声表面波谐振器及声表面波滤波器的制作方法

1.本技术实施例涉及声表面波滤波器技术领域，尤其涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。


背景技术：

2.声表面波滤波器是利用压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种无源带通滤波器。其作用是对电信号进行滤波、延时等处理。它具有体积小、性能稳定、过载能力强、相位失真小、无需调整等优点，广泛应用于电视机、录像机、无线数据传输系统等领域中。
3.声表面波滤波器包括依次层叠设置的支撑衬底、温度补偿层和压电衬底，以及设置于压电衬底上的声表面波谐振器。声表面波谐振器的主要作用原理是利用压电衬底的压电特性，向声表面波谐振器输入电信号，输入的电信号在声表面波谐振器内完成电信号-声波信号-电信号的转换，以达到过滤不必要的讯号及杂讯，提升收讯品质的目标。在相关技术中，为了降低声表面波谐振器的温度系数，通常在压电衬底下沉积一层和压电衬底温度系数相反的温度补偿层，为了使声表面波谐振器达到良好的温度补偿效果，需要对压电衬底进行减薄。
4.然而，当压电衬底的厚度与在声表面波谐振器中传播的声波波长λ接近(即压电衬底的厚度小于10λ)时，声表面波谐振器会产生横向谐振模，横向谐振模会导致声表面波滤波器的通带中出现尖锐的传输零点，进而降低声表面波滤波器的性能。


技术实现要素：

5.本技术提实施例供一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，用以解决声表面波谐振器会产生横向谐振模的技术问题。
6.本技术实施例为解决上述技术问题提供如下技术方案：
7.本技术实施例提供了一种声表面波谐振器，包括叉指电极，所述叉指电极包括相对设置的第一汇流条和第二汇流条，所述第一汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一指条和多个第二假指；所述第二汇流条连接有沿第一方向交替排布的多个第一假指和多个第二指条；
8.多个所述第一指条与多个所述第一假指一一对应，相对应的所述第一指条与所述第一假指位于同一直线上，且所述第一指条和所述第一假指之间具有第一间隙；
9.多个所述第二指条与多个所述第二假指一一对应，相对应的所述第二指条与所述第二假指位于同一直线上，且所述第二指条和所述第二假指之间具有第二间隙；
10.在任意相邻的所述第一指条和所述第二指条中，所述第一指条远离所述第一汇流条的一端与所述第二指条远离所述第二汇流条的一端之间的间距为指条孔径，多个所述第一指条和多个所述第二指条形成多个所述指条孔径，且多个所述指条孔径中至少部分所述指条孔径不相等。
11.本技术实施例的有益效果是：本技术实施例的声表面波谐振器通过改变叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个所述指条孔径中至少部分指条孔径不同，声表面波谐振器上不同的指条孔径的存在能够减小横向谐振模，从而实现声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
12.在一种可能的实施方式中，所述第一方向与所述第一指条的长度方向垂直，沿第一方向交替排布的多个所述第一指条和多个所述第二指条形成的多个所述指条孔径呈先增大后减小的趋势或呈波浪形增减趋势。
13.在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条中的至少一个为n阶分形结构，所述n阶分形结构包括依次连接的2
n-1
个一阶分形结构，n为正整数；
14.所述一阶分形结构包括相连接的第一连接条和第二连接条，所述第一连接条远离所述第二连接条的一端和所述第二连接条远离所述第一连接条的一端的连线位于所述第一汇流条和所述第二汇流条之间；
15.所述第一连接条与第一直线的夹角为第一偏向角，所述第二连接条与所述第一直线的夹角为第二偏向角，所述第一直线垂直于所述第一指条，所述第一偏向角和所述第二偏向角均为锐角；
16.所述n阶分形结构中的2
n-1
个一阶分形结构形成2
n-1
个第一偏向角和2
n-1
个第二偏向角，2
n-1
个所述第一偏向角中至少部分所述第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，2
n-1
个所述第二偏向角中至少部分所述第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
。
17.在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条中的一个为所述n阶分形结构，另一个为直线型结构。
18.在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条为所述n阶分形结构，所述第二汇流条为所述直线型结构；
19.所述声表面波谐振器包括呈级联结构的两个所述叉指电极，两个所述叉指电极共用一个第二汇流条，两个所述叉指电极各包括一个所述第一汇流条，且两个所述叉指电极的所述第一汇流条位于所述第二汇流条的两侧。
20.在一种可能的实施方式中，所述第一汇流条和所述第二汇流条均为n阶分形结构，所述第一汇流条和所述第二汇流条沿第一中心线对称，所述第一中心线垂直于所述第一指条且经过所述叉指电极的中心。
21.在一种可能的实施方式中，各所述第一假指的长度相同，多个所述第一指条中至少部分所述第一指条的长度不相等；
22.各所述第二假指的长度相同，多个所述第二指条中至少部分所述第二指条的长度不相等。
