介电加热装置的制作方法

1.本发明涉及介电加热装置。


背景技术：

2.公知有对两个对置电极的至少一个施加电压，对配置于加热室内的被加热物进行加热的介电加热装置。
3.在这样的介电加热装置中，公知有使用包括正负时的电场分布相同的平衡电路的对置电极来作为负荷侧电路的技术(例如参照日本专利第2884554号)。据此，通过在两个对置电极分别施加相位差180
°
的电压，从而能够抑制被加热物内的电场强度之差，使被加热物的整体均匀地加热。


技术实现要素：

4.在两个对置电极(例如上侧电极以及下侧电极)的位置被固定的介电加热装置中，有时从被加热物至上侧电极为止的距离与从被加热物至下侧电极为止的距离不同。在这种情况下，即便进行使用了上述平衡电路的加热控制，上侧电极作用于被加热物的电场强度与下侧电极作用于被加热物的电场强度恐怕也会产生差别。若产生这样的电场强度之差，则恐怕无法均衡地加热被加热物的整体。
5.本公开的一方式的目的在于提供能够均衡地加热被加热物的整体的介电加热装置。
6.本公开的一方式的介电加热装置具备：两个加热电极，其隔开间隔而对置；加热室，其设置于上述两个加热电极之间，且为能够配置被加热物的空间；高频电源，其对上述两个加热电极供给高频电力，以使得施加于上述两个加热电极的电压的相位差成为180
°
；以及控制部，其对从上述高频电源分别向上述两个加热电极施加的上述电压单独地进行调整。
附图说明
7.图1是表示介电加热装置的整体结构的图。图2是表示匹配电路的结构的图。图3a是表示施加于上侧电极以及下侧电极的电极电压的变化的坐标图。图3b是表示产生于上侧电极与下侧电极之间的电极间电压的变化的坐标图。图4a是表示配置有一个被加热物t的加热库的图。图4b是表示两个被加热物t重叠配置的加热库的图。图4c是表示四个被加热物t重叠配置的加热库的图。图5是表示在电压比率调整后，施加于上侧电极以及下侧电极的电极电压的变化的坐标图。图6是第一个例子所涉及的介电加热装置的外观图。
图7是第二例所涉及的介电加热装置的外观图。图8是第三例所涉及的介电加热装置的外观图。图9是第四例所涉及的介电加热装置的外观图。图10是第五例所涉及的介电加热装置的外观图。图11是第六例所涉及的介电加热装置的外观图。图12a是表示变形例所涉及的介电加热装置的整体结构的图。图12b是表示变形例所涉及的匹配电路的结构的图。
具体实施方式
8.以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。此外，针对附图，对相同或者同等的要素标注相同的附图标记，并省略重复的说明。
9.(介电加热装置的概要说明)对本实施方式所涉及的介电加热装置100进行说明。图1是表示介电加热装置100的整体结构的图。图2是表示匹配电路104a、104b的结构的图。介电加热装置100对食品等被加热物施加高频电场，进行被加热物的加热处理、解冻处理等。
10.如图1所示，介电加热装置100包括加热库101、驱动电路102、控制部105。加热库101是金属制的箱状，且具有能够收容被加热物的内部空间。加热库101的内部空间在前方开口，并通过未图示的开闭门而能够开闭。图1示意性地表示从前方观察的加热库101。图1的上侧、下侧、左侧、右侧、纸面近前侧以及纸面进深侧分别与介电加热装置100(即加热库101)的上侧、下侧、左侧、右侧、前侧以及后侧对应。金属制的加热库101通过接地线109等而接地。
11.在加热库101的内部空间设置有两个加热电极110、加热室113等。两个加热电极110相互隔开间隔而对置。作为一个例子，两个加热电极110是在上下方向上对置的上侧电极111以及下侧电极112。上侧电极111以及下侧电极112是在前后左右方向上延伸的四边形的平板状，且以相互平行的方式配置。加热室113是由两个加热电极110(上侧电极111以及下侧电极112)夹着的能够配置多个被加热物的空间。
