一种真空管道电子束聚焦调节机构的制作方法

1.本实用新型涉及一种用于电子加速器的调节机构，具体涉及一种真空管道电子束聚焦调节机构。


背景技术：

2.电子加速器的真空管道中的电子束在引出后，在传输及扫描过程中，束流包络越大，电子束的损失就越大，电子束辐照面均匀性也会变差，导致产品受到的辐照不均匀，会直接影响产品的加工质量。
3.因此，需要在真空管道上设计一款聚焦机构，当电子通过加速管加速完毕后，沿真空管道向下辐照时，将电子束汇聚在一定的包络范围内，以保证电子束的质量。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是：
5.设计一种真空管道电子束聚焦调节机构，可将电子加速器的真空管道内的电子束进行聚焦，缩小其包络范围，减小电子束的损失，提高电子束辐照面的均匀性。
6.为了实现上述目的，本实用新型提供如下的技术方案：
7.一种真空管道电子束聚焦调节机构，包括上环形磁屏蔽体、下环形磁屏蔽体、支撑盘、锁紧环以及线圈；所述线圈套设在真空管道的外围；所述上环形磁屏蔽体位于线圈上部，并且具体对线圈的顶面与外壁面形成磁屏蔽；所述下环形磁屏蔽体位于线圈下部，并且具体对线圈的底面与外壁面形成磁屏蔽；所述上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体在线圈朝向真空管道的内壁面留有磁导通缺口，所述上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体可拆卸式连接；所述下环形磁屏蔽体位于支撑盘上，所述支撑盘通过外调节螺丝与所述锁紧环连接，所述锁紧环通过内调节螺丝与真空管道连接。
8.进一步的，所述上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体均采用磁屏蔽材料制成；并且上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体均呈环形。
9.进一步的，所述上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体具体通过紧固螺丝可拆卸式连接，并且紧固螺丝位于线圈的外壁面一侧。
10.进一步的，所述上环形磁屏蔽体、下环形磁屏蔽体以及线圈的外围均设置有包覆层。
11.进一步的，所述支撑盘与锁紧环均呈环形并且套设在真空管道外围；所述支撑盘的底端设置有螺孔板，所述外调节螺丝贯穿螺孔板上的螺孔并且顶紧锁紧环外壁；所述外调节螺丝相对于支撑盘呈圆周阵列状设置。
12.进一步的，所述内调节螺丝位于锁紧环上的螺孔内并且顶紧真空管道的外壁面；所述内调节螺丝相对于锁紧环呈圆周阵列状设置。
13.进一步的，所述外调节螺丝与内调节螺丝上均设置有定位螺母。
14.本实用新型的有益效果为：一种真空管道电子束聚焦调节机构，利用上环形磁屏
蔽体、下环形磁屏蔽体、支撑盘、锁紧环、外调节螺丝以及内调节螺丝的配合使用，利用线圈的磁场对电子加速器的真空管道内的电子束进行聚焦，并且线圈的相对位置进行调节，运动的电子通过线圈产生的磁场后各自会经过不同的螺旋轨道汇聚在一起，可缩小电子束的包络范围，减小电子束的损失，提高电子束辐照面的均匀性，从而保证产品的辐照效果，提升产品的质量，降低不良品率。
附图说明
15.图1为本实用新型一种真空管道电子束聚焦调节机构的底部视角示意图。
16.图2为图1中的a-a剖视图。
17.图中：1、真空管道；2、包覆层；3、上环形磁屏蔽体；4、下环形磁屏蔽体；5、紧固螺丝；6、支撑盘；61、螺孔板；7、锁紧环；8、外调节螺丝；9、内调节螺丝；10、线圈；11、定位螺母。
具体实施方式
18.为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
