1.一种陶瓷加热器，其具备：
陶瓷板，其在表面具有晶片载置面；
电阻发热体，其埋设在所述陶瓷板中；
筒状轴，其从所述陶瓷板的背面支撑所述陶瓷板；以及
热电偶通路，其从所述陶瓷板的所述背面中的被所述筒状轴包围的轴内区域的起点到达所述陶瓷板的外周部的末端位置，
所述热电偶通路具有：台阶部，其设置在从所述起点到所述末端位置之间的中间位置；长距离部，其从所述起点到达所述末端位置；以及短距离部，其从所述起点到达所述中间位置。
2.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，所述台阶部以在所述陶瓷板的面方向上产生台阶的方式设置。
3.根据权利要求1所述的陶瓷加热器，其中，所述台阶部以在所述陶瓷板的厚度方向上产生台阶的方式设置。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述热电偶通路在所述长距离部与所述短距离部的边界的至少一部分具有分隔壁。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的陶瓷加热器，其中，在俯视所述陶瓷板时，所述热电偶通路弯曲。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述电阻发热体在将所述晶片载置面分割成多个而得到的各个区域中布线，
所述末端位置和所述中间位置设置在互不相同的区域。
7.一种陶瓷加热器，其具备：
陶瓷板，其在表面具有晶片载置面；
电阻发热体，其埋设在所述陶瓷板中；
筒状轴，其从所述陶瓷板的背面支撑所述陶瓷板；以及
热电偶通路，其从所述陶瓷板的所述背面中的被所述筒状轴包围的轴内区域的起点朝向所述陶瓷板的外周部延伸，
所述热电偶通路在中途具有分支点，具有从所述分支点到达第一末端位置的第一分支路和从所述分支点到达与所述第一末端位置不同的第二末端位置的第二分支路。
8.根据权利要求7所述的陶瓷加热器，其中，从所述陶瓷板的中心到所述第二末端位置为止的长度与从所述陶瓷板的中心到所述第一末端位置为止的长度相同或不同。
9.根据权利要求7或8所述的陶瓷加热器，其中，所述热电偶通路在从所述起点到所述分支点之间的至少一部分具有分隔壁。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的陶瓷加热器，其中，在俯视所述陶瓷板时，所述热电偶通路的所述第一分支路和所述第二分支路的至少一方弯曲。
11.根据权利要求7至10中任一项所述的陶瓷加热器，其中，所述电阻发热体在将上述晶片载置面分割成多个而得到的各个区域中布线，
所述第一末端位置和所述第二末端位置设置在互不相同的区域。