12.驱动电路102包括高频电源103以及匹配电路104a、104b。高频电源103是生成向两个加热电极110供给的高频电力的电源电路。详细而言，高频电源103以使施加于两个加热电极110的电压的相位差成为180
°
的方式对两个加热电极110供给高频电力。高频电源103包括振荡器131、相移器132、可变衰减器133a、133b、放大器134a、134b。
13.振荡器131与前述的接地线109连接，发出从hf至vhf为止的频带的频率的电压信号。将振荡器131所发出的电压信号分别输入相对于振荡器131并联连接的可变衰减器133a、133b。其中，输入至可变衰减器133b的电压信号通过连接于可变衰减器133b与高频电源103之间的相移器132变换180
°
相位。因此，分别输入至可变衰减器133a、133b的电压信号的相移差成为180
°
。
14.通过可变衰减器133a而衰减至适当的电平的电压信号由放大器134a放大至所希望的电力，并被发送至匹配电路104a。通过可变衰减器133b而衰减至适当的电平的电压信号由放大器134b放大至所希望的电力，并被发送至匹配电路104b。由此，分别发送至匹配电路104a、104b的电压信号放大至相互相同程度的电力，并且相互的相位差为180
°
。
15.如图2所示，对于匹配电路104a而言，输入侧与放大器134a连接，输出侧与上侧电极111连接。匹配电路104a包括可变线圈201以及可变电容器202、203。在匹配电路104a中，可变线圈201以及可变电容器202与高频电源103的输出串联连接，可变电容器203与高频电源103的输出并联连接。可变电容器203与前述的接地线109连接。
16.匹配电路104a通过调整可变线圈201以及可变电容器202、203的值，使匹配电路104a的输入阻抗与放大器134a的输出阻抗一致。由此，能够使从高频电源103(详细而言放大器134a)观察的上侧电极111侧的阻抗恒定，对上侧电极111侧高效地供给电压信号。
17.对于匹配电路104b而言，输入侧与放大器134b连接，输出侧与下侧电极112连接。匹配电路104b通过与匹配电路104a相同的结构，使匹配电路104b的输入阻抗与放大器134b的输出阻抗一致。由此，能够使从高频电源103(详细而言放大器134b)观察的下侧电极112侧的阻抗恒定，对下侧电极112侧高效地供给电压信号。
18.在驱动电路102中，被匹配电路104a、104b实施了阻抗匹配的电压向由上侧电极111和下侧电极112形成的电容器供给。由此，在上侧电极111与下侧电极112之间产生高频电场，将配置于上侧电极111与下侧电极112之间的被加热物介电加热。
19.图3a是表示向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压的变化的坐标图。在图3a的例子中，高频电源103向上侧电极111以及下侧电极112施加的电压的变化表示在一个周期内以“－0.5”～“+0.5”的振幅位移的正弦波。但是，上侧电极111的施加电压与下侧电极112的施加电压相互的相移相差180
°
。
20.图3b是表示产生于上侧电极111与下侧电极112之间的电极间电压的变化的坐标图。电极间电压是上侧电极111的施加电压与下侧电极112的施加电压之差。图3b表示图3a所示的上侧电极111以及下侧电极112的电极间电压的变化。该电极间电压的变化由于其振幅成为上侧电极111以及下侧电极112的施加电压的两倍，所以表示在一个周期内以“－1.0”～“+1.0”的振幅位移的正弦波。
21.这样在介电加热装置100中，高频电源103对两个加热电极110施加电压，以使得施加于两个加热电极110的电压的相位差成为180
°
。根据这样的平衡电路方式的加热控制，与对两个加热电极110的一方施加电压的不平衡电路方式的加热控制相比，能够抑止施加于一个加热电极110的最大电压，并且产生更大的电极间电压。