23.在一种可能的实施方式中，还包括两个反射栅，两个所述反射栅沿垂直于所述第一指条的方向设置于所述叉指电极的两端，且两个所述反射栅与所述叉指电极之间均具有间隔空间，两个所述反射栅用于将泄露到叉指电极的两端的声波信号反射回所述叉指电极。
24.在一种可能的实施方式中，所述叉指电极的数量为多个，多个所述叉指电极沿垂直于所述第一指条的方向依次串联设置，两个所述反射栅沿垂直于所述第一指条的方向设置于多个依次串联的叉指电极的两端，且两个所述反射栅与多个依次串联的叉指电极之间
均具有间隔空间。
25.本技术实施例还提供了一种声表面波滤波器，该声表面波滤波器包括依次层叠设置的支撑衬底、温度补偿层和压电衬底，以及设置于所述压电衬底上的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器为上述任一方案所述的声表面波谐振器。
26.本技术实施例的声表面波滤波器的有益效果与上述声表面波谐振器的有益效果相同，在此不再赘述。
27.除了上面所描述的本技术解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的有益效果外，本技术提供的声表面波谐振器及声表面波滤波器所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的有益效果，将在具体实施方式中作出进一步详细的说明。
附图说明
28.为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对本技术实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一部分实施例，这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本技术构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
29.图1为本技术实施例中声表面波谐振器的第一汇流条和第二汇流条的几种结构示意图；
30.图2为本技术实施例中声表面波谐振器的一种结构示意图；
31.图3为图2中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；
32.图4为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；
33.图5为图4中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；
34.图6为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；
35.图7为图6中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；
36.图8为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；
37.图9为两个叉指电极呈级联结构的声表面波谐振器的一种结构示意图；
38.图10为两个叉指电极呈级联结构的声表面波谐振器的另一种结构示意图；
39.图11为两个叉指电极串联形成的声表面波谐振器的一种结构示意图。
40.附图标记说明：
41.100、叉指电极；
42.110、第一汇流条；120、第二汇流条；
43.111、第一指条；112、第二假指；113、一阶分形结构；114、二阶分形结构；115、三阶分形结构；
44.1131、第一连接条；1132、第二连接条；1133、第一直线；
45.121、第一假指；122、第二指条；
46.200、反射栅。
47.通过上述附图，已示出本技术明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本技术构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念。
具体实施方式
48.在相关技术中，为了降低声表面波谐振器的温度系数，通常在压电衬底下沉积一层和压电衬底温度系数相反的温度补偿层，为了使声表面波谐振器达到良好的温度补偿效果，需要对压电衬底进行减薄。然而，当压电衬底的厚度与在声表面波谐振器中传播的声波波长λ接近(即压电衬底的厚度小于10λ)时，声表面波谐振器会激发出更加复杂的声波模式，使得声表面波谐振器内的声波传播方向与声表面波谐振器的指条排列方向产生较大的偏角，即声波不再仅沿着指条排列方向传播，而是产生一个横向分量，这个横向分量在不加干扰的情况下会产生横向谐振模，横向谐振模在声表面波谐振器的正反谐振峰之间有明显的幅度，靠近正反谐振峰的横向谐振模会导致声表面波滤波器的通带中出现尖锐的传输零点，进而降低声表面波滤波器的性能。
49.有鉴于此，本技术实施例通过改变叉指电极中的至少部分指条孔径，以使多个所述指条孔径中至少部分指条孔径不同，声表面波谐振器上不同的指条孔径的存在能够减小横向谐振模，从而实现声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
50.本技术所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
