弹性波装置以及弹性波装置的制造方法与流程

本公开涉及具有包含铌酸锂或者钽酸锂的压电层的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。

背景技术：

1、在专利文献1中记载有弹性波装置。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、在弹性波装置中，在电极部(第1电极、第2电极(一对电极)、以及第1汇流条、第2汇流条)的表面不附加保护膜的情况下，耐湿性有可能劣化。

3、本公开是鉴于上述问题而完成的，其目的在于，提供一种谋求电极部的耐湿性的提高的弹性波装置以及弹性波装置的制造方法。

4、用于解决问题的技术方案

5、一个方式涉及的弹性波装置具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在与所述压电层的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；框状的支承基板，设置在所述第2主面，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通所述支承基板的第1空洞部；树脂片材，相对于所述支承基板设置在所述压电层的相反侧，将所述第1空洞部闭塞；金属框，呈具有第2空洞部的框状，设置在所述第1主面并包围所述压电层以及一对所述电极；和无机片材，相对于所述金属框设置在与所述压电层相反侧，将所述第2空洞部闭塞，包含无机材料。

6、另一个方式涉及的弹性波装置具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在和与相对于所述第1主面的垂线平行的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；支承基板，设置在所述第2主面，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，并且具有贯通所述支承基板的第1空洞部；第1盖部，相对于所述支承基板设置在所述压电层的相反侧，将所述第1空洞部闭塞；布线电极，设置在所述第1主面，并与所述至少1对电极分别电连接；框状的支承框，设置为包围所述至少1对电极，具有第2空洞部；和第2盖部，相对于所述支承框设置在与所述压电层相反侧，将所述第2空洞部闭塞。

7、另一个方式涉及的弹性波装置的制造方法包含第1基板准备工序、无机片材准备工序、接合工序、第1空洞部形成工序、和树脂片材形成工序。在第1基板准备工序中，准备第1基板。第1基板具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在和与所述压电层的厚度平行的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；板状的支承基板，设置在所述第2主面；和框状的第1金属框，设置在所述第1主面并包围所述压电层以及所述至少1对电极。在无机片材准备工序中，在无机片材上设置框状的第2金属框。接合工序在所述第1基板准备工序和所述无机片材准备工序之后，使所述第1基板和所述无机片材相重叠，使得所述无机片材覆盖所述至少1对电极，并将所述第1金属框和所述第2金属框接合。第1空洞部形成工序在所述接合工序之后，通过蚀刻在所述支承基板形成第1空洞部。树脂片材形成工序在所述第1空洞部形成工序之后，将闭塞所述第1空洞部的树脂片材设置于所述支承基板。

8、另一个方式涉及的弹性波装置的制造方法包含中间体准备工序、第1盖部形成工序、支承框形成工序、第2盖部形成工序、端子孔形成工序、下凸块金属形成工序、和凸块形成工序。在中间体准备工序中，准备中间体。中间体具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在和与相对于所述第1主面的垂线平行的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；布线电极，在所述第1主面之上与各所述电极分别电连接；和支承基板，设置在所述第2主面之上，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，具有贯通所述支承基板的第1空洞部。第1盖部形成工序在所述中间体准备工序之后，将闭塞各所述第1空洞部的第1盖部设置于所述支承基板。支承框形成工序在所述第1盖部形成工序之后，设置具有第2空洞部的支承框。第2盖部形成工序在所述支承框形成工序之后，将闭塞所述第2空洞部的第2盖部设置于所述支承框。端子孔形成工序在所述第2盖部形成工序之后，形成将所述支承框以及所述第2盖部贯通或者将所述支承基板以及所述第1盖部贯通的多个端子孔。下凸块金属形成工序在所述端子孔形成工序之后，在各所述端子孔设置下凸块金属。在凸块形成工序中，在所述下凸块金属形成工序之后，在各所述下凸块金属设置凸块。

9、另一个方式涉及的弹性波装置的制造方法包含中间体准备工序、支承框形成工序、盖部形成工序、端子孔形成工序、下凸块金属形成工序、和凸块形成工序。在中间体准备工序中，准备中间体。中间体具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面；至少1对电极，在和与相对于所述第1主面的垂线平行的厚度方向交叉的交叉方向上对置，并且设置在所述第1主面之上；布线电极，在所述第1主面之上与各所述电极分别电连接；和支承基板，设置在所述第2主面之上，在所述厚度方向上俯视，与所述至少1对电极的至少一部分重叠，具有贯通所述支承基板的第1空洞部。支承框形成工序在所述中间体准备工序之后，设置具有第2空洞部的支承框。盖部形成工序在所述支承框形成工序之后，将闭塞所述第1空洞部的第1盖部设置于所述支承基板，并且将闭塞所述第2空洞部的第2盖部设置于所述支承框。端子孔形成工序在所述盖部形成工序之后，形成将各所述支承框以及所述第2盖部贯通或者将所述支承基板以及所述第1盖部贯通的多个端子孔。下凸块金属形成工序在所述端子孔形成工序之后，在各所述端子孔设置下凸块金属。凸块形成工序在所述下凸块金属形成工序之后，在各所述下凸块金属设置凸块。

10、另一个方式涉及的弹性波装置的制造方法包含：集合体准备工序，准备多个弹性波装置一体化了的弹性波装置集合体；和单片化工序，在所述集合体准备工序之后，将所述弹性波装置集合体单片化。所述集合体准备工序包含中间体准备工序、支承框形成工序、第2盖部形成工序、第1空洞部形成工序、第1盖部形成工序、端子孔形成工序、下凸块金属形成工序、和凸块形成工序。在中间体准备工序中，准备中间体。中间体具备：压电层，具有相互朝向相反方向的第1主面以及第2主面，从与相对于所述第1主面的垂线平行的厚度方向观察，具有被划分的多个单片化区域；至少1对电极，设置在各所述单片化区域，并且在与所述厚度方向交叉的交叉方向上对置的同时设置在所述第1主面之上；布线电极，设置在各所述单片化区域，在所述第1主面之上与各所述电极分别电连接；和支承基板，设置在所述第2主面之上使得跨过所述单片化区域的边界线。支承框形成工序在所述中间体准备工序之后，设置多个具有第2空洞部的支承框。第2盖部形成工序在所述支承框形成工序之后，跨越多个所述支承框来设置闭塞所述第2空洞部的第2盖部。第1空洞部形成工序在所述第2盖部形成工序之后，在所述支承基板的各所述单片化区域形成将所述支承基板贯通的第1空洞部。第1盖部形成工序在所述第1空洞部形成工序之后，将闭塞各所述第1空洞部的第1盖部设置于所述支承基板。端子孔形成工序在所述第2盖部形成工序之后，形成将各所述支承框以及所述第2盖部贯通或者将所述支承基板以及所述第1盖部贯通的多个端子孔。下凸块金属形成工序在所述端子孔形成工序之后，在各所述端子孔设置下凸块金属。凸块形成工序在所述下凸块金属形成工序之后，在各所述下凸块金属设置凸块。在所述单片化工序中，沿着所述单片化区域的边界线切断所述压电层、所述支承基板、所述第1盖部以及所述第2盖部。

11、发明效果

12、根据本公开，能够谋求电极部的耐湿性的提高。