22.控制部105是负责介电加热装置100的加热控制的电子部件，例如由微型计算机、电子电路构成。控制部105对从高频电源103分别向两个加热电极110施加的电压单独地进行调整。
23.(控制部调整的电压比率)在本实施方式中，如前述那样两个加热电极110包括：处于加热室113的上侧的上侧电极111和处于加热室113的下侧的下侧电极112。控制部105基于配置于加热室113内的被加热物的高度(即，上下方向的长度)，对上侧电极111以及下侧电极112的电压比率进行调整。
24.参照图4a～图4c，对控制部105调整的上侧电极111以及下侧电极112的电压比率进行说明。图4a是表示配置有一个被加热物t的加热库101的图。图4b是表示两个被加热物t重叠配置的加热库101的图。图4c是表示四个被加热物t重叠配置的加热库101的图。
25.在以下的说明中，将两个加热电极110间的距离(即，上侧电极111与下侧电极112
之间的距离)设为距离h1。将一个被加热物t的高度设为距离h2。将上侧电极111的电压的大小设为电压vu。将下侧电极112的电压的大小设为电压vl。
26.在图4a所示的例子中，在加热室113内，一个被加热物t配置在下侧电极112上。当在加热室113内加热这样的一个被加热物t的情况下，控制部105对分别向上侧电极111以及下侧电极112供给的高频电力进行控制，以满足以下的(式1)的方式调整上侧电极111以及下侧电极112的电压比率。0.25＊h2/h1≤vl/(vl+vu)≤0.75＊h2/h1
···
(式1)
27.如图3a所例示的那样，控制部105以使向两个加热电极110施加的电压的相位差成为180
°
的方式对向各加热电极110供给的高频电力进行控制。但是，控制部105维持图3b所例示的电极间电压，并且以满足(式1)的方式改变电压vu以及电压vl的比率。
28.此处，距离h1是预先设定的固定值。另一方面，距离h2根据配置于加热室113内的被加热物t而变化。换句话说，电压vl以及电压vu的目标比率根据配置于加热室113内的被加热物t而变化。在加热室113内，将从上侧电极111作用的电场与从下侧电极112作用的电场均衡的位置称为电场基准位置。通过(式1)调整电压比率等同于调整电场基准位置。
29.在(式1)中，“0.25＊h2/h1”表示在加热室113内能够设定电场基准位置的允许宽度h3的下限位置。具体而言，从一个被加热物t的上下方向中心c1观察时，允许宽度h3的下限位置以相当于被加热物t的高度(即距离h2)的1/4的距离的量位于下方。另一方面，“0.75＊h2/h1”表示允许宽度h3的上限位置。具体而言，从上下方向中心c1观察时，允许宽度h3的上限位置以相当于距离h2的1/4的距离的量位于上方。
30.换句话说，基于(式1)的电场基准位置的允许宽度h3成为以上下方向中心c1为中心的相当于距离h2的1/2的上下方向的宽度。若控制部105以满足(式1)的方式调整电压vu以及电压vl的比率，则电场基准位置落入允许宽度h3内。由此，在一个被加热物t中，以上下方向中心c1为基准而在上侧部分以及下侧部分双方，作用大致均衡的电场。因此，一个被加热物t的上侧部分以及下侧部分不会产生加热不均，能够均衡地加热一个被加热物t的整体。
31.在图4b所示的例子中，在加热室113内，两个被加热物t上下重叠而配置在下侧电极112上。当在加热室113内加热这样的两个被加热物t的情况下，控制部105对分别向上侧电极111以及下侧电极112供给的高频电力进行控制，以满足以下的(式2)的方式调整上侧电极111以及下侧电极112的电压比率。0.5＊h2/h1≤vl/(vl+vu)≤1.5＊h2/h1
···
(式2)