51.图1为本技术实施例中声表面波谐振器的第一汇流条和第二汇流条的几种结构示意图；图2为本技术实施例中声表面波谐振器的一种结构示意图；图3为图2中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；图4为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；图5为图4中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；图6为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；图7为图6中的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器的测试对比图；图8为本技术实施例中声表面波谐振器的另一种结构示意图；图9为两个叉指电极呈级联结构的声表面波谐振器的一种结构示意图；图10为两个叉指电极呈级联结构的声表面波谐振器的另一种结构示意图；图11为两个叉指电极串联形成的声表面波谐振器的一种结构示意图。
52.如图2、图4、图6和图8所示，本技术实施例提供的声表面波谐振器包括叉指电极100，叉指电极100包括第一汇流条110、连接于第一汇流条110上的多个第一指条111和多个第二假指112、第二汇流条120、连接于第二汇流条120上的多个第一假指121和多个第二指条122，多个第一指条111和多个第二假指112在第一汇流条110上沿第一方向交替排布，多个第一假指121和多个第二指条122在第二汇流条120沿第一方向上交替排布。也就是说，叉指电极100包括第一汇流条110和第二汇流条120，第一汇流条110连接有沿第一方向交替排布的多个第一指条111和多个第二假指112，第二汇流条120连接有沿第一方向交替排布的多个第一假指121和多个第二指条122。
53.第一汇流条110与第二汇流条120相对设置，且第一汇流条110的一个端部与第二
汇流条120的一个端部平齐，第一汇流条110的另一个端部与第二汇流条120的另一个端部平齐。多个第一指条111与多个第一假指121一一对应，相对应的第一指条111与第一假指121位于同一直线上，且第一指条111和第一假指121之间具有第一间隙，多个第二指条122与多个第二假指112一一对应，相对应的第二指条122与第二假指112位于同一直线上，且第二指条122和第二假指112之间具有第二间隙。相邻的第一指条111和第二假指112之间具有间隔空间，如图6所示，第一指条111和第二假指112之间的距离为p，同样，第一假指121和第二指条122之间的距离也为p，第一指条111和第二假指112之间的距离p能够决定声表面波谐振器的谐振频率。
54.在任意相邻的第一指条111和第二指条122中，第一指条111远离第一汇流条110的一端与第二指条122远离第二汇流条120的一端之间的间距为指条孔径，如图6所示，指条孔径为a，多个第一指条111和多个第二指条122形成多个指条孔径，且多个指条孔径中至少部分指条孔径不相等，声表面波谐振器上不同的指条孔径的存在能够减小横向谐振模，从而实现声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
55.可以理解的是，第一方向为x轴所在的方向，即第一方向与第一指条111的长度方向垂直，第一指条111的长度方向与y轴所在的方向相同。
56.在本技术的一些实施例中，沿第一方向交替排布的多个相邻的第一指条111和多个第二指条122形成的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势或呈波浪形增减趋势。如图2所示，沿第一方向交替排布的多个相邻的第一指条111和多个第二指条122形成的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势，也就是说，多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势，以实现指条孔径的加权，声表面波谐振器内存在指条孔径加权能够减小横向谐振模，即减小横向模的谐振。如图4所示，多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势，其中，先增大后减小的趋势包含先增大后持平然后减小的情形，也就是说包含图2中展示的情况，图2中的声表面波谐振器的结构同样能够减小横向谐振模，即减小横向模的谐振。如图6所示，多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小，再增大，再减小的趋势，即呈波浪形增减趋势，该结构同样实现了指条孔径的加权，声表面波谐振器内存在指条孔径加权即能够减小横向谐振模，即减小横向模的谐振。
57.本技术实施例通过对第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个进行分形设计来实现对声表面波谐振器的指条孔径进行调制，也就是说，通过对第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个进行分形设计来实现多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势或呈波浪形增减趋势。
58.对第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个进行分形设计的方式为：如图1所示，第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个为n阶分形结构，n阶分形结构包括依次连接的2
n-1
个一阶分形结构113。其中，一阶分形结构113包括相连接的第一连接条1131和第二连接条1132，第一连接条1131远离第二连接条1132的一端和第二连接条1132远离第一连接条1131的一端的连线位于第一汇流条110和第二汇流条120之间，也就是说，第一连接条1131和第二连接条1132配合形成的区域的开口朝向第一汇流条110和第二汇流条120之间。第一连接条1131与第一直线1133的夹角为第一偏向角θ1，第二连接条1132与第一直线1133的夹角为第二偏向角θ2，其中，第一直线1133垂直于第一指条111，第一偏向角和第二偏向角均为锐角，也就是说，第一直线1133与x轴所在的方向平行。n阶分形结构中的2
