割谐振器的弹性波的传播方向上的中央向两端侧分散，第2分割谐振器中的振幅最大点位于第2分割谐振器的弹性波的传播方向上的中央，因此从与弹性波的传播方向正交的方向观察，能够将相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的振幅最大点错开。
66.(其他实施方式)
67.以上，列举实施方式对本发明涉及的弹性波滤波器进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。将上述实施方式中的任意的构成要素组合而实现的另外的实施方式、在不脱离本发明的主旨的范围内对上述实施方式实施本领域技术人员想到的各种变形而
得到的变形例、内置了本发明涉及的弹性波滤波器的各种设备也包含于本发明。
68.例如，本发明涉及的弹性波滤波器具备相互串联连接的至少3个分割谐振器，从与弹性波的传播方向正交的方向观察，由该至少3个分割谐振器之中的相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器各自的idt电极激励的弹性波的振幅最大点错开，但振幅最大点的错开方式没有特别限定。
69.例如，也可以如图7a至图7e所示那样将振幅最大点错开。
70.图7a至图7e是示出其他实施方式涉及的分割谐振器组的布局以及电路结构的一例的图。在各图的左侧示出分割谐振器组的布局，在右侧示出分割谐振器组的电路结构。在此，将由按分割谐振器sa、sb、sc的顺序串联连接的3个分割谐振器sa、sb以及sc构成的分割谐振器组的例子示于图7a至图7e。在图7a、图7b、图7d以及图7e中，对于相邻的分割谐振器sa和sb而言，将分割谐振器sa作为第2分割谐振器，将分割谐振器sb作为第1分割谐振器，对于相邻的分割谐振器sb和sc而言，将分割谐振器sb作为第1分割谐振器，将分割谐振器sc作为第2分割谐振器。在图7c中，对于相邻的分割谐振器sa和sb而言，将分割谐振器sa作为第1分割谐振器，将分割谐振器sb作为第2分割谐振器，对于相邻的分割谐振器sb和sc而言，将分割谐振器sb作为第2分割谐振器，将分割谐振器sc作为第1分割谐振器。在图7a至图7e的左侧，用方形表示idt电极，并省略了反射器等的图示。此外，在图7a至图7e的左侧，在由各idt电极激励的弹性波的振幅最大点标注了十字形标记。各idt电极的振幅最大点成为各idt电极的弹性波的传播方向上的中央。
71.如图7a所示，3个分割谐振器sa、sb以及sc之中被夹在分割谐振器sa和分割谐振器sc之间的分割谐振器sb也可以被并联分割而由相互并联连接的分割谐振子pb1以及pb2构成。即，在分割谐振器组中，也可以按照由1个分割谐振子构成的第2分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器、由1个分割谐振子构成的第2分割谐振器的顺序串联连接分割谐振器。
72.如图7b所示，3个分割谐振器sa、sb以及sc之中相邻的分割谐振器sb以及sc也可以分别被并联分割而由相互并联连接的分割谐振子(对于分割谐振器sb而言为分割谐振子pb1以及pb2，对于分割谐振器sc而言为分割谐振子pc1以及pc2)构成。即，在分割谐振器组中，也可以按照由1个分割谐振子构成的第2分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第2分割谐振器的顺序串联连接分割谐振器。
73.此外，如图7b所示，作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1及pb2、以及作为第2分割谐振器的分割谐振器sc中的分割谐振子pc1及pc2所具有的idt电极也可以在弹性波的传播方向上排列。此外，作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比、和作为第2分割谐振器的分割谐振器sc中的分割谐振子pc1以及pc2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比也可以不同。例如，分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶1，分割谐振器sc中的分割谐振子pc1以及pc2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶2。
74.如图7c所示，3个分割谐振器sa、sb以及sc之中夹着分割谐振器sb的分割谐振器sa以及sc也可以被并联分割而由相互并联连接的分割谐振子(对于分割谐振器sa而言为分割
谐振子pa1以及pa2，对于分割谐振器sc而言为分割谐振子pc1以及pc2)构成。即，在分割谐振器组中，也可以按照由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器、由1个分割谐振子构成的第2分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器的顺序串联连接分割谐振器。
75.如图7d所示，3个分割谐振器sa、sb以及sc之中相邻的分割谐振器sa和sb也可以分别被并联分割而由相互并联连接的分割谐振子(对于分割谐振器sa而言为分割谐振子pa1以及pa2，对于分割谐振器sb而言为分割谐振子pb1以及pb2)构成。即，在分割谐振器组中，也可以按照由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第2分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器、由1个分割谐振子构成的第2分割谐振器的顺序串联连接分割谐振器。