32.在(式2)中，“0.5＊h2/h1”表示在加热室113内能够设定电场基准位置的允许宽度h3的下限位置。具体而言，从两个被加热物t的上下方向中心c2观察时，允许宽度h3的下限位置以相当于被加热物t的高度(即距离h2)的1/2的距离的量位于下方。另一方面，“1.5＊h2/h1”表示允许宽度h3的上限位置。具体而言，在从上下方向中心c2观察时，允许宽度h3的上限位置以相当于距离h2的1/2的距离的量位于上方。
33.换句话说，基于(式2)的电场基准位置的允许宽度h3成为以上下方向中心c2为中心的相当于距离h2的上下方向的宽度。若控制部105以满足(式2)的方式调整电压vu以及电压vl的比率，则电场基准位置落入允许宽度h3内。由此，在比上下方向中心c2靠上侧的被加热物t和比上下方向中心c2靠下侧的被加热物t双方作用大致均衡的电场。因此，上侧的被
加热物t以及下侧的被加热物t不会产生加热不均，能够均衡地加热两个被加热物t的整体。
34.上述的(式1)以及(式2)各自成为对象的被加热物t的数量不同。换句话说，如(式1)以及(式2)所示，若被加热物t的数量不同，则设定于表示允许宽度h3的下限位置的式以及表示允许宽度h3的上限位置的式的常数根据被加热物t的数量而变化。例如，在(式1)中，表示允许宽度h3的下限位置的式的常数为“0.25”，但在(式2)中，表示允许宽度h3的下限位置的式的常数为“0.5”。
35.因此，在(式1)以及(式2)中，通过将被加热物t的数量设定为n个这样的变量，使(式1)以及(式2)导出共用的数式(式3)。即，当在加热室113内上下n层重叠加热n个相同的被加热物t的情况下，控制部105控制分别向上侧电极111以及下侧电极112供给的高频电力，以满足以下的(式3)的方式调整上侧电极111以及下侧电极112的电压比率。0.25＊n＊h2/h1≤vl/(vl+vu)≤0.75＊n＊h2/h1
···
(式3)此外，(式3)若代入“n＝1”则成为与(式1)相同的式，若代入“n＝2”则成为与(式2)相同的式。
36.在(式3)中，“0.25＊n＊h2/h1”表示在加热室113内能够设定电场基准位置的允许宽度h3的下限位置。具体而言，在从n个被加热物t的上下方向中心c3观察时，允许宽度h3的下限位置以对被加热物t的高度(即距离h2)乘以“0.25＊n”的距离的量位于下方。另一方面，“0.75＊n＊h2/h1”表示允许宽度h3的上限位置。具体而言，在从上下方向中心c3观察时，允许宽度h3的上限位置以对距离h2乘以“0.25＊n”的距离的量位于上方。
37.在图4c所示的例子中，在加热室113内，四个被加热物t上下重叠而配置在下侧电极112上，因此，为“n＝4”。在这种情况下，在从四个被加热物t的上下方向中心c3观察时，允许宽度h3的下限位置以相当于距离h2的距离的量位于下方。在从上下方向中心c3观察时，允许宽度h3的上限位置以相当于距离h2的距离的量位于上方。
38.换句话说，基于(式3)的电场基准位置的允许宽度h3成为以上下方向中心c3为中心的相当于“2＊0.25＊n”的上下方向的宽度。若控制部105以满足(式3)的方式调整电压vu以及电压vl的比率，则电场基准位置落入允许宽度h3内，因此，与上述相同能够均衡地加热n个被加热物t的整体。
39.在本实施方式中，与n个数量无关地以使电场基准位置与允许宽度h3的上下方向中心大致一致的方式控制部105对电压vu以及电压vl的比率进行调整。由此，在n个被加热物t的整体中的处于比上下方向中心c3靠上侧的部分和处于比上下方向中心c3靠下侧的部分双方作用更均衡的电场。因此，能够更均衡地加热n个被加热物t的整体。当然，电场基准位置若落入允许宽度h3，则也可以从允许宽度h3的上下方向中心偏离。
40.(电压比率的调整方法)控制部105例如在介电加热装置100的加热控制时通过前述的(式1)～(式3)的任一个，计算电压vu以及电压vl的目标比率。控制部105以使电压vu以及电压vl与目标比率一致的方式对向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压进行调整。