n-1
个
一阶分形结构113形成2
n-1
个第一偏向角和2
n-1
个第二偏向角，也就是说每个一阶结构具有一个第一偏向角和一个第二偏向角，那么2
n-1
个一阶分形结构113就具有2
n-1
个第一偏向角和2
n-1
个第二偏向角，2
n-1
个第一偏向角中至少部分第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，2
n-1
个第二偏向角中至少部分第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，角度范围为2
°‑
16
°
的第一偏向角和角度范围为2
°‑
16
°
的第二偏向角的设置能够使得声表面波谐振器内声波传播方向偏转向第一指条111的排列方向，进而使得声表面波谐振器内声波传播方向趋向于第一指条111的排列方向，即声表面波谐振器内声波传播方向与第一指条111的排列方向接近，进而有利于减小声波的横向分量，同时，对第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个进行分形设计能够对声表面波谐振器的指条孔径进行调制，这进一步减小了横向谐振模，从而实现声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
59.值得说明的是，第一指条111排列的方向与x轴所在的方向相同。
60.对第一汇流条110和第二汇流条120中的至少一个进行分形设计既能够形成多个角度范围为2
°‑
16
°
的第一偏向角和角度范围为2
°‑
16
°
的第二偏向角，以抑制声波的横向分量的产生，从而减小声波的横向分量，又能够对声表面波谐振器的指条孔径进行调制，以抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模，从而使得本技术实施例的声表面波谐振器能够较好的抑制横向谐振模，其以双重模式抑制横向谐振模，能够达到较好的效果。
61.如图2所示，图2中的声表面波谐振器的第一汇流条110和第二汇流条120均为一阶分形结构113，其具有一个第一偏向角和一个第二偏向角，第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，且多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小的趋势。图2中的的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器进行测试对比，测试对比图如图3所示，图3中实线部分1为横向谐振模未抑制的情况，虚线2为图2中的声表面波谐振器展现的情况，其中，实线部分1中出现起伏的峰，这些起伏的峰为横向谐振模，由图3可以看出，图2中的声表面波谐振器能够较好的抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模，达到了声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
62.如图4所示，图4中的声表面波谐振器的第一汇流条110和第二汇流条120均为二阶分形结构114，其具有两个第一偏向角和两个第二偏向角，且其中一个第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，另一个第一偏向角的角度范围为0
°
，其中一个第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，另一个第二偏向角的角度范围为0
°
，且多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后持平再减小的趋势。图4中的的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器进行测试对比，测试对比图如图5所示，图5中实线部分1为横向谐振模未抑制的情况，虚线3为图4中的声表面波谐振器展现的情况，其中，实线部分1中出现起伏的峰，这些起伏的峰为横向谐振模，由图5可以看出，图5中的声表面波谐振器同样能够较好的抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模，达到了声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
63.在本技术的一些可能实施例中，声表面波谐振器的第一汇流条110和第二汇流条120均为二阶分形结构114，其具有两个第一偏向角和两个第二偏向角，且两个第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，两个第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，此结构由于其中部不在具有持平排列的指条孔径，故其相较于图4中的声表面波谐振器能够更好的抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模。
64.如图6所示，图6中的声表面波谐振器的第一汇流条110和第二汇流条120均为三阶
分形结构115，其具有四个第一偏向角和四个第二偏向角，且四个第一偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，四个第二偏向角的角度范围为2
°‑
16
°
