1.一种等离子体发生器,具有供冷却介质流动的冷却流道,其特征在于,包括:
第一电极(1),呈筒状结构,所述第一电极(1)的中空部形成沿所述第一电极(1)的轴向设置的电弧通道(11),所述冷却流道包括设置于所述第一电极(1)的筒壁内部的电极冷却流道;
支撑套筒(2),与所述第一电极(1)同轴地布置于所述第一电极的轴向的第一端且与所述第一电极(1)的轴向的第一端螺纹连接,所述支撑套筒(2)的套筒空腔与所述电弧通道(11)连通,所述冷却流道包括设置于所述支撑套筒(2)的筒壁内部的套筒流入通道(21)和套筒流出通道(22),所述套筒流入通道(21)和所述套筒流出通道(22)与所述电极冷却流道连通;和
第二电极(3),与所述支撑套筒(2)同轴地设于所述套筒空腔内。
2.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,所述第二电极(3)的靠近所述第一电极(1)的轴向的端部与所述第一电极(1)的所述第一端之间具有非接触的重叠段。
3.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,所述电极冷却流道包括:
第一电极冷却流道(61),与所述套筒流入通道(21)连通;和
第二电极冷却流道(62),沿所述冷却介质的流动方向位于所述第一电极冷却流道(61)的下游并与所述套筒流出通道(22)连通,所述第一电极冷却流道(61)位于所述第二电极冷却流道(62)的径向内侧。
4.如权利要求3所述的等离子体发生器,其特征在于,所述第一电极冷却流道(61)与所述第二电极冷却流道(62)通过隔套(6)分隔。
5.如权利要求3所述的等离子体发生器,其特征在于,所述冷却流道包括:
电极流入通道(63),设置于所述第一电极(1)的第一端,所述第一电极冷却流道(61)与所述套筒流入通道(21)通过所述电极流入通道(63)连通;和/或
电极流出通道(64),设置于所述第一电极(1)的第一端,所述第二电极冷却流道(62)与所述套筒流出通道(22)通过所述电极流出通道(64)连通。
6.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,包括:
第一引流装置(81),所述第一引流装置(81)设于所述冷却流道内,被配置为提供冷却介质的流动动力;和/或
第二引流装置(82),所述第二引流装置(82)设于所述第二电极(3)与所述支撑套筒(2)之间,被配置为提供工质气体的流动动力。
7.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,还包括绝缘件(91),所述绝缘件(91)设置于所述第二电极(3)与所述支撑套筒(2)之间。
8.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,
所述第一电极(1)的第一端设有电极定位台阶(15);
所述支撑套筒(2)与所述第一电极(1)连接的一端具有套筒定位台阶,所述电极定位台阶(15)与所述套筒定位台阶的端面抵接和/或周面配合。
9.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,
所述第一电极(1)与所述支撑套筒(2)之间设有第一密封槽(51),所述第一密封槽(51)内设有第一密封圈,所述第一密封圈沿所述支撑套筒(2)的径向位于所述套筒空腔与所述套筒流入通道(21)之间;和/或
所述第一电极(1)与支撑套筒(2)之间设有第二密封槽(52),所述第二密封槽(52)内设有第二密封圈,所述第二密封圈沿所述支撑套筒(2)的径向位于所述套筒流出通道(22)的外侧;和/或
所述第一电极(1)与支撑套筒(2)之间设有第三密封槽(53),所述第三密封槽(53)内设有第三密封圈,所述第三密封圈沿所述支撑套筒(2)的径向位于所述套筒流入通道(21)和所述套筒流出通道(22)之间。
10.如权利要求1所述的等离子体发生器,其特征在于,所述第一电极(1)的外周设有供所述第一电极(1)从所述支撑套筒(2)上装卸时与工具配合的卡接配合部(4)。