41.在本实施方式中，如前述那样高频电源103包括两个放大器134a、134b，上述两个放大器134a、134b根据来自振荡器131的高频信号，分别对两个加热电极110输出电压。控制部105通过单独地调整两个放大器134a、134b的输出电压，从而单独地调整分别向两个加热电极110施加的电压。参照图1，对这样的电压比率的调整方法的具体的方式进行说明。
42.对电压比率的调整方法的第一方式进行说明。如前述那样，高频电源103包括两个可变衰减器133a、133b，上述两个可变衰减器133a、133b用于分别使输入至两个放大器134a、134b的高频信号衰减。控制部105通过单独地调整基于两个可变衰减器133a、133b的高频信号的衰减量，从而单独地调整两个放大器134a、134b的输出电压。
43.例如控制部105以使电压vu以及电压vl成为目标比率的方式使可变衰减器133a、133b中的一方的衰减量增加并且使另一方的衰减量减少。作为其结果，两个放大器134a、134b的输出电压中的一方的输出电压增加，并且另一方的输出电压减少。由此，向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压与电压vu以及电压vl的目标比率大致一致。
44.对电压比率的调整方法的第二方式进行说明。在两个放大器134a、134b中，所输入的高频信号的放大率根据由控制部105分别供给的驱动电压的大小而变化。因此，控制部105通过单独地调整用于使两个放大器134a、134b动作的驱动电压，从而单独地调整两个放大器134a、134b的输出电压。
45.例如控制部105以使电压vu以及电压vl成为目标比率的方式使输入放大器134a、134b的驱动电压中的一方的驱动电压变大并且使另一方的驱动电压变小。作为其结果，两个放大器134a、134b的输出电压中的一方的输出电压增加，并且另一方的输出电压减少。由此，向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压与电压vu以及电压vl的目标比率大致一致。
46.根据上述的第一以及第二方式，不会损害放大器134a与上侧电极111之间的阻抗匹配，并且不会损害放大器134b与下侧电极112之间的阻抗匹配，能够将电压vu以及电压vl调整为能够与目标比率一致。
47.此处，参照图5，对在上述的电压比率的调整后向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压的变化进行说明。图5是表示在电压比率的调整后向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压的变化的坐标图。例如在图4b中，配置于加热室113内的两个被加热物t均比上侧电极111更接近下侧电极112。因此，由上侧电极111产生的电场比由下侧电极112产生的电场更不易作用于两个被加热物t。
48.在这样的事例中，控制部105基于(式2)，对电压vu比电压vl变大那样的目标比率进行计算。例如控制部105计算出“0.7：0.3”，来作为电压vu以及电压vl的目标比率。在这种情况下，将图5所例示那样的电极电压向上侧电极111以及下侧电极112施加。
49.在图5的例子中，与图3a的例子相同，上侧电极111的施加电压(即电压vu)与下侧电极112的施加电压(即电压vl)相互的相移相差180
°
。但是，电压vu表示在一个周期内以“－0.7”～“+0.7”的振幅位移的正弦波。电压vl表示在一个周期内以“－0.3”～“+0.3”的振幅位移的正弦波。在这种情况下，产生于上侧电极111与下侧电极112之间的电极间电压的变化也与图3b相同，表示在一个周期内以“－1.0”～“+1.0”的振幅位移地正弦波。