，且多个沿第一方向依次排列的多个指条孔径呈先增大后减小，再增大，再减小的趋势，即呈波浪形增减趋势。图6中的的声表面波谐振器与横向谐振模未抑制的声表面波谐振器进行测试对比，测试对比图如图7所示，图7中实线部分1为横向谐振模未抑制的情况，虚线4为图6中的声表面波谐振器展现的情况，其中，实线部分1中出现起伏的峰，这些起伏的峰为横向谐振模，由图7可以看出，图7中的声表面波谐振器能够较好的抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模，达到了声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。
65.在本技术的一些可能的实施例中，第一汇流条110和第二汇流条120中的一个为n阶分形结构，另一个为直线型结构。如图8所示，第一汇流条110为三阶分形结构115，第二汇流条120为直线型结构，当然，第一汇流条110为一阶分形结构113或者二阶分形结构114等，此结构同样具有多个角度范围为2
°‑
16
°
的第一偏向角和多个角度范围为2
°‑
16
°
的第二偏向角，以及多个沿第一方向依次排列的指条孔径呈先增大后减小，再增大，再减小的趋势，即呈波浪形增减趋势。此结构同样能够较好的抑制横向模的谐振，减小了横向谐振模，达到了声表面波谐振器抑制横向谐振模的效果。并且，第一汇流条110和第二汇流条120中的一个为直线型结构的设计方式便于两个叉指电极100的级联。示例性的，第一汇流条110为n阶分形结构，第二汇流条120为直线型结构，声表面波谐振器包括呈级联结构的两个叉指电极100，两个叉指电极100共用一个第二汇流条120，两个叉指电极100各包括一个第一汇流条110，且两个叉指电极100的第一汇流110条位于第二汇流条120的两侧。也就是说，两个叉指电极100的第一汇流条110位于声表面波谐振器沿第一指条111的长度方向的两端，两个叉指电极100的第一汇流条110相对设置，两个叉指电极100共用一个第二汇流条120。
66.在本技术的一些实施例中，示例性的，如图9所示，第一汇流条110为一阶分形结构113，第二汇流条120为直线型结构，声表面波谐振器包括呈级联结构的两个叉指电极100，两个叉指电极100共用一个第二汇流条120，两个叉指电极100各包括一个第一汇流条110，且两个叉指电极100的第一汇流110条位于第二汇流条120的两侧。示例性的，如图10所示，第一汇流条110为三阶分形结构115，第二汇流条120为直线型结构，声表面波谐振器包括呈级联结构的两个叉指电极100，两个叉指电极100共用一个第二汇流条120，两个叉指电极100各包括一个第一汇流条110，且两个叉指电极100的第一汇流110条位于第二汇流条120的两侧。
67.在本技术的一些实施例中，第一汇流条110和第二汇流条120均为n阶分形结构，第一汇流条110和第二汇流条120沿第一中心线对称，第一中心线垂直于第一指条111且经过叉指电极100的中心。此结构使得声表面波谐振器的结构更加规整。
68.在本技术的一些实施例中，各第一假指121的长度相同，多个第一指条111中至少部分第一指条111的长度不相等，各第二假指112的长度相同，多个第二指条112中至少部分第二指条112的长度不同。也就是说，通过改变第一指条111的长度和第二指条122的长度来改变指条孔径，其中第一间隙和第二间隙的距离不变。
69.在本技术实施例中，声表面波谐振器还包括两个反射栅200，两个反射栅200沿垂直于第一指条111的方向(即x轴所在的方向)设置于叉指电极100的两端，且两个反射栅200与叉指电极100之间均具有间隔空间，两个反射栅200用于将泄露到叉指电极100的两端的
声波信号反射回叉指电极100。
70.可选的，反射栅200包括相对设置的第三汇流条和第四汇流条以及设置于第三汇流条和第四汇流条之间的栅极。
71.在本技术的一些实施例中，叉指电极100的数量为多个，多个叉指电极100沿垂直于第一指条111的方向(即x轴所在的方向)依次串联设置，两个反射栅200沿垂直于第一指条111的方向(即x轴所在的方向)设置于多个依次串联的叉指电极100的两端，且两个反射栅200与多个依次串联的叉指电极100之间均具有间隔空间。示例性的，如图11所示，叉指电极100的数量为两个，两个叉指电极100依次串联设置，两个反射栅200沿垂直于第一指条111的方向设置于两个依次串联的叉指电极100的两端，且两个反射栅200与两个依次串联的叉指电极100之间均具有间隔空间。
72.本技术实施例还提供了一种声表面波滤波器，该声表面波滤波器包括依次层叠设置的支撑衬底、温度补偿层和压电衬底，以及设置于压电衬底上的声表面波谐振器，也就是说，本技术实施例提供的声表面波滤波器包括支撑衬底、温度补偿层、压电衬底以及设置于压电衬底上的声表面波谐振器。其中，声表面波谐振器为上述任一方案的声表面波谐振器，压电衬底为压电效应的材料，温度补偿层的温度系数与压电衬底温度系数相反。可选的，压电衬底为钽酸锂衬底。
73.本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本技术的其它实施方案。本技术旨在涵盖本技术的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本技术的一般性原理并包括本技术未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本技术的真正范围和精神由下面的权利要求书指出。
74.应当理解的是，本技术并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本技术的范围仅由所附的权利要求书来限制。