76.此外，如图7d所示，作为第2分割谐振器的分割谐振器sa中的分割谐振子pa1及pa2、以及作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1及pb2所具有的idt电极也可以在弹性波的传播方向上排列。此外，作为第2分割谐振器的分割谐振器sa中的分割谐振子pa1以及pa2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比、和作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比也可以不同。例如，分割谐振器sa中的分割谐振子pa1以及pa2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶2，分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶1。
77.如图7e所示，3个分割谐振器sa、sb以及sc的全部也可以分别被并联分割而由相互并联连接的分割谐振子(对于分割谐振器sa而言为分割谐振子pa1以及pa2，对于分割谐振器sb而言为分割谐振子pb1以及pb2，对于分割谐振器sc而言为分割谐振子pc1以及pc2)构成。即，在分割谐振器组中，也可以按照由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第2分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第1分割谐振器、由相互并联连接的2个分割谐振子构成的第2分割谐振器的顺序串联连接分割谐振器。
78.此外，如图7e所示，作为第2分割谐振器的分割谐振器sa中的分割谐振子pa1及pa2、作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1及pb2、以及作为第2分割谐振器的分割谐振器sc中的分割谐振子pc1及pc2所具有的idt电极也可以在弹性波的传播方向上排列。此外，作为第2分割谐振器的分割谐振器sa中的分割谐振子pa1以及pa2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比、和作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比也可以不同。例如，分割谐振器sa中的分割谐振子pa1以及pa2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶1，分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶2。
79.进而，作为第1分割谐振器的分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比、和作为第2分割谐振器的分割谐振器sc中的分割谐振子pc1以及pc2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比也可以不同。例如，分割谐振器sb中的分割谐振子pb1以及pb2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为1∶2，分割谐振器sc中的分割谐振子pc1以及pc2所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比为2∶1。另外，在此，设1∶2和2∶1不同。
80.如图7b、图7d以及图7e所示，第2分割谐振器也可以不由1个分割谐振子构成，可以由相互并联连接的至少2个分割谐振子构成。此外，也可以设为，第2分割谐振器中的至少2个分割谐振子在弹性波的传播方向上排列，第1分割谐振器中的至少2个分割谐振子所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比、和第2分割谐振器中的至少2个分割谐振子所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比不同。
81.据此，对于第1分割谐振器以及第2分割谐振器，通过使各自具备的分割谐振子所具有的idt电极各自的弹性波的传播方向上的长度之比不同，由此从与弹性波的传播方向正交的方向观察，第1分割谐振器中的分割谐振子各自的振幅最大点和第2分割谐振器中的分割谐振子各自的振幅最大点变得容易错开。特别是，构成第1分割谐振器的分割谐振子的数量和构成第2分割谐振器的分割谐振子的数量也可以相同，即使在这样的情况下，通过上述长度之比不同，从而也能够将振幅最大点错开。
82.此外，例如，为了将振幅最大点错开，也可以不由被并联分割后的至少2个分割谐振子构成分割谐振器。例如，弹性波滤波器所具备的相互串联连接的至少3个分割谐振器之中的相邻的第1分割谐振器和第2分割谐振器分别也可以由1个分割谐振子构成，对于各个分割谐振子也可以使idt电极的弹性波的传播方向上的长度不同。原因在于，通过在第1分割谐振器和第2分割谐振器中使idt电极的弹性波的传播方向上的长度不同，由此从与弹性波的传播方向正交的方向观察，各自的振幅最大点(即，各自的idt电极的弹性波的传播方向上的中央)变得错开。
83.此外，例如，弹性波滤波器所具备的至少3个分割谐振器的数量只要为3个以上即可，没有特别限定。
84.此外，对于第1分割谐振器以及第2分割谐振器，在由相互并联连接的至少2个分割谐振子构成的情况下，不限于相互并联连接的2个分割谐振子，也可以由相互并联连接的3个以上的分割谐振子构成。
85.产业上的可利用性
86.本发明能够广泛利用于具有具备分割谐振器的弹性波滤波器的便携式电话等通信设备。
87.附图标记说明
88.10、10a 滤波器；
89.11、11a、12、13、14、15 串联臂谐振子；
90.16、17、18、19 并联臂谐振子；
91.20 端子；
92.ant 天线；
93.l1、l2、l3 电感器；
94.pa1、pa2、pb1、pb2、pc1、pc2、pd1、pd2 分割谐振子；
95.sa、sb、sc、sd、saa、sba、sca、sda 分割谐振器。