50.由此，由上侧电极111产生的电场大于由下侧电极112产生的电场。而且，由上侧电极111产生的电场以与由下侧电极112产生的电场相同程度的强度作用于两个被加热物t。因此，即便两个被加热物t偏向两个加热电极110的一侧配置，也使两个加热电极110所产生的电场均衡地作用于两个被加热物t，能够均衡地加热两个被加热物t的整体。
51.(与电压比率调整相关的信息获取)控制部105由于通过(式1)～(式3)的任一个计算电压vu以及电压vl的目标比率，
所以需要确定出被加热物t的个数(即n个)以及高度(即距离h2)。控制部105通过图6～图11所例示的各种方式，能够确定出被加热物t的个数以及高度。
52.图6是第一例所涉及的介电加热装置100的外观图。图7是第二例所涉及的介电加热装置100的外观图。图8是第三例所涉及的介电加热装置100的外观图。图9是第四例所涉及的介电加热装置100的外观图。图10是第五例所涉及的介电加热装置100的外观图。图11是第六例所涉及的介电加热装置100的外观图。
53.如图6～图11所示，介电加热装置100在加热库101的前表面侧设置有用于输入输出各种信息的触摸面板显示器601和在加热室113的前侧可开闭的开闭门602。在开闭门602，除去后述的第四例之外，设置有用于从前方目视观察加热室113内的窗603。
54.如图6所示，在第一个例子的介电加热装置100中，例如用户在对被加热物t进行加热之前，将被加热物t的个数和一个被加热物t的高度输入介电加热装置100。在图6的例子中，从触摸面板显示器601输入作为配置于加热室113内的被加热物t的个数的“2个”和作为各被加热物t的高度(距离h2)的“8cm”。控制部105基于所输入的被加热物t的个数以及高度，通过(式1)～(式3)的任一个计算电压vu以及电压vl的目标比率，并根据该目标比率而执行加热控制即可。
55.如图7所示，在第二例的介电加热装置100中，例如用户在加热被加热物t之前，将配置于加热室113内的被加热物t整体的高度向介电加热装置100输入。在图7的例中，从触摸面板显示器601输入作为配置于加热室113内的两个被加热物t的高度(距离h4)的“16cm”。
56.(式3)的“n＊h2”相当于配置于加热室113内的被加热物t整体的高度(距离h4)。因此控制部105基于所输入的被加热物t整体的高度，通过(式3)计算电压vu以及电压vl的目标比率，根据该目标比率执行加热控制即可。
57.如图8所示，在第三例的介电加热装置100中，用于对配置于加热室113内的被加热物t整体的高度进行计测的传感器800设置于加热库101。在图8的例子中，传感器800是能够拍摄加热室113内的图像传感器。控制部105例如在用户指示了加热开始的情况下，通过传感器800拍摄加热室113内。控制部105对传感器800的摄影图像进行解析，确定出配置于加热室113内的被加热物t整体的高度。控制部105基于确定出的被加热物t整体的高度，能够与第二例相同地执行加热控制。
58.此外，传感器800也可以是测距传感器。作为一个例子，传感器800通过从上侧电极111侧在被加热物t的上表面照射计测光，从而对上侧电极111与被加热物t之间的距离进行计测。控制部105通过从上侧电极111与下侧电极112之间的距离h1减去传感器800计测出的距离，能够确定出被加热物t整体的高度。
59.如图9所示，在第四例的介电加热装置100中，触摸面板显示器900设置于开闭门602的前表面。另外，能够拍摄加热室113内的图像传感器设置于加热库101。控制部105例如在用户指示了加热开始的情况下，通过图像传感器拍摄加热室113内，使包括该摄影图像的操作画面显示于触摸面板显示器900。该操作画面是用于由用户通过触摸操作指定摄影图像的被加热物t的上端的画面。
60.控制部105基于触摸面板显示器900中检测出的画面上的触摸位置，确定出加热室113内的被加热物t的上端位置(即，被加热物t整体的高度)。控制部105基于确定出的被加