19.参考图1和图2，一种真空管道电子束聚焦调节机构，包括上环形磁屏蔽体3、下环形磁屏蔽体4、支撑盘6、锁紧环7以及线圈10；所述线圈10套设在真空管道1的外围；所述上环形磁屏蔽体3位于线圈10上部，并且具体对线圈10的顶面与外壁面形成磁屏蔽；所述下环形磁屏蔽体4位于线圈10下部，并且具体对线圈10的底面与外壁面形成磁屏蔽；所述上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4在线圈10朝向真空管道1的内壁面留有磁导通缺口，具体为上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4朝向真空管道1的间隙，用于使线圈10产生的磁场进入真空管道1内部，从而可对高速运动的电子束进行聚焦，所述上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4可拆卸式连接；所述下环形磁屏蔽体4位于支撑盘6上，所述支撑盘6用于对下环形磁屏蔽体4进行定位支撑，所述支撑盘6通过外调节螺丝8与所述锁紧环7连接，所述锁紧环7通过内调节螺丝9与真空管道1连接，所述锁紧环7用于对支撑盘6进行定位支撑。
20.所述外调节螺丝8用于调节支撑盘6的相对位置；所述内调节螺丝9用于调节锁紧环7的相对位置。
21.所述上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4均采用磁屏蔽材料制成，用于屏蔽磁场；并且上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4均呈环形。
22.所述上环形磁屏蔽体3与下环形磁屏蔽体4具体通过紧固螺丝5可拆卸式连接，并且紧固螺丝5位于线圈10的外壁面一侧。
23.所述上环形磁屏蔽体3、下环形磁屏蔽体4以及线圈10的外围均设置有包覆层2，所述包覆层2具体为环氧包覆层，用于起保护作用。
24.所述支撑盘6与锁紧环7均呈环形并且套设在真空管道1外围；所述支撑盘6的底端设置有螺孔板61，所述外调节螺丝8贯穿螺孔板61上的螺孔并且顶紧锁紧环7外壁，螺孔板61用于安设外调节螺丝8；所述外调节螺丝8相对于支撑盘6呈圆周阵列状设置，一是确保多向定位和调节，二是确保受力均匀。
25.所述内调节螺丝9位于锁紧环7上的螺孔内并且顶紧真空管道1的外壁面；所述内
调节螺丝9相对于锁紧环7呈圆周阵列状设置，一是确保多向定位和调节，二是确保受力均匀。
26.所述外调节螺丝8与内调节螺丝9上均设置有定位螺母11，定位螺母11用于锁紧外调节螺丝8和内调节螺丝9，避免紧外调节螺丝8和内调节螺丝9分别相对于螺孔板61和锁紧环7发生位移，从而确保位置精准。
27.本实用新型的工作原理为：线圈10绕制成型，通过上环形磁屏蔽体3和下环形磁屏蔽体4将外部周围磁场屏蔽掉，只有内侧径向方向(朝向真空管道1的一侧)留有磁路导通缺口，实现导磁；上环形磁屏蔽体3和下环形磁屏蔽体4被包覆层2包裹，避免线圈10、上环形磁屏蔽体3和下环形磁屏蔽体4在射线及臭氧环境下被腐蚀及老化；通过调节线圈10与真空管道1的中心对称度，来改变电子束的中心聚焦点的位置；通过调节线圈10供电电流的大小，来改变束流光斑的大小，进一步调整因机械与光学等原因造成束斑位偏移问题，以此来保证束斑的中心位与引出窗几何中心位一致；电子束从电子加速器的真空管道1内自上而下辐照，在经过磁聚焦线圈位置处时，运动的电子在线圈10产生的磁场作用下，各自会经过不同的螺旋轨道汇聚在一起，实现聚焦，缩小束流包络范围，从而提升电子束辐照面的均匀性。
28.调节线圈10与真空管道1的中心对称度，具体通过调节多个呈圆周阵列状设置外调节螺丝8和内调节螺丝9，实现支撑盘6和锁紧座7相对于真空管道1的具体位置调节，直至找准线圈10的位置，锁喉拧紧外调节螺丝8和内调节螺丝9上的定位螺母11；线圈10与真空管道1的中心对称度符合要求，从而解决因机械与光学等原因造成束斑位偏移问题。
29.上述实施例用于对本实用新型作进一步的说明，但并不将本实用新型局限于这些具体实施方式。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应理解为在本实用新型的保护范围之内。