热物t整体的高度，能够与第二例相同地执行加热控制。
61.如图10所示，在第五例的介电加热装置100中，在包围加热室113的加热库101的内壁设置有指标部1000。指标部1000是表示加热室113内的高度的等级的指标，例如是表示相互不同高度的等级的多个标志。
62.例如用户在加热被加热物t之前，以指标部1000作为参考，将被加热物t的高度的等级输入至介电加热装置100。在图10的例子中，配置于加热室113内的被加热物t的上端处于指标部1000的多个标志中的与等级“4”的标志几乎相同的高度。因此，从触摸面板显示器601输入表示高度的等级的“4”。控制部105通过基于所输入的高度的等级确定出被加热物t整体的高度，能够与第二例相同地执行加热控制。
63.如图11所示，第六例的介电加热装置100具有条形码读取器1100。在被加热物t设置有表示与被加热物t相关的信息的条形码1101。例如用户在加热被加热物t之前，通过条形码读取器1100读取条形码1101。条形码1101表示被加热物t的高度，控制部105从条形码1101读取并确定出被加热物t的高度即可。在条形码1101包括被加热物t的识别信息的情况下，控制部105基于从条形码1101读取到的识别信息，询问未图示的服务器而确定出被加热物t的高度即可。
64.而且，用户在同时加热多个被加热物t的情况下，从触摸面板显示器900输入被加热物t的个数。由此，控制部105基于确定出的被加热物t的高度和输入的被加热物t的个数，能够与第一个例子相同地执行加热控制。
65.在本例中，也可以取代由用户输入被加热物t的个数，而由控制部105确定出被加热物t的个数。例如也可以是，控制部105通过针对相同的被加热物t，预先存储一个被加热物t加热时的匹配电路104a、104b的匹配状态和两个被加热物t同时加热时的匹配电路104a、104b的匹配状态，基于加热控制中的匹配状态而确定出被加热物t的数量。
66.本公开不限定于上述实施方式，也可以通过与由上述实施方式表示的结构实质相同的结构、起到相同的作用效果的结构或者能够实现相同的目的的结构来置换。
67.(1)也可以是，控制部105对上述的电压比率调整进行反馈控制。例如，在驱动电路102中，在匹配电路104a与放大器134a之间设置第一电压检测电路。第一电压检测电路通过电阻对放大器134a的输出与接地部(gnd)之间的电压进行分压。第一电压检测电路对通过电阻分压出的电压例如进行整流平滑并向控制部105输出。
68.同样，在匹配电路104b与放大器134b之间设置第二电压检测电路。第二电压检测电路通过电阻对放大器134b的输出与接地部(gnd)之间的电压进行分压，例如且进行整流平滑并向控制部105输出。此外，在各电压检测电路中，用于分压的电阻成为不给予阻抗的影响的程度的高电阻值。
69.控制部105读取分别从第一以及第二电压检测电路输出的电压的值，并计算这些电压的值的比率(实测比率)。控制部105以使该实测比率与电压vl以及电压vu的目标比率一致的方式调整向上侧电极111以及下侧电极112施加的电极电压即可。通过这样的反馈控制，能够使电压vu以及电压vl更准确地与目标比率一致。
70.(2)驱动电路102的结构不限定于上述实施方式，能够应用各种结构。图12a是表示变形例所涉及的介电加热装置100的整体结构的图。图12b是表示变形例所涉及的匹配电路104的结构的图。
71.在图12a所示的驱动电路102中，高频电源103与一个匹配电路104连接。如图12b所示，匹配电路104包括可变线圈201a、201b、可变电容器202a、202b以及可变电容器203。可变线圈201a以及可变电容器202a与放大器134a串联连接。可变线圈201b以及可变电容器202b与放大器134b串联连接。可变电容器203与高频电源103的输出并联连接。在该例子中，由于电压vu以及电压vl的电压差而产生的差值的电流例如在连接于加热库101的